I n t e r f e r o m e t r i c d e t e r m i n a t i o n o f t h i c k n e s s o f

f r e e - s t a n d i n g s u b m i c r o n F o r m v a r f i l m s
R . P . S h u k l a
B h a b h a A t o m i c R e s e a r c h C e n t r e
S p e c t r o s c o p y D i v i s i o n
B o m b a y 4 0 0 0 8 5 , I n d i a
A v i j i t C h o w d h u r y
P a r s h o t a m D a s s G u p t a
C e n t r e f o r A d v a n c e d T e c h n o l o g y
L a s e r P r o g r a m m e
I n d o r e 4 5 2 0 1 3 , I n d i a
A b s t r a c t . A m e t h o d f o r m e a s u r i n g t h e t h i c k n e s s o f f r e e - s t a n d i n g f i l m s
o f F o r m v a r i n t h e r a n g e o f 2 0 0 0 A t o 5 p m i s p r e s e n t e d . T h e o p t i c a l
p a t h d i f f e r e n c e o f t h e f i l m w i t h r e f e r e n c e t o a i r i s m e a s u r e d u s i n g a
m o d i f i e d J a m i n i n t e r f e r o m e t e r , a n d t h e r e f r a c t i v e i n d e x i s d e t e r m i n e d b y
a t h i n w e d g e t e c h n i q u e . T h e m e t h o d p r o v i d e s t h i c k n e s s m e a s u r e m e n t s
w i t h a n a c c u r a c y o f 3 0 0 A . T h e r e s u l t s a r e f o u n d t o b e i n g o o d a g r e e -
m e n t w i t h t h o s e o b t a i n e d f r o m a p r o f i l o m e t e r . T h i s s i m p l e m e t h o d c a n
b e v e r y u s e f u l f o r t h i c k n e s s m e a s u r e m e n t o f f r e e - s t a n d i n g t h i n p l a s t i c
f i l m s f o r e x t r e m e u l t r a v i o l e t ( X U V ) s o f t x - r a y r e s e a r c h a p p l i c a t i o n s .
S u b j e c t t e r m s : i n t e r f e r o m e t e r s ; r e f r a c t i v e i n d i c e s ; f r e e - s t a n d i n g t h i n f i l m s ; x - r a y
f i l t e r s ; F o r m v a r .
O p t i c a l E n g i n e e r i n g 3 3 ( 6 ) , 1 8 8 1 1 8 8 4 ( J u n e 1 9 9 4 ) .
1 I n t r o d u c t i o n
F r e e - s t a n d i n g


1
r i m )


































T h e


F i l m T h i c k n e s s M e a s u r e m e n t
W h e n




1 )
( 1 )




.
( 2 )
( l L 1 )
I n t e r f e r o m e t e r a n d F r i n g e S h i f t M e a s u r e m e n t
A









d e g .


E N G I N E E R I N G / J u n e 1 9 9 4 / V o l . 3 3 N o . 6 / 1 8 8 1
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S H U K L A , C H O W D H U R Y , a n d G U P T A


F i g . 1 S c h e m a t i c d i a g r a m o f t h e m o d i f i e d J a m i n i n t e r f e r o m e t e r f o r
m e a s u r i n g t h e t h i c k n e s s o f a t h i n f i l m .
1 0 - m m




























6 5 6 0




2 ,
. . ) . F o r







F i g . 2 G e o m e t r i c a l s h a p e o f t h e f i l m h o l d e r . T h e t h i n f i l m i s m o u n t e d
o n a t h i c k c a r d b o a r d .
E
z
C
6
5
4
3
2
1
F i g . 3 P l o t s h o w i n g t h e v a r i a t i o n o f n u m b e r o f f r i n g e s h i f t s v e r s u s
t h e m o v e m e n t o f t h e w e d g e o f t h e c o m p e n s a t o r . A n o p t i c a l f i l t e r o f
w a v e l e n g t h 6 5 6 0 A i s u s e d t o o b t a i n a s e t o f m o n o c h r o m a t i c f r i n g e s .
m m


R e f r a c t i v e I n d e x M e a s u r e m e n t
A n










o f
1 8 8 2 / O P T I C A L E N G I N E E R I N G / J u n e 1 9 9 4 / V o l . 3 3 N o . 6










1 2 3 4 5 6
F R I N G E
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I N T E R F E R O M E T R I C D E T E R M I N A T I O N O F T H I C K N E S S O F F O R M V A R F I L M S
F i g . 4 S c h e m a t i c d i a g r a m o f a s i m p l e s e t u p f o r m e a s u r i n g t h e r e -
f r a c t i v e i n d e x o f t h e F o r m v a r . A t h i n w e d g e p l a t e o f t h e F o r m v a r i s
p l a c e d n e a r t h e H e - N e l a s e r .
2 d















=

N o t e




A c c u r a c y o f T h i c k n e s s M e a s u r e m e n t
T h e
i n



K 1 2 [ t 1 2 T 2
( 4 )
[ ( p l )
C o n s i d e r i n g

X = 6 5 6 0


c o m e s









R e s u l t s a n d D i s c u s s i o n
T h i n f i l m s o f F o r m v a r w e r e p r e p a r e d u s i n g a v a r i a t i o n o f a

( 1


















T h e







1 . D . L .
A .

' D e m o n s t r a t i o n P h v s .
1 0 1 1 3 ( 1 9 8 5 ) .
2 . ' A
E n g . 1 2 ( 4 ) ,

' S i m p l e


O p t .

4 . R . P o p i l , A . H a r o m y , R . F e d o s e z e v s , a n d A . A . O f f e n b e r g e r , '
' P r e p a -
R e v .

P . S h u k l a r e c e i v e d h i s B S c f r o m A g r a
U n i v e r s i t y , h i s M S c i n p h y s i c s f r o m L u c k -
n o w U n i v e r s i t y , h i s p o s t - M S c d i p l o m a i n
a p p l i e d o p t i c s f r o m t h e I n d i a n I n s t i t u t e o f
T e c h n o l o g y ( l I T ) , D e l h i , I n d i a , a n d h i s P h D
d e g r e e i n p h y s i c s f r o m B o m b a y U n i v e r s i t y ,
I n d i a . F r o m 1 9 6 6 t o 1 9 6 8 , h e w a s a s e n i o r
s c i e n t i f i c a s s i s t a n t a t l I T , D e l h i . S i n c e
1 9 6 9 , h e h a s b e e n a s c i e n t i f i c o f f i c e r i n t h e
B h a b h a A t o m i c R e s e a r c h C e n t r e , B o m -

b a y . H e w o r k e d f o r a b o u t 1 3 y e a r s w i t h D r .
M . V . R . K . M u r t y ( w h o s e p r e s e n t n a m e i s M u r t y V . M a n t r a v a d i , i n -
v e n t o r o f t h e p a r a l l e l p l a t e s h e a r i n g i n t e r f e r o m e t e r k n o w n a s t h e
M u r t y i n t e r f e r o m e t e r ) i n t h e f i e l d s o f i n t e r f e r o m e t r y , o p t i c a l h o l o g -
r a p h y , a n d o p t i c a l i n s t r u m e n t a t i o n . D u r i n g 1 9 8 9 t o 1 9 9 1 , h e w a s a
r e s e a r c h a s s i s t a n t p r o f e s s o r i n t h e P h y s i c s D e p a r t m e n t o f A l a b a m a
A & M U n i v e r s i t y w i t h P r o f . P . V e n k a t e s w a r l u o n a N a t i o n a l A e r o n a u -
t i c s a n d S p a c e A d m i n i s t r a t i o n ( N A S A ) p r o j e c t r e l a t i n g t o s u r f a c e
r o u g h n e s s m e a s u r e m e n t s o f o p t i c a l s u r f a c e s a n d o p t i c a l p h a s e c o n -
j u g a t e i n t e r f e r o m e t r y . H i s c u r r e n t i n t e r e s t s i n c l u d e d e v e l o p m e n t o f
o p t i c a l a n d s p e c t r o s c o p i c i n s t r u m e n t s ; o p t i c a l t e s t i n g a n d f a b r i c a t i o n
o f o p t i c a l c o m p o n e n t s , s u c h a s l e n s e s , p l a n e p a r a l l e l p l a t e s , o p t i c a l
f l a t s , c o n c a v e a n d c o n v e x s p h e r i c a l m i r r o r s , a n d F a b r y - P e r o t p l a t e s ;
a n d e s t a b l i s h m e n t o f a n a d v a n c e d o p t i c a l t e s t i n g f a c i l i t y i n I n d i a e s -
p e c i a l l y f o r t e s t i n g s y n c h r o t r o n o p t i c s .
O P T I C A L E N G I N E E R I N G / J u n e 1 9 9 4 / V o l . 3 3 N o . 6 / 1 8 8 3




d 2

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S H U K L A , C H O W D H U R Y , a n d G U P T A
A v i j i t C h o w d h u r y r e c e i v e d h i s B S c
( H o n s . ) i n p h y s i c s f r o m B a n k u r a C h r i s t i a n
C o l l e g e , W e s t B e n g a l , i n 1 9 8 5 a n d h i s
M S c i n p h y s i c s f r o m B u r d w a n U n i v e r s i t y i n
1 9 8 8 . A f t e r c o m p l e t i n g a 1 - y e a r a d v a n c e d
p h y s i c s c o u r s e a t t h e B h a b h a A t o m i c R e -
s e a r c h C e n t r e t r a i n i n g s c h o o l , h e j o i n e d
t h e C e n t r e f o r A d v a n c e d T e c h n o l o g y , I n -
d o r e , i n 1 9 9 0 . H e h a s w o r k e d o n t h e d e -
v e l o p m e n t o f a h i g h - p o w e r N d : g l a s s l a s e r
c h a i n f o r x - r a y g e n e r a t i o n s t u d i e s a n d i s
p r e s e n t l y i n v o l v e d i n s e t t i n g u p e x t r e m e u l t r a v i o l e t ( X U V ) s o f t x - r a y
d i a g n o s t i c s f o r l a s e r p r o d u c e d p l a s m a .
1 8 8 4 / O P T I C A L E N G I N E E R I N G / J u n e 1 9 9 4 / V o l . 3 3 N o . 6
P a r s h o t a m D a s s G u p t a r e c e i v e d h i s B S c
d e g r e e f r o m t h e G o v e r n m e n t C o l l e g e , H i s -
s a r , i n 1 9 7 0 a n d h i s M S c d e g r e e f r o m P u n -
j a b U n i v e r s i t y , C h a n d i g a r h , i n 1 9 7 2 . H e
j o i n e d B h a b h a A t o m i c R e s e a r c h C e n t r e
( B A R C ) , B o m b a y , i n 1 9 7 3 a f t e r c o m p l e t i n g
a 1 - y e a r a d v a n c e d p h y s i c s c o u r s e a t t h e
B A R C t r a i n i n g s c h o o l . H e r e c e i v e d h i s
P h D o n t h e s t u d y o f p l a s m a a b l a t i o n f r o m
l a s e r i r r a d i a t e d t a r g e t s f r o m t h e U n i v e r s i t y
o f B o m b a y i n 1 9 8 4 . H e w a s a p o s t d o c t o r a l
f e l l o w a t t h e U n i v e r s i t y o f A l b e r t a f r o m 1 9 8 4 t o 1 9 8 6 . S i n c e 1 9 7 3 h e
h a s b e e n w o r k i n g o n v a r i o u s a s p e c t s o f l a s e r p l a s m a i n t e r a c t i o n ,
i n c l u d i n g a b l a t i o n p r e s s u r e s c a l i n g , m a s s a b l a t i o n r a t e m e a s u r e -
m e n t s , l a t e r a l e n e r g y t r a n s p o r t , a n d x - r a y s p e c t r o s c o p y . H e i s a r e -
c i p i e n t o f t h e y o u n g s c i e n t i s t a w a r d o f t h e I n d i a n N a t i o n a l S c i e n c e
A c a d e m y i n 1 9 8 4 , a n d b e c a m e a y o u n g a s s o c i a t e o f t h e I n d i a n
A c a d e m y o f S c i e n c e s i n 1 9 8 6 . H e c u r r e n t l y h e a d s t h e e x t r e m e u l -
t r a v i o l e t l a s e r - p l a s m a l a b o r a t o r y a t t h e C e n t r e f o r A d v a n c e d T e c h -
n o l o g y , w h i c h h e j o i n e d i n 1 9 9 0 .
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