Escolar Documentos
Profissional Documentos
Cultura Documentos
72
Uma folha metlica delgada com espessura 0.25 mm, com um padro de orifcios
extremamente pequenos, serve como uma malha de acelerao para controlar o
potencial eltrico de um feixe de ons. Tal grade utilizada em um processo de
deposio de vapores qumicos (CVD - chemical vapor deposition) para a fabricao de
semicondutores. A superfcie superior da grade est exposta a um fluxo de calor
uniforme, causado pela absoro do feixe de ons, = 600 W/m. As arestas da folha
esto termicamente acopladas a sumidouros de calor que so resfriados com gua e
mantidos a 300 K. Nas superfcies superior e inferior da folha h troca de calor por
radiao com as paredes da cmara, cujas paredes so mantidas a 300 K. A
condutividade trmica efetiva do material da folha de 40 W/(m.K) e a sua
emissividade igual a 0.45.
Soluo:
2. Propriedades constantes.
" x + hr,nx(Tsur - Tn) + k(t)(Tn+1 - Tn)/ x + hr,nx(Tsur - Tn) + k(t)(Tn-1 - Tn)/ x = 0 (1)
T1 T2 T3 T4 T5 T6 T7 T8 T9 T10
374.1 374.0 373.5 372.5 370.9 368.2 363.7 356.6 345.3 327.4
COMENTRIOS:
1. Se os gradientes de temperatura fossem excessivos em toda a folha, ela enrugaria;
o mais provvel que a folha vai se curvar, j que suas bordas so limitadas.
T1 T2 T3 T4 T5 T6 T7 T8 T9 T10
374.1 374 373.5 372.5 370.9 368.2 363.7 356.6 345.3 327.4
hr1 hr2 hr3 hr4 hr5 hr6 hr7 hr8 hr9 hr10
3.956 3.953 3.943 3.926 3.895 3.845 3.765 3.639 3.444 3.157
*/