Engenharia de Superfície – Filmes Finos

Engenharia de Superfície
Filmes finos:

• Camadas com espessura inferior à 10 m

(normalmente em torno de 2-4 µm)

1. Monocamada

2. Multicamadas: Espessuras da ordem

de dezenas de ângstrons

Até o momento estávamos interessados em duas fontes de átomos com

uso separado:

- enriquecimento → alvo (cátodo)

- TTQ → Gases

Em deposição de filmes finos: normalmente utilizamos as duas fontes:

gases e alvo → Ex: Ti + N2 = TiN
Engenharia de Superfície – Soluções tribológicas
Engenharia de Superfície – Implantação Iônica

• Jogo de bilhar atômico

Três regimes colisão

(a) colisão única (de baixa energia),
(b) cascata linear
(c) ramificado (de alta energia)
 Engenharia de Superfície – Implantação Iônica

• Quando um íon energético penetra em um sólido, ele sofre uma série de colisões
com os átomos e elétrons do alvo.

• Nessas colisões, a partícula incidente perde energia. Dois mecanismos

diferentes de perda de energia prevalecem:

1. O primeiro refere-se a colisões eletrônicas, nas quais a partícula em

movimento excita ou ejeta elétrons de átomos do substrato
2. colisões nucleares, nas quais a energia é transferida como um movimento
translacional para átomos do substrato.

• Esse processo é responsável por uma desordem na rede cristalina através de

deslocamentos dos átomos de suas posições na rede.

• A importância relativa dos dois mecanismos de perda de energia muda

rapidamente com a energia da partícula incidente e com seu número atômico Z.
 Engenharia de Superfície – Implantação Iônica
• Nessas colisões, suficiente energia pode ser transferida para mover átomos
de suas posições de equilíbrio, criando então uma cascata atômica de
colisões.

• Esse processo acarreta uma distribuição de vacâncias, átomos intersticiais e

outros tipos de desordens de rede na região próxima ao caminho dos íons.

• À medida que o número de íons incidentes no cristal aumenta, a desordem

de cada uma dessas regiões começa a se sobrepor, gerando regiões
bastante alteradas. A desordem total e sua distribuição no substrato
dependem das espécies iônicas, temperatura, energia das partículas
incidentes.
 Engenharia de Superfície – Implantação Iônica
• Consiste em um processo onde os íons são extraídos do plasma e então acelerados
e direcionados em forma de feixe de alta energia em direção ao substrato.

• Os íons bombardeiam o substrato e são implantados

V: acima de 1kV
P: 10-3 - 10-6 Torr
Esp: 0,01 – 1 µm
 Engenharia de Superfície – Implantação Iônica
• Esta técnica tem seu uso mais comum e imprescindível na microeletrônica, e
tem a vantagem do feixe ser formado por íons monoiônicos e
monoenergéticos, e da possibilidade da alta seletividade da espécie a ser
implantada.

• A sua maior desvantagem é a necessidade do alvo ser manipulado em vácuo

para que o tratamento ocorra em superfícies tridimensionais
 Engenharia de Superfície – 3IP ou PIII
• Uma nova técnica de implantação permite a implantação de forma tridimensional,
chamada de Implantação Iônica por Imersão em Plasma (3IP ou PIII)

V =5-100 kV.
Duração = 5 -100 μs,
Frequência = 10 a 1000 Hz
P: 10-2 Torr.
 Engenharia de Superfície – 3IP
• Com este processo, a região implantada próxima da superfície pode ser modificada
independentemente de variáveis termodinâmicas, tais como solubilidade e difusividade

• Sistemas similar a de nitretação, com alterações na tensão e na densidade de potência

média na superfície da peça a ser tratada (tensão pulsada → não permite T  e  D.

• A utilização do processo 3IP produz mudanças químicas e microestruturais, melhorando as

superfícies dos materiais em que são empregados, alterando suas propriedades elétricas,
reduzindo o atrito, endurecendo estas superfícies e melhorando sua resistência ao
desgaste e a corrosão.

Superfície sem
tratamento

Superfície com
tratamento
 Engenharia de Superfície – 3IP
• O aço inoxidável 15-5 PH é um aço inoxidável martensítico que combina alta
resistência mecânica com boa resistência à corrosão

• Este material pertence a classe PH (Precipitation Hardening), que é obtida

pelo tratamento térmico de endurecimento por precipitação.

• O tratamento é realizado a 552ºC por 4 horas.

• Propriedades mecânicas:
Resistência Mecânica: 1100 MPa.
Dureza: 39,5 – 42,1 HRC.
 Engenharia de Superfície – 3IP

• tempo de exposição ao tratamento superficial 3IP de 1, 2 e 3 horas

• frequência 1,5 kHz e tensão de 10 kV
• largura de pulso foi de 50μs
• fluxo de nitrogênio foi de 10 cm3/segundo
• fluxo de hidrogênio foi de 5 cm3/segundo
• pressão do vácuo de 2,0 x 10-2 mbar
 Engenharia de Superfície – 3IP

• Pico referente à distorção na estrutura da matriz do aço;

• Esta distorção é chamada de γN, ou distorção pelo excesso de nitrogênio na rede cristalina
• Esta distorção causada pela microtensão na estrutura, deixa a superfície mais rígida e, portanto
mais dura.
Engenharia de Superfície – 3IP
Curva S-N aço inoxidável 15-5 PH
 Engenharia de Superfície – 3IP

O sinal (-) significa tensão compressiva e o sinal (+) significa tensão trativa.
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→ Influência no desgaste de íons de N implantado em aço inoxidável
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