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Sistema (canho + lentes) produz um feixe eletrnico pequeno (spot) A ampliao definida pelo controle da deflexo desse spot. Detectores de eltrons coletam o sinal Imagem formada medida que se d a varredura.
Fonte Varivel de Alta Tenso Canho de Eltrons Feixe de Eltrons Lentes Condensadoras Magnticas
Detector de R-X
Detector de e-
CMARA
Vcuo Amostra
Porta - Amostra
Detector de R-X
Detector de e-
CMARA
Vcuo Amostra
Porta - Amostra
Resoluo: dp pequeno Contraste: alto valor de ip (maior sinal) Profundidade de foco: pequeno ngulo de abertura do feixe, p Microanlise por Raios-X:
dp
Sensibilidade (elementos qumicos): alta corrente Resoluo espacial: pequeno dp, alta tenso dp dp ip ip Grandes ampliaes Pequenas ampliaes
ib
Imagem mais suave Resoluo pior Danos amostra
corrente na sonda
Equao de Brilho ( ):
=
corrente 4ib = 2 2 2 ( a rea ) ( angulo solido) d
[ A cm . sr]
2
2 ngulo slido =
ib = corrente do feixe num ponto fora do canho d = dimetro do feixe neste ponto = ngulo de convergncia ou divergncia neste ponto
ma x
J c eV0 = kT
[ A cm sr]
2
Jc = densidade de corrente na superfcie do catodo V0 = tenso de acelerao [V] e = carga do eltron (1,59. 10-19 C) k = constante de Boltzman (8,6.10-5 eV/K) T = temperatura absoluta [K]
Sistemas de Lentes
Lentes Condensadoras:
um ou dois conjuntos para reduzir feixe na sada da fonte e controlar dp e ip
Lentes Objetivas:
ajusta o foco do feixe sobre a amostra e altera as posies verticais do crossover final
Amostra
Interao eltron-amostra
Volume de excitao
Formao da Imagem
Fotomultiplicador
Conversor de sinal
Elsticas
~ 5
(em mdia)
Z2 2 2 cot 2 E
Espalhamento do feixe aumenta se: (1) Nmero atmico (Z) aumenta (2) Energia do feixe (E) reduzida
Colises elsticas projetam eltrons para fora do feixe e provocam perda na resoluo
Inelsticas
eltron secundrio
Direo do movimento quase no muda (~ 0,1), mas a energia do eltron se altera significativamente.
Situao IDEAL
Colises elsticas causam um maior espalhamento do feixe, enquanto que as colises inelsticas restringem a distncia de movimentao dos eltrons.
superfcie da amostra
Eltrons absorvidos
Eltrons absorvidos
Menor nmero de colises = Maior intensidade Volumes de Excitao Maior nmero de colises = Menor intensidade
Superfcie de Fratura
Porta-Amostra
10 keV
20 keV
Fe (Z=26)
W (Z=74)
60
15
75
45
90
Canho de Eltrons
Funes:
Prover uma fonte estvel de eltrons Prover alta corrente para um spot pequeno na amostra
Fontes de Eltrons: Emisso terminica (Tungstnio ou LaB6 ) e de Emisso por efeito de Campo (field emission), com filamento de Tungstnio Tipo mais usado: Filamento de Tungstnio (emisso terminica)
Metal Vcuo
Ew EF
( J c = AcT e
2
E
2
Ew
kT
[ A / cm ]
Onde: Ac = constante=120A/cm2K2 T= temperatura de emisso (K) Ew= funo trabalho do material do filamento (eV) k = constante de Boltzmann = 8,6.10-5 eV/K
Filamento de Tungstnio
Tenso Mdia de Corrente Contnua no Filamento de at 3000V (entre o filamento e o Cilindro Wehnelt)
Feixe de Eltrons
+
Dimetro de Cruzamento do Feixe (d0) Tenso de Acelerao do Feixe entre 1 e 50.000V. (diferena de potencial entre o Cilindro Wehnelt e o Anodo)
Anodo
Fonte W LaB6
Field Emission
Brilho Vida til ip/dp (A/cm2sr) (horas) (relativo ao W) 105 40 a 100 1x 106 108 200 a 1000 > 1000 10 x 100-1000 x
Estabilidade da Corrente 1% 1% 5%
(filamento de W)
mximo brilho obtido para uma tenso de bias tima entre o cilindro Whenelt e o filamento
Vida do filamento de W:
vida til comprometida pela evaporao dos tomos do filamento maior brilho requer maior temperatura de operao, que implica em maior evaporao vida til tpica entre 40 e 100 horas
Hexaboreto de Lantnio:
maior brilho, 10 vezes mais corrente no mesmo spot e maior vida til que o filamento de W requer melhor vcuo (10-5 Pa), pois o LaB6 muito reativo sistema de vcuo encarece o equipamento, custo operacional maior que com filamento de W
Lentes Magnticas
Propriedades das lentes magnticas formao das linhas de campo (B) manipulao da orientao dos eltrons
F = e( v B )
V0 f ( NI ) 2
Tipos de lentes:
Condensadoras (C1, spot size, lentes de resoluo) uma ou duas - diminuem o dimetro do feixe (maior reduo), controlam dp e ip Objetivas (lentes de foco): ajustam o dimetro final do feixe e controlam a varredura; alteram a posio vertical do crossover final Objetivas Cnicas melhor para amostras grandes, maior aberrao Simtricas menores aberraes, melhores para alta resoluo Abertura Real: posicionada dentro do conjunto final de objetivas para limitar o feixe Virtual: acima do conjunto de objetivas; menor dimetro para equivaler abertura real; vantagem de se manter limpa, longe da amostra
1 1 1 = + f p q
p m= q d0 q1 d1 = = d0 m1 p1
Efeito do tamanho da abertura final: condio tima reduz aberraes, controla corrente na sonda e controla profundidade de foco Distncia de Trabalho (W): distncia entre a superfcie inferior da ltima bobina (lente) e a amostra Efeito da distncia de trabalho: maior W = maior q2 = menor reduo no feixe = maior dimetro de spot = menor resoluo
Efeito das lentes condensadoras: maior intensidade da corrente nas lentes, maior o dimetro final do feixe Aberraes: Esfrica:
d s = 1 Cs 3 2
Astigmatismo:
Vibraes
dp versus ip:
Comparao entre as fontes de eltrons
microanlise
Ento, para uma fonte terminica com filamento de tungstnio, baixa tenso de acelerao s pode ser usada para imagens de pequena ampliao, onde uma baixa resoluo tolervel.
Interaes Eltron-Amostra
Tipos de Interao:
Espalhamento Elstico - eltrons retroespalhados
Espalhamento Inelstico - eltrons secundrios - eltrons Auger - raios-X (continuum) - phonons (vibrao na rede) - plasmons (oscilao eletrnica) - radiao eletromagntica - catodoluminescncia
Caractersticas do Espalhamento:
Z2 Q Elstico: ( > ) ~ E 2
Espalhamento aumenta se: - nmero atmico (Z) aumen - energia do feixe (E) diminu
Caractersticas do Espalhamento:
Inelstico:
dE eV Z ln E ( nm) ~ ds AE
Espalhamento inelstico aument - nmero atmico (Z) aumenta - energia do feixe (E) diminui - massa atmica (A) diminui - densidade () aumenta
Clivagem
Gro 2 Gro 1 Degraus formam as marcas de rios na fratura por clivagem, que transgranular pois compreende a separao de planos cristalinos. Trincas secundrias so comuns e as marcas so bem definidas.
Coalescimento de Vazios
Fratura por deslizamento em monocristais
plano de deslizamento
marcas de deslizamento
Dimples
Interpretao
Dimples formados Dimples rasos por toro Dimples alongados em funo de incluses em bastonete
Fratura Mista
Alvolos nos contornos dos gros e facetas de clivagem no interior
Quase-clivagem
Coalescimento dos planos de clivagem denota uma maior ductilidade local. Mistura, numa mesma faceta, clivagem e deslizamento de planos.
Fratura mista: Mecanismos so bem distintos entre contorno e interior dos gros
Fratura Intergranular
Fadiga
Aspectos Macroscpicos
Tenso Nominal Elevada
sem concentrador de tenses moderado concentrador de tenses severo concentrador de tenses
Trao-Trao ou Trao-Compresso
Flexo Unidirecional
Flexo Alternada
Flexo Rotativa
45o
Toro
Tenses Nominais Baixas
sem concentrador de tenses concentrador de tenses suave concentrador de tenses severo
Trao-Trao ou Trao-Compresso
Flexo Unidirecional
Flexo Reversa
Ruptura Final Nucleao e Propagao
Fadiga
Aspectos Macroscpicos
Marcas de Catraca
Marcas de Praia
Fadiga
Estgio I: Nucleao
Muito difcil de definir na prtica. Busca-se observar referncias ao mecanismo de intruses e extruses.
Deformao inicial
Extruso
Intruso
Propagao intergranular
Marcas de pneus
Espera-se ver as estrias, posicionando-se a sonda no interior da marca de praia MAS ...
Zona de Estiramento
Regio de estrias (propagao estvel) Coalescimento de vazios Decoeso por cisalhamento
Lze
Regio de ruptura final (propagao instvel)
Hze
Primeiro arredondamento
Projeo direita
Paralaxe:
y x
Projeo esquerda
dir y x Y X
P = xesq xdir
Elevao:
regio observada
esq
P z= 2M sen ( 2 )
Z = z1 z2
Sem Inclinao
esquerda
esquerda
2
2
zdir
central
xdir xesq
2
z X
direita
zcentral
Reconstruo completa
Curvas de nvel
5
10
[ m ]
0 5 5 10 15 0 5
P os i o no
perfil (e
10
ixo Y ) [ m ]
15
20
F rente
20
da trinc a
(e ixo X
) [ m ]
E levao
( eixo Z )