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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV
ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO 14 – REEF 14

Sensores de Pressão Parcial e Análise de Gases Residuais

Nos processos tecnológicos atuais cada vez mais o controle das variáveis envolvidas é de
importância crescente. Desta forma, os instrumentos de análise estão cada vez mais
sofisticados e precisos. Para um proveito à altura da sofisticação, devemos saber operá-los e
interpretar os dados extraídos deles, para tanto, de partida um conhecimento do seu princípio
do funcionamento é fundamental. Verificamos que em muitos processos que ocorrem em
vácuo o valor da pressão é fundamental, ou melhor, a faixa de pressão. Em tecnologia do
vácuo, o valor da pressão nem sempre tem importância central, na maior parte das aplicações
o conhecimento da ordem de grandeza é o suficiente. Em muitos processos assistidos a vácuo,
além do valor da pressão total, temos a necessidade do conhecimento dos tipos de gases
presentes no sistema de vácuo. Por exemplo, pode ocorrer que para um determinado processo
o valor de pressão atingido na câmara de vácuo é suficiente para a realização dele, mas uma
análise mais profunda mostra que os níveis de pressão parcial de água são excessivos para tal
processo.
Neste sentido precisaremos de uma instrumentação adequada para fazer a análise dos
tipos de gases e vapores presentes na câmara de vácuo. Este tipo de procedimento é crucial
para uma série de aplicações e processos em vácuo. Em linhas gerais o princípio físico é
bastante simples para poder fazer a separação das moléculas e assim determinar qualitativa e
quantitativamente a presença delas. Em linhas gerais a idéia é ionizarmos os átomos e
moléculas que estamos detectar e quantificar a sua presença e em seguida acelerar estas
partículas por uma combinação de campos elétricos e magnéticos. A física envolvida é simples
e acabaremos por encontrar uma relação carga-massa para as partículas com uma
determinada órbita a ser satisfeita. Veja que falamos da relação carga-massa, esta é uma
limitação intrínseca ao processo de seleção de partículas por meio de uma combinação de
campos elétricos e magnéticos, expliquemos com mais detalhe. Seja um átomo de hidrogênio,
se ele for ionizado, sua relação carga-massa será 1 para 1. Estamos adotando estas unidades
tanto de carga como de massa. Se agora tivermos uma molécula de hidrogênio – H2 – e
tivermos dupla ionização a relação carga-massa será 2 para 2 que o mesmo 1 para 1.
Desta forma, este método de separação não conseguirá separar as duas situações.
Apesar desta limitação, intrínseca ao processo de análise, muitos resultados podem ser obtidos
e em geral são extremamente úteis a muitos processos que ocorrem em vácuo. Um outro
aspecto que devemos considerar é o fato da necessidade desses equipamentos precisarem
operar, no mínimo de pressão, em condições de início de alto-vácuo, aproximadamente ao
redor de 10-4 mbar. Há dois motivos, um deles é o fato de na câmara de ionização haver um
filamento e este precisa estar em baixas pressões para não danificar, e o outro motivo é que a
pressão precisa ser baixa o suficiente para o livre caminho médio ser grande a ponto de não
desviar a órbita dos átomos ou moléculas.

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1. Veja o esquema de um circuito de sistema de vácuo com a presença da câmara de vácuo,

bombas de vácuo, linha de bombeamento, medidores de pressão total, com possibilidade de injeção
controlada de gases (veremos este assunto próximo roteiro) e um analisador de gases e vapores.
Comente o sistema de vácuo no que se refere ao processo de bombeamento, considerando os três
termos importantes, ou seja, aquele devido a variação de pressão na câmara de vácuo, aquele devido
ao bombeamento e por fim aquele devido às fontes de gases e vapores.

Esquema geral de sistema de vácuo com analisador de gases residuais.

2. A figura abaixo mostra de forma esquemática como podemos entender a idéia de medição de
pressão total, cujo valor de pressão é devido a presença de todos os tipos de átomos e moléculas, e
como podemos entender a idéia de medição de pressão parcial de um determinado tipo do gás. Neste
sentido, defina de forma clara o que é pressão total e pressão parcial de uma determinada mistura
gasosa. Expresse a lei de Dalton das pressões parciais e total. A lei de Dalton é óbvia? Quais são as
suas limitações. Qual o pressuposto básico para que ela seja válida?

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Concepção básica da tarefa a ser realizada por um medidor de pressão parcial.

3. Nos circuitos dos sistemas de vácuo mostrados abaixo localize as suas várias partes e mostre
o as posições de instalação dos medidores de pressão parcial. Podemos também identificar as
câmaras de vácuo com as bombas de vácuo e suas respectivas linhas de bombeamento.
Vemos também nesses sistemas de vácuo a instrumentação para a injeção controlada de
gases e vapores.

Sistemas de vácuo com analisadores de gases residuais.

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4. O método mais simples que podermos ter para identificar átomos e moléculas é aquele baseado
no princípio de ionizarmos estes átomos e moléculas, em seguida acelerados por meio de um campo
elétrico constante e posteriormente desviar o feixe de partículas eletricamente carregadas por meio
de um campo magnético uniforme e constante. O esquema básico do arranjo, chamado de
espectrômetro de massa está mostrado abaixo. Monte as equações de movimento e discuta o arranjo.

Esquema básico de espectrômetro de massa.

5. Um método mais sofisticado para a análise de gases residuais consiste de um filtro de massa. Um
tipo de espectrômetro de massa cujo princípio físico, mais difícil de entender que aquele
espectrômetro de massa mostrado na questão anterior, está baseado somente em campos elétricos.
Seu nome é espectrômetro de massa quadrupolar, cuja concepção geométrica básica está mostrada
na figura a seguir. Consulte os livros e diga em linhas gerais como funciona este instrumento
bastante sofisticado, tanto do ponto de vista mecânico como eletrônico. Este tipo de espectrômetro é
o mais utilizado em tecnologia do vácuo, sendo uma das características básicas o fato de não ter
eletroimã e nem imã permanente, isso o torna leve e compacto.

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Esquema básico de um espectrômetro de massa quadrupolar.

Comentário: O assunto tratado neste roteiro está cada vez mais presente em diversos sistemas de
vácuo. Até uns 20 anos atrás os analisadores de gases residuais eram pouco utilizados em
tecnologia do vácuo devido ao seu alto custo. Desde então estes equipamentos estão sendo mais
usados e constituem um instrumento bastante útil para analisar as condições de vácuo em inúmeras
aplicações. Além dos livros, devemos encontrar muitas informações nos catálogos e para um estudo
mais profundo podemos obter informações em livros específicos sobre princípios, técnicas e
instrumentos de espectrometria de massa. Infelizmente nos livros de tecnologia do vácuo temos
duas situações sobre este assunto no que se refere à exposição dos princípios físicos do
espectrômetro de massa quadrupolar, ou são muito pouco profundos ou poucos livros são
extremamente profundos. Não obstante, podemos ter um mínimo de entendimento sobre os
instrumentos e suas técnicas de análise e interpretação de dados.

BOM TRABALHO!!!
Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE
Prof. Francisco Tadeu Degasperi

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