Microscopia eletrônica de

Transmissão: Aspectos básicos e

aplicações.

Douglas Rodrigues Miquita

Centro de Microscopia da UFMG
 Parte I
Introdução aos aspectos básicos

Por que precisamos de TEM

2 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012

Prólogo
A natureza é repleta de entes e estruturas com dimensões tão pequenas que o
olho humano não é capaz de identificá-las.

Para enxergar tais estruturas precisamos de algo que as tornem grandes o suficiente
para que nossos olhos possam percebê-las: lentes de aumento.
Microscópios!!!!
3 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012
 Lentes convergentes e o microscópio óptico

Lentes:
São materiais homogeneos e transparentes, com indice de refração diferente do meio em
que está envolta e com curvatura em pelo menos uma face. Dessa forma são capazes de desviar os
feixes de luz que a atravessam.

Plano imagem

Condensadora Ocular

Lente Objetiva
Objeto
Imagem real

Plano focal
O microscópio óptico X microscópio eletrônico

Condensadora Ocular

Lente Objetiva
Objeto
Imagem real

Plano focal

Lentes projetoras
Lente Objetiva
Condensadora

Tela fluorescente

Objeto

Primeira imagem
Plano focal

5 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012

 Eletrons e sua interação com a amostra

Feixe primário
A incidência de
Catodo luminescência
Elétrons Auger
um feixe de elétrons sobre
Elétrons secundários uma superfície material dá
Elétrons retroespalhados origem a vários sinais.
Raios-X característicos Raios-X
Contínuo (Breestralung)

De posse dos
detectores adequados
podemos captar todos
esses sinais.

Elétrons espalhados
Elétrons espalhados Elétrons sem inelasticamente
elasticamente espalhamento

Essa é uma das razões da microscopia eletrônica ser uma técnica tão versátil
6 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012
Por qual razão necessitamos de microscopia eletrônica de transmissão?

Para enxergar estuturas tão pequenas que não podem ser vistas a olho
nú ou com microscópio óptico ou até mesmo com microscopia eletrônica de
varredura.

Nanoparticulas de prata Defeitos na fabricação de

dispositivos semicondutores

7 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012

Por qual razão necessitamos de microscopia eletrônica de transmissão?

Para obter informação estrutural de pequenos objetos

SAED de uma liga de Cu-Al-Ni HR-TEM da direção [001] do Si

8 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012

Por qual razão necessitamos de microscopia eletrônica de transmissão?

Para obter informação sobre a composição química de pequenas estruturas

Mapeamento por EElS

EDX de nanoparticulas de prata

9 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012
Por qual razão necessitamos de microscopia eletrônica de transmissão?

Extrair informação (de pequenas estruturas) que outras técnicas não permitem ou
não fazem da maneira correta.

Casamento de rede em QD´s

de InAs sobre GaAs
10 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012
Palavras chave  “pequenas estruturas”

As palavras chave são “pequenas estruturas”
que na verdade significam

estruturas com dimensões da ordem de nanometros.
TEM fornece informações em nano escala:
• Imagens;
• Estrutura;
• Composição Química;
• Outras a depender da necessidade.

È a técnica pioneira em nanoescala.

Uma das mais importantes, se não for a mais, ferramentas para
nanotecnologia.

11 II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012

O que faz a microscopia eletrônica tão poderosa?

O fato de usarmos eletrons!!

Devido a sua dualidade

onda particula, podemos
tratar elétrons como ondas.

h
λ= 1
 eV  2

2m0 eV (1 + 2m c 2 )
 0 

Ao acelerar elétrons por potenciais da ordem de KeV, damos a eles

energia suficiente para que seu comprimento de onda seja da ordem de angstrons.
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 Para um microscópio óptico (λ = 400 nm) a melhor resolução atingida até
hoje é de 174 nm. [lentes imersas em óleo (n =1,4)].
Para um microscópio eletrônico o melhor resultado até hoje foi de
0,13 nm a 100 kV (λ = 0,0037 nm)
0,09 nm a 200 kV (λ = 0,0025 nm)

A diferença está na natureza das lentes eletromagnéticas, que contém

imperfeições intrinsecas que alteram de forma efetiva o desempenho do
microscópio. São elas:

• Aberração esférica;
• Aberração cromática;
• Astigmatismo Detalhes em instantes!!
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O microscópio óptico X microscópio eletrônico

Condensadora Ocular

Lente Objetiva
Objeto
Imagem real

Plano focal

Lentes projetoras
Lente Objetiva
Condensadora

Tela fluorescente

Objeto

Primeira imagem
Plano focal

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O microscópio óptico X microscópio eletrônico
As principais diferenças:
• O comprimento de onda;
• Interação com a amostra;
• Distribuição de energia (
monocromático X luz
branca);
• Colimação e paralelismo;
• Facilidade de deflexão.
• Coerência
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As principais vantagens em TEM:
• melhor resolução;
• diversidade de sinais;
• melhor resolução;
• Qualidade da imagem e
facilidade de interpretação;
• Uso de lentes
eletromagnéticas.
• Melhor resolução, resultados
interpretáveis.
II Encontro da Rede Mineira de Química - UFSJ - Maio de 2012
Exigências básicas para TEM:

• Excelente vácuo;
• aumentar o livre caminho médio dos elétrons;
• prolongar a vida útil do canhão;
• Uma fonte de elétrons
• capaz de gerar elétrons com alta velocidade
• Cameras, unidades eletrônicas e “softwares”
• para viualizar, armazenar e tratar os resultados.
• Amostras com espessura que permitam a passagem do feixe
• preparação de amostras é o coração da microscopia, seja SPM, MEV,
TEM ou óptica.

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Formação da imagem em TEM

• Raios que chegam a lente passando pelo foco saem paralelos ao eixo optico;
• Raios que chegam a lente passando por seu centro passam sem sofrer desvio;
• Raios que chegam a lente paralelos ao eixo óptico saem pelo foco;

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