Relatrio 3 Microscpico Eletrnico de Varredura

O microscpio eletrnico de varredura capaz de produzir imagens com alta ampliao e resoluo, chegando a ampliaes de 300mil vezes. As imagens fornecidas pelo MEV so produzidas pela a interao de um feixe de eltrons com o material a ser observado, sendo que este ltimo deve ser condutor de corrente eltrica, caso contrrio deve ser submetido a um banho, geralmente de ouro, a fim de que o mesmo conduza corrente eltrica. O princpio de funcionamento do funcionamento do MEV consiste na emisso de um feixe de eltrons, induzidos por uma diferena de potencial entre 0,5 e 30 KV. Os eltrons so emitidos por um filamento de tungstnio, que possui alta emissividade de eltrons. A correo da direo e demagnificao do feixe de eltrons so feitas por lentes eletromagnticas. A lente eletromagntica consiste num cilindro de ferro com um furo central atravs do qual passa o eixo tico eletrnico do microscpio. No interior do cilindro, e envolvendo o eixo tico existem muitas bobinas de cobre atravs da qual circula uma corrente quando a lente est em operao. Esta configurao cria um campo magntico homogneo no centro do cilindro com o campo magntico na direo norte sul. Na parte central da lente existe uma fenda no cilindro de Ferro de tal modo a modificar o campo magntico e desviar os eltrons do feixe que se encontram fora do eixo tico. Utilizando o MEV podem ser obtidas imagens a partir de trs tipos de sinais, eltrons secundrios, eltrons retroespalhados e por meio de raio-X. Os eltrons secundrios so os mais utilizados e consistem em eltrons que so ejetados devido a choques inelsticos de eltrons do feixe primrio com eltrons da banda de conduo dos metais ou de valncia dos semicondutores ou isolantes. Os eltrons secundrios so definidos com base em sua energia cintica, ou seja so eltrons que possuem energia inferior a 50 eV.

Figura 1: Micrografia obtida por imagem de eltrons secundrios mostrando estruturas dendrticas em liga de titnio.

Como observado na figura 1, com a utilizao dos eltrons secundrios, a imagem obtida revela tambm a disposio espacial, ao contrrio do microscpio tico que a profundidade dos elementos que compem a imagem no pode ser distinguida. O sinal de eltrons retroespalhados resulta de uma sequncia de colises elsticas e inelsticas, no qual a mudana de direo suficiente para ejet -lo da amostra. Os eltrons retroespalhados de alta energia, por serem resultantes de colises elsticas, provm de camadas mais superficiais da amostra. Logo, se somente este tipo de eltrons forem captados, as informaes de profundidade contidas na imagem sero poucas se comparadas com a profundidade de penetrao do feixe. O sinal dos eltrons retroespalhados resultante das interaes ocorridas mais para o interior da amostra e proveniente de uma regio do volume de interao abrangendo um dimetro maior do que o dimetro do feixe primrio. A imagem gerada por esses eltrons fornece diferentes informaes em relao ao contraste que apresentam: alm de uma imagem topogrfica (contraste em funo do relevo) tambm obtm-se uma imagem de composio

(contraste em funo do nmero atmico dos elementos presentes na amostra).

Figura 2: Micrografias eletrnicas de varredura da liga Al-Nb-Ni comparando o sinal obtido utilizando eltrons secundrios (a) e eltrons retroespalhados (b)

Alm da utilizao dos eltrons secundrios e retroespalhados para a obteno de imagens, pode-se usar raios-X emitidos pela amostra para obter a variao espacial da concentrao do elemento na regio da amostra que est sendo analisada. Atravs da microanlise possvel tambm analisar a composio de pequenas regies da amostra. A microanlise um dos mais importantes instrumentos para a anlise qumica de materiais orgnicos e inorgnicos. possvel determinar a composio de regies com at 1 m de dimetro, alm de ser uma tcnica no destrutiva.

Figura 3: Micrografia da liga Al-Nb-Ni obtida em MEV: (a) imagem de eltrons secundrios e a distribuio de tomos de (b) Al, (c) Nb e (d) Ni obtida por mapeamento de raios-X.

Referncias Bibliogrficas
Caram, Rubens. Apostila contendo as notas de aula EM740 - UNICAMP Maliska, Ana Maria. Apostila de Microscopia de Varredura -UFSC Site: http://fap01.if.usp.br/~lff/mev.html acessado em 26/03/2013