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Faculdade de Tecnologia de São Paulo

Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV
ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO 12 – REEF 12

Sistemas de Vácuo para Altas Vazões e Gases Corrosivos

Com a crescente aplicação da tecnologia do vácuo em processos industriais, as questões

referentes ao bombeamento de altas quantidades de gases e principalmente vapores, em
especial o vapor d´água, têm estado na pauta dos grandes desenvolvimentos em tecnologia do
vácuo. Temos também os sistemas de vácuo que precisam operar em atmosferas corrosivas e
com gases explosivos. Nestes casos os sistemas de vácuo devem incorporar aspectos e
particularidades capazes de enfrentar estas situações adversas e incomuns para a maioria dos
sistemas de vácuo tradicionais. Nesta disciplina de tecnologia do vácuo não iremos aprofundar
esta questão, apenas iremos considerar algumas situações comumente encontradas no que se
refere ao bombeamento de vapor d´água, uma vez que atividades em ramos da indústria de
alimentos, fármacos e outras correlatas usam muito a tecnologia do vácuo com bombeamento
de muitos tipos de vapores.
Com relação ao bombeamento de gases corrosivos e explosivos temos a importantíssima
indústria de microeletrônica. Esta indústria está sendo uma grande propulsora da tecnologia
do vácuo, como foram as atividades de aceleradores de partículas e máquinas para o estudo da
fusão nuclear controlada nas décadas de 70 e 80 do século XX. Muitos equipamentos especiais,
bombas de vácuo, medidores de pressão e fluxo de gases e vapores têm sido desenvolvidos
para atender a indústria de microeletrônica. Além dos equipamentos específicos de vácuo uma
atenção especial tem sido dada ao tratamento dos gases e vapores após o seu consumo nos
reatores de processos assistidos a vácuo. Neste caso temos os lavadores de gases e vapores, os
chamados scrubbers. Fundamentais para tornar inócuos os gases e vapores após a sua
utilização. Cabe mencionar que grande parte das bombas de pré-vácuo tem operando junto a
elas uma unidade de trabalho em linha do seu óleo de operação. Estas unidades são
fundamentais para manter operando as bombas de pré-vácuo em atmosfera altamente
corrosiva.

As questões que seguem devem ser respondidas consultando o excelente livro High Vacuum
Production in Microelectronics Industry de Pierre Duval, disponível em nossa biblioteca. Os
estudantes também podem consultar os catálogos dos sistemas de vácuo especiais, as revistas
especializadas Semiconductor International e Solid States Technology. Em particular estas duas
últimas publicações são bastante interessantes também para sistemas de vácuo convencionais, uma
vez que trazem muitas informações bastante atualizadas.

1. O que é e como funciona um “scrubber”? Como conectá-lo ao sistema de vácuo?

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2. Digamos que devemos operar um sistema de vácuo em região de 10-4mbar. Como você pensaria
na questão: Utilizaria Bomba Turbomolecular ou Bomba Roots?

3. Veja o sistema de vácuo mostrado abaixo, na verdade dois sistemas de vácuo, um à direita e o
outro à esquerda do diagrama. Descreva estes sistemas de vácuo dando atenção especial ao circuito
de injeção de gases e vapores e a sua exaustão segura. Note a instalação do lavador de gases e
vapores. Veja também os medidores de pressão.

Sistema de vácuo utilizado na indústria de microeletrônica.

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4. Veja o diagrama bastante simplificado do sistema de vácuo mostrado abaixo. Este sistema de
vácuo deve bombear tanto gases e vapores, sendo muito importante para a qualidade do processo
uma baixa quantidade de vapores. Assim, responda: Por que o circuito de vácuo da esquerda não é
recomendado enquanto o circuito de vácuo da direita é recomendado. Mais uma vez vemos o
conceito da condutância assumindo um papel central junto com o conceito de condensação de
vapores.

Sistema de vácuo para bombeamento de gases e vapores eficientemente bombeados.

Comentário: Com o advento da indústria de microeletrônica, o assunto tratado neste roteiro está
entre os sistemas de vácuo mais importantes e que têm movimentado o desenvolvimento desta
tecnologia. Além de ser também bastante utilizado muitos dos desenvolvimentos na indústria de
fármacos, alimentos e outras relacionadas com a biotecnologia e correlato.

BOM TRABALHO!!!
Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE
Prof. Francisco Tadeu Degasperi

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