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Faculdade de Tecnologia de São Paulo

Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV
ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO 6 – REEF 6

Medidores de Vácuo. Sensores Diretos e Indiretos de Pressão Total

No trabalho de um projetista de Tecnologia do Vácuo uma etapa importante é a

determinação e especificação dos instrumentos a serem utilizados no sistema de vácuo. Fazem
parte: a câmara de vácuo, as bombas de vácuo, os medidores de pressão, os componentes
auxiliares, e muitos outros. Para isto, devemos conhecer muito bem o princípio de
funcionamento dos vários instrumentos e componentes a serem comprados. Assim, devemos
entre outros saber medir a pressão em toda a faixa de operação do sistema de vácuo. Também
devemos conhecer bem os detalhes do processo em vácuo a fim de não expormos os sensores de
pressão a atmosferas contaminantes, ou ainda, explosivas ou corrosivas. Com relação aos
sensores de coluna de mercúrio, vemos que estes sensores, os mais antigos medidores de
pressão, têm o seu princípio determinado a partir das leis da mecânica.

Este tipo de medidor de pressão coloca muito claramente a questão do que significa
medir a pressão a partir da sua definição, que é a força agindo em uma área. Além do aspecto
instrutivo, este tipo de sensor é bastante usado em metrologia de pressão, uma vez que pelo
fato de depender de aspectos da mecânica, e não depender do tipo do gás, o torna indicado na
metrologia. Além desse medidor, estudaremos o sensor Pirani e o termopar, baseados na
condução térmica dos gases. O medidor Pirani é extensamente utilizado na medição de pré-
vácuo. O sensor de membrana capacitava é um medidor também baseado em princípios
mecânicos, apesar dessa medição mecânica ser feita por procedimento elétrico. Os sensores de
medição Penning, ou catodo frio e o sensor Bayard-Alpert, ou catodo quente, têm a medição de
pressão em alto-vácuo baseado na condução elétrica dos gases e vapores.

Neste roteiro o assunto é a medição de pressão no seu sentido mais amplo, que são os
seus princípios físicos, o princípio de funcionamento dos sensores e a sua utilização. Também
devemos ter claro os limites de operação dos sensores. Como ponto de partida conhecer se o
processo de medição é direto ou indireto. Levar em consideração a sua instalação no sistema
de vácuo, observando o efeito da condutância da conexão do sensor a parte em que está sendo
feita a medição de pressão. Veja mais uma vez nos deparamos com o conceito de condutância.
Este é um aspecto marcante da tecnologia do vácuo, a condutância sempre estará presente.
Como exemplo, considere que o tubo de conexão do sensor devem ter o seu diâmetro e seu

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comprimento observado, caso contrário corremos o risco de ter a medição de pressão

adulterada. Do mesmo modo devemos observar os campos magnéticos e elétricos e a
temperatura circunstante ao sensor de vácuo. Finalmente, mais uma consideração, não
podemos nos distanciar da calibração dos sensores, aspecto tão importante no mundo
industrial, uma vez que os certificados de qualidade exigem esta observação.
1. Explique a lei de Dalton; como relacionar as pressões parciais com a pressão total? A lei de
Dalton é obvia? Ela tem validade geral ou depende da suposição básica do conceito de gases
perfeitos?

2. O que são sensores diretos ou absolutos e indiretos? Exemplifique, exibindo uma lista de ambos
os tipos de sensores. Fale em detalhe.

3. Por que em um manômetro de coluna de mercúrio a área transversal do tubo da coluna não
intervém nos cálculos? Explique detalhadamente este manômetro, o seu equacionamento responde a
maioria das perguntas que fazemos sobre ele. Ele expõe como nenhum outro medidor de pressão o
processo físico de medição de pressão. Ele é ainda usado, inclusive como padrão primário de
medição de pressão. Temos aqui a oportunidade de construir um modelo físico simples e profundo.

4. Comente sobre a posição de instalação de medidores de vácuo junto à câmara de vácuo

mostrada abaixo em conjunto com as bombas de vácuo e os seus componentes auxiliares.

Sistema de Alto-Vácuo mostrando a câmara de vácuo, a linha de bombeamento e a conexão às

bombas de vácuo. Vemos ainda o sistema de injeção de gases – que estudaremos mais à frente.

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Dentro da mesma questão, diga qual o princípio de funcionamento do sensor de vácuo tipo
membrana capacitava. Diga quais são as situações mais indicadas para o seu uso e fale dos cuidados
com esse tipo de sensor.

5. Dentro da questão referente a classificação dos sensores de vácuo, veja a relação abaixo e diaga
quais são os diretos e indiretos. Vá aos catálogos e veja os sensores comercializados e como são
apresentados.

Gráfico esquemático mostrando os medidores de vácuo mais comuns e a sua faixa de operação.

6. O que é condutividade térmica dos gases? Em que faixa de pressão ela é importante? Explique
o medidor Pirani.
Obs.: Esta é uma questão para uma pesquisa mais detida. Veja em nossa biblioteca o livro A User´s
Guide to Vacuum Technology, John O´Hanlon.Há muitos outros que expõem bem o funcionamento
dos medidores de vácuo.

7. Explique o princípio de funcionamento dos manômetros de ionização do tipo Penning ou

também chamado de catodo frio e Bayard – Alpert ou também chamado de catodo quente.

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8. Discuta a instalação dos medidores nos circuitos de vácuo mostrados abaixo. Descreva as
preocupações e cuidados na instalação dos medidores. Comente os possíveis riscos que podem
correr o medidores de vácuo. Faça comentário sobre a escolha de medidores dependendo do tipo de
atmosfera presente na câmara de vácuo. Faça passo a passo um descritivo da manutenção preventiva
que os medidores precisam ter periodicamente.

Sistema de Vácuo 1 Sistema de Vácuo 2 Sistema de Vácuo 3

Diagramas esquemáticos mostrando alguns tipos de sistemas de vácuo.

Comentário: nesta altura do curso, começamos a estudar a instrumentação utilizada na medição de

baixas pressões. Procure ver nos catálogos os sensores estudado;, como são disponíveis no
mercado. Um ponto importante e algumas vezes difícil no projeto dos sistemas de vácuo é a
escolha da instrumentação necessária. Além de considerações técnicas entram em jogo o
entendimento do processo em questão sendo realizado em vácuo, uma vez que ele poderá
determinar a escolha dos medidores. Por exemplo, em sistemas de vácuo com atmosfera de vapor
de óleo certamente influenciará a medição de pressão se feita com sensores Pirani. Devemos saber
o princípio de funcionamento dos medidores para chegarmos a esta conclusão. Da mesma forma
que certos medidores são proibitivos em atmosferas explosivas. O entendimento do princípio de
funcionamento é fundamental. Além disso, a instalação no que se refere a sua posição, ruídos
elétricos ou magnéticos próximos, e outras considerações devem ser observadas. Os sensores de
vácuo são caros e devemos ter uma atenção especial neste caso.Também devemos estar atentos ao
aspecto da calibração dos medidores, hoje este assunto está na ordem do dia. O motivo principal é
que faz parte de um importante requisito para a obtenção de certificados de qualidade.Estes tão em
voga e tão cobiçados pela empresas na atualidade.

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BOM TRABALHO!!!

Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE

Prof. Francisco Tadeu Degasperi

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