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Sensores Integrados em Silício

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Sensores Capacitivos
Professor Fabiano Fruett

UNICAMP – FEEC - DSIF

Sala 207

www.dsif.fee.unicamp.br/~fabiano

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Capacitância: Equações
Q A
C= C =ε
V d
Intensidade do campo elétrico Permissividade relativa
V ε
E= εr =
d
ε0
Densidade do fluxo elétrico
ε0 = 8,85 ×10-12 F/m
Q
D=
A
A
Permissividade absoluta C = ε rε 0
d
D
ε=
E

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Sensores capacitivos
microeletrônicos
• Mecânicos
– Pressão
– Aceleração
– Tilt

• Químicos
– Umidade
– Concentração

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Constante dielétrica
Dielétrico εr
Ar(seco) 1,0006
Água@ 0 °C 88
Água@ 25 °C 80
Água@ 100 °C 55
Al2O3 8,8
Si 11,8
SiO2 3,8…5,4
Papel 3,5
Vidro 6

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Capacitância para algumas configurações

de interesse
εA
C=
d

A
C=
d1 d2
+
ε1 ε2

nε 0lw
C=
d

Fonte: W. Chr. Heerens, Application of capacitance techniques

in sensor design, J. Phys. E: Sci. Instrum. 19 (1986), 897-906

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Vantagens dos sensores mecânicos 6

capacitivos
• Sensores sem contato

• Geralmente possuem alta estabilidade e repetibilidade. Pois

a capacitância é independente das propriedades condutoras
das placas (resistência de folha).

• Apresentam baixa deriva térmica, pois a constante

dielétrica varia pouco com a temperatura. Normalmente
não precisam de compensação em temperatura.

• Adequados para grande faixa de temperatura

• Adequados para pequenos deslocamentos. Exemplo:

Sensor para baixo nível de pressão. Geralmente possuem
grande sensibilidade para uma pequena faixa.

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Limitações

• Efeito de borda

• Não-linearidade

• Impedância de saída

• Força eletrostática

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Capacitor diferencial
Variação da distância Variação da área efetiva

εA εA
C1 = C2 =
d+x d−x

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Sensor de pressão

Fonte: http://www.usitt.ecs.soton.ac.uk/

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Simulação FEM da curvatura do

eletrodo superior

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Geometria
Objetivo de projeto: Medir pressão absoluta de 0-8 bar

Ht=200, El=200, Ed=100, R=750, Hl=800, Hg=100, Dl=1500, G=2

[µm]

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Capacitores em polisilício

Micromáquinas de superfície
Fixo Móvel

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Acelerômetro
Fm
∆d =
k

Fonte: J. Fraden, Handbook of Modern sensors, AIP

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Circuitos de read-out para sensores capacitivos

• Ponte de impedância

• Multivibrador astável

• Oscilador de relaxação

• Amplificador de carga

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Pseudoponte para sensor capacitivo

não diferencial
Considerações sobre linearidade

Z3 Z 2
−
Z Z1
v0 = v 4
Z3
1+
Z4

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Pseudoponte para sensor capacitivo

diferencial

Z Z 
v0 = v  2 − 3 
 Z1 Z 4 

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Multivibrador astável

Fig. 12.24

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Oscilador de relaxação

I
Vout
C
I Vref

2VH C
T=
I

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Capacitores chaveados
V S2

C1
Cf

S1
C2

Vout

V ( C1 − C2 )
Vout =
Cf

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Capacitores chaveados

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Capacitores chaveados e circuito

condicionador

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Sistema em malha fechada

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