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IE012
Sensores Integrados em Silcio
IE012
Sensores de umidade
Professor Fabiano Fruett
UNICAMP FEEC - DSIF
Sala 207
www.dsif.fee.unicamp.br/~fabiano
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IE012
Unidades Higromtricas
Grandeza Smbolo Sistema
Gaussiano (CGS)
Presso parcial de
vapor dgua
p
w

mmHg, kPa
mbar, atm
Presso de saturao
de vapor dgua
p
s

mmHg, kPa
mbar, atm
Deficit de saturao p
mmHg, kPa
mbar, atm
Umidade relativa RH %
Umidade absoluta
w
g/m
3

Ponto de Dew T
d
C
vol. ar mido
vol. ar seco
m
r
ppmv

2
3
IE012
Lei de Dalton
Presso Total:
P
TOTAL
= P
GS SECO
+ p
w
Ar atmosfrico:
P
TOTAL
= P
NITROGEN
+ P
OXYGEN
+ P
ARGON
+ P
TRACE ELEMENTS
+ p
w
Valores tpicos:
P
NITROGEN
= 78 kPa
P
OXYGEN
= 21 kPa
P
ARGON
= 1 kPa
P
TRACE
= 0.3 kPa
p
w
= 1 kPa
P
TOTAL
= 101.3 kPa
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IE012
Presso de saturao em funo da
temperatura
1,E+00
1,E+01
1,E+02
1,E+03
1,E+04
0 20 40 60 80 100 120 140
Temperatura [C]
P
r
e
s
s

o

d
e

S
a
t
u
r
a

o


[
m
m
H
g
]
17.27
exp
237.3
s
t
p A
t
(
=
(
+

A = 4.58 mmHg = 0.61 kPa
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Unidades Higromtricas
Dficit de saturao
Umidade absoluta
Umidade relativa
Ponto de orvalho (Dewpoint)
s w
p p p =
217, 6
w
w
p
T
=
100%
w
s
p
RH
p
=
Temperatura em que:
100%
w s
H
p p
R
=
=
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Sensores de umidade:
Capacitivo (75% dos sensores disponveis
no mercado)
Resistivo
Dew point
Condutividade trmica
tico
MEMS
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IE012
Caractersticas desejveis de um sensor
de umidade
Alta sensibilidade
Resposta rpida
Baixo custo
Tamanho reduzido
Histerese mnima
Baixa deriva trmica
Estabilidade a longo
prazo (long-term
stability)
Durabilidade
Reprodutibilidade
Resistncia contra
contaminantes
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Sensores de umidade capacitivos
0 r
A
C
d
=
n
w w
d d
C
C

| |
=
|
\ .
C = capacitncia em F
= permissividade relativa
= permissividade do vcuo
8,85 10
-12
F/m
A = rea da placa em m
2
d = distncia entre as placas em m
r

Linearidade
Dieltrico
r

Ar(seco) 1,0006
gua@ 0 C
gua@ 25 C
gua@ 100 C
88
80
55

5
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Morfologia dos eletrodos
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Materiais dieltricos compatveis
Silcio poroso
Tipo p fracamente dopado
Desvantagem: Facilidade de
contaminao
Polisilcio poroso
Vantagem: baixo TCR
Carboneto de silcio
Vantagem: menos
vulnervel contaminao
Si poroso obtido atravs de
anodizao eletroqumica com
HF. Espessura 500010
-10
m
Fonte: TUDelft
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IE012
Sensor de umidade
a Si poroso
Tempo de resposta
10% at 90% RH e
90% at 10% RH
Fonte: TUDelft
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IE012
1
C
f
C
2
C
V
out
V
1
S
2
S
Capacitores chaveados
( )
1 2
out
f
V C C
V
C

=
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IE012
Sensor de umidade integrado
Fonte: Y.Y. Qiu et al. A CMOS humidity sensor
with on chip calibration Sensor and Actuators A
92 (2001) 80-87
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IE012
Funo reset
Fonte: Rittersman and Benecke
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IE012
Sensores Capacitivos Comerciais
Sensores Capacitivos de Umidade de diversos fabricantes
(fonte: http://www.sensorsmag.com/articles/0701/54/main.shtml)
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IE012
Principais caractersticas dos
sensores de umidade capacitivos
Deriva trmica reduzida
Tamanho pequeno
Baixa resistncia a contaminantes
Tempo de resposta elevado
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IE012
Sensores de umidade Resistivos
Material absorvedor
de umidade
A mudana incremental na impedncia tipicamente uma
funo exponencial inversa da umidade
(http://www.sensorsmag.com/articles/0701/54/main.shtml)
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IE012
Sensor de umidade resistivo comercial
General Eletric
EMD4000
Temperatura de
operao: 5 a 60C
Preciso: 3%
Tempo de resposta:
<1min
Histerese: <1%RH
(http://www.geindustrial.com/products/brochures/RHSensorsOverview.pdf)
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IE012
Principais caractersticas dos
sensores de umidade resistivos
Tamanho pequeno
Baixo custo
Baixa resistncia a contaminantes
Histerese
Deriva trmica
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IE012
Mtodo do espelho resfriado
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IE012
Principais caractersticas dos
sensores de umidade ticos
Preciso e estvel
Velocidade de resposta (sensor rpido)
Histerese reduzida
Resistncia a contaminantes
Ausncia de deriva trmica
Alto custo
Integrao complexa
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IE012
Ponto de orvalho
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IE012
Material absorvedor
de umidade
Membrana
microfabricada
Sensores de umidade - MEMS
A tenso de sada uma funo linear do stress
e o stress funo quase linear da umidade relativa.
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Concluses
A sensibilidade dos sensores aproximadamente independente da geometria do diafragma
(quadricular, circular ou retangular)
A sensibilidade aumenta com a diminuio da espessura do diafragma e com o aumento da
espessura do filme absorvedor de umidade
O tempo de resposta aumenta com o aumento na espessura do filme
A razo de cobertura do diafragma pelo filme de polmero deve ser de aproximadamente
80% para maximizar a sensibilidade
Fonte: R. Buchhold, A. Nakladal, G.
Gerlach, P. Neumann Design studies
on piezoresistive humidity sensors -
Sensors and Actuators B 53 (1998) 17
Sensores de umidade - MEMS
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Higrometrix
HMX2000
0-100% RH
alta linearidade
baixa histerese (3%)
baixa potncia, baixa corrente
resposta rpida (<5s)
Aplicao: controle/monitoramento de
ambientes, verificador da qualidade do ar
(fonte: http://www.hygrometrix.com/DSHMX2000B%20pc.pdf)
Sensor de umidade MEMS comercial
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Sensores de plataformas de coleta
de dados
Temperatura e umidade do ar
Precipitao pluvimetro
Presso atmosfrica barmetro
Direo e velocidade do vento
Radiao solar
Temperatura do solo
Fluxo de calor do solo