Captulo IV

Clculo de Sistemas de Vcuo

Fontes de gs em sistemas de vcuo

Um sistema de vcuo um conjunto de componentes usados para obter, para medir e para
manter o vcuo em uma cmara ou dispositivo. Qualquer sistema de vcuo consiste de uma ou mais
bombas de vcuo, de medidores de vcuo e de tubos conectando-os. O sistema tambm dever
conter vlvulas, armadilhas e/ou anteparos, selos diversos, passantes eltricos e mecnicos, e outros
elementos. A Fig. 4 mostra um sistema tpico para alto vcuo, como j esquematizado na Fig. 1.1,
mas mostrando seus componentes em maior detalhe.

Fig. 4.1: esquema de sistema de alto vcuo. 1 bomba rotativa (primria); 2 armadilha para umidade; 3
vlvula para entrada de ar ("quebrar o vcuo"); 4 vlvula (para isolao da bomba primria; 5 linha para
vcuo de apoio difusora; 6 vlvula para vcuo primrio; 7 linha de vcuo primrio; 8 medidor de
vcuo tipo Pirani; 9 vlvula para isolar a bomba difusora; 10 bomba difusora; 11 vlvula para isolar a
bomba difusora da cmara de vcuo; 12 cmara de vcuo; 13 passante eltrico; 14 eixo selado; 15
medidor de vcuo tipo Penning; 16 janela ptica. (Fig. 3.35, pg. 124 Roth)

Para poder descrever o comportamento de um sistema de vcuo, necessrio considerar

todas as possveis fontes de gs que, a qualquer momento, podero estar em equilbrio com a ao
das bombas de vcuo. As fontes de gs so:
as molculas de gs da atmosfera inicial dentro do sistema, ou seja, a fase gasosa no volume do
sistema (Q)
o gs que penetra no sistema como resultado de vazamentos (QL).

o gs proveniente de dessoro das paredes, ou seja, a fase adsorvida (Qd).

os gases ou vapores originrios da presso de vapor dos diferentes materiais dentro do sistema
(Qev).
o gs que penetra no sistema por permeao atravs das paredes, janelas e selos (QD).

Com excesso da primeira, as demais fontes de gs so funo da construo do sistema. O

tpico de vazamentos especialmente importante, e ser tratado no final deste captulo. Para a
discusso a seguir, vamos considerar que a totalidade das vazes de massa QT destas fontes
constante para o intervalo de tempo que considerarmos, ou seja: Q T Q L Q d Q ev Q D cte
(1).

Bombeamento no regime viscoso

Vamos supor que a velocidade de bombeamento Sb das bombas (ou bomba) constante no
intervalo de presses de interesse. Como estamos tratando do regime viscoso, a menor presso a ser
atingida dever estar ao redor de 10-2 torr, o que usualmente pode ser conseguido utilizando-se uma
bomba mecnica. De acordo com a eq. 13 do Cap. 2, a velocidade de bombeamento S obtida na
Sb C
boca da cmara atravs da condutncia C ligando-a bomba dada por S
(2). Se a
Sb C

presso suficientemente alta para termos fluxo viscoso, a condutncia do tubo ligando a bomba
cmara dada
P Pb
D4
D4
P E P E
pela eq. 33 do Cap. 2, ou seja: C
(3), com E
,
128 L
128 L
2
P a presso na cmara e Pb a presso na entrada da bomba. Substituindo a eq. 3 na eq. 2, obtemos
P Pb
Sb E
2
(4),
da
qual
obtemos
a
vazo
de
massa
S
P Pb
Sb E
2

( )
( )

( )
( )

P

P Sb E

Sb

Pb

PS

Pb

dP
dt

(5). Nesta equao V o volume da cmara, e estamos

2
desprezando QT por ser desprezvel frente a Q. Como Pb tambm uma funo de P, escrevemos
dP
(6), uma vez que a vazo de massa a mesma em todas as partes do sistema
Q P b Sb
V
dt

( )

de vcuo (sistema em srie). Ou seja,

obtemos

( )( )
V
Sb

dP
dt

2V
E

dP
dt

Pb
P

V dP
Sb dt
0

(7), e levando esta expresso eq. 5,

(8).Colocando

2V
, e B
E

( )
V
Sb

dP
dt

resolvendo a equao 8, obtemos

dP
dt

decresce com o tempo, apenas a soluo com

dP

2B
A

4BP

A 4BP
2B

(9). Uma vez que a presso

0 real, temos

[ ]

[ ]

dt (10),ou seja,

Integrando esta equao, obtemos

A
2P

2B

A 4BP
4 B P2

A2
2
P
4B
P

dt (11).

dP

ln P

A2
4B

(12),
K

com K = constante de integrao. Usando a condio de contorno que para t = 0 P = Pi (a presso

inicial),

obtemos
K

A2
4B

t
V

2V
Sb

1
P

B ln P i

2
i

A (13).
2P i

Como

Sb
E

[ ]
1
E

A
4B

( ) ( )
( )
2V
E

A
2
Pi
4B
Pi

1
Pi

1
Sb

(14),

temos

( ) ( )
2

Sb
E

Sb
E

Pi

2
i

(
(

)
)

[ ( )]

1
ln
Sb

Pi
P

Sb
E

Sb
E

P 2i

(14).

P2

Esta equao colocada, na Fig. 4.2, em forma de grfico, parametrizada pelo parmetro
-2
D 4 128
E (15) e considerando Pi = 760 torr e P = 7,6 10 torr, que o intervalo de presses
L
para o qual se pode considerar o escoamento do gs como viscoso.
Se um volume V = 100 l evacuado por uma bomba com velocidade de bombeamento de Sb
= 2 l/s atravs de um tubo de dimetro D = 2 cm e comprimento L = 200 cm, ento

D4
L

8 10

t
6 s/l. Assim, o tempo
V
requerido para o volume de 100 l t = 600 s. Se a cmara ligada diretamente bomba, sem a
4
t
4,5 s, ou seja, para o volume de 100 l, o
intermediao do tubo, a linha D
fornece
V
L
tempo agora 450 s. interessante notar que quando a bomba ligada diretamente cmara, L = 0

cm3. Na curva rotulada 8.10-2 na Fig. 4.2 obtemos, para Sb = 2 l/s,

e E , e a eq. 14 reduz-se a

( ) ( )
V
ln
Sb

Pi
P

(16), que a mesma equao que descreve o

tempo de bombeamento no escoamento molecular, para o qual a condutncia no funo da

presso.

Fig. 4.2: Tempo requerido para abaixar a presso de 760 torr at 7,6.10-2 torr em um volume V (l) conectado
por tubo de dimetro D (cm) e comprimento L (cm) a uma bomba de velocidade de bombeamento Sp (l/s).
(Fig. 3.36, pg. 127 Roth)

Bombeamento no regime molecular

Neste regime o bombeamento limitado pelo equilbrio entre a vazo de massa residual QT
(eq. 1) e a velocidade de bombeamento da bomba empregada tanto na prpria bomba quanto na
cmara que est sendo evacuada. Chamamos de carga de gs a soma de QT com o gs que vem do
processo em si sendo realizado dentro da cmara de vcuo (secagem a vcuo, degaseificao, etc).
No que se segue, vamos considerar apenas QT como definido pela equao 1. Aqui, necessrio
levar em conta uma outra contribuio para a carga de gs, a que vem da bomba propriamente, e que
constituda de vazamentos no corpo da bomba e retro-difuso do fluido de bombeamento da
bomba (se ele existe) ou retro-difuso dos gases bombeados pela bomba, o que pode acontecer em
presses muito baixas. Vamos designar este retro-fluxo de Q0. Se a velocidade de bombeamento
terica (nominal) St, a vazo de massa ser
Q0
Q St P b Q 0 St P b 1
(17), para a qual Pb a presso na boca da bomba. A menor
St P b

presso P0 que a bomba atingir ser quando a vazo de massa Q = 0, ou seja,

velocidade real de bombeamento da bomba Sb ser dada por

Q0

St P 0 (18). A

) ( )

( )
( )
( )
)
(

)
(
) ( )

(
( )
( ) ( )

[ ( ) ( ) ]

Sb

(
Q
Pb

Q0
St P b

St 1

bombeamento

Sb C
Sb C
Q

massa na cmara

dP
dt

(19). Na cmara de vcuo, a velocidade de

(20), e a carga de gs QT dada pela eq. 1. Portanto, a vazo de

SP

St P T

Sb C
Sb C

dP
dt

Q T (21). Ou seja, podemos escrever

Sb P b

(22), e como

P0

Sb
C

dt
V

QT

P0
Pb

St 1

dP

St

Sb
P
C 0

Sb C
P (23), temos que
Sb C

(24). Desta equao podemos obter o

Sb Q T
C St

SP

tempo requerido para abaixar a presso do seu valor inicial Pi ao valor P, que dado por
V
1
St

Sp
ln
C

Pi

Sb
P0
C

Sb
P0
C

Sb
C

QT
St

Sb
C

(25). A presso alcanada aps o

tempo t dada por

Pi

Sb
P0
C

Sb
C

QT
exp
St

( )

Se a condutncia C muito grande, isto e, se

bomba (presso final) devido carga de gs

( )

escritas como
Pi P0
V
t
ln
St
P P0

P u,b
P u,b

St
t
V
Sb
1
C
Sb
C

P u,b

Sb
P
C 0

Sb Q T
(26).
C St

1 , e se a presso mais baixa atingvel na

QT
as equaes 25 e 26 podem ser reSt

(27) e

Pi

P0

P u,b e

St
t
V

P0

P u,b (28).

Quando uma condutncia C liga a bomba cmara, a presso final na cmara Pu devido carga de
gs dada por

Pu

( )
QT
S

Sb C
Sb C

QT

Sb
C

P0
Pb

P u,b

(29). Levando esta ltima equao na equao 25,

obtemos

( )
V
1
St

St
ln
C

Pi
P

( ) ( )
( ) ( )

Sb
P0
C

Sb
P0
C

P0
Pu
Pb

P0
Pu
Pb

(30), que, para um sistema para o qual a

( ) [ ]

presso mais baixa da bomba P0 muito menor que Pu (e Pb), torna-se

St
Pi Pu
V
t
1
ln
(31).
St
C
P Pu
Integrando a equao 21 considerando Sb constante e independente de P, obtemos
t

( ) [ ]
Sb
ln
C

V
1
Sb

Pi Pu
P Pu

(32), que idntica eq. 31, a menos que na eq. 31 consideramos

a velocidade terica de bombeamento St, e na eq. 32 consideramos a velocidade efetiva de

bombeamento Sb. Explicitando a presso P, obtemos

Pi

Pu e

Sb
t
V
Sb
1
C

P u (33). Esta equao mostra que aps um longo tempo de

bombeamento a presso tende presso final Pu determinada pela carga de gs (eq. 29). Ou seja, a
eq. 33 descreve tanto o bombeamento transiente dado por

Pi e

S
t
V

(34) quanto o estado

QT
(35). Esta ltima relao diz que teremos uma presso
S
final constante se QT constante, provocado por um vazamento, por exemplo, ou uma presso final
decrescente no tempo se QT varivel, como quando no temos vazamento e a carga do gs
devida dessoro ou permeao. A fig. 4.3 ilustra ambos os casos.
A Fig. 4.3 ilustra tambm o significado das diferentes constantes de tempo que caracterizam
o sistema de vcuo. Estas constantes de tempo do o tempo para reduzir a presso de uma dada
V
frao. O tempo requerido para reduzir a presso a e-1 = 0,367 do valor original
(36), e
S
ser chamada de constante de tempo do sistema. O tempo para reduzir a presso metade do valor
V
0,693
0,693 (37), e o tempo para reduzir a presso a
inicial, a meia-vida, dado por
1 2
S
estacionrio final dado por

Pu

0,1 do valor inicial (reduzir de uma dcada) dado por

1 10

2,3

V
S

2,3

(38). Note que

6

todos estes tempos so diretamente proporcionais ao volume sendo bombeado e so inversamente

proporcionais velocidade de bombeamento, o que intuitivo.

Fig. 4.3: Variao da presso no regime transiente e no regime estacionrio (fig. 3.37, pg. 130 Roth)

Estado estacionrio com carga de gs distribuda

A presso final de estado estacionrio em um sistema de vcuo dada pela eq. 35. No caso
de uma cmara, a presso uniforme. No entanto, se temos um tubo comprido, de modo que a carga
de gs distribuda ao longo do tubo, o estado estacionrio caracterizado por um gradiente de
presso ao longo do tubo.
Consideremos a Fig. 4.4a, onde se mostra que a bomba est evacuando um tubo longo
fechado

Fig. 4.4: Carga de gs distribuda a) em sistema fechado em um lado; b) sistema aberto longo (Fig. 3.38 pg.
132 Roth)

em uma extremidade, de condutncia C e comprimento L. Vamos designar a taxa de degaseificao

7

por unidade de rea por qd. A carga de gs devida a um trecho elementar de comprimento dx dada
dQ q d B dx (39). Nesta equao B designa a medida do permetro do tubo, e o sinal
por
negativo indica fluxo na direo -x. A vazo de massa no elemento dx
Diferenciando esta expresso, obtemos

dQ

( )

L
dP (40).
dx

d2 P
CL
dx (41). Da igualdade das eq. 39 e 41,
dx 2

qd B
qd B
d2 P
dP
(42). Integrando, obtemos
x K 1 (43), com K1
2
CL
dx
CL
dx
constante de integrao. Podemos usar a condio de contorno que, na extremidade do tubo x = L
qd B
dP
(44).
Assim,
a
equao
43
fica
0 K1
dx
C

obtemos

(
(
(

dP
dx

qd B
x
CL

qd B 2
x
2CL

P x

presso
P x

qd B
C

P0

qd B

L
Sb

qd B
x
C

qd B L
Sb

x
C

( )

qd B
1
C

x
L

(45).

Integrando

novamente,

obtemos

K 2 (46). Outra condio de contorno que, na boca da bomba, a

K 2 (47).

x2
2CL

Ou

seja,

equao

46

pode

ser

re-escrita

(48). Esta equao mostra que a distribuio de presso ao

longo do tubo parablica, sendo mxima na extremidade fechada, com o valor dado por
1
1
(49). A queda de presso entre uma posio x e a bomba dada por
PL qd B L
Sb 2 C
P x

P0

qd B

x
C

x2
2CL

(50) enquanto a queda de presso para todo o tubo dada por

qd B L
(51), que mostra que esta queda de presso independente da velocidade de
2C
bombeamento, ou seja, mesmo utilizando uma bomba muito grande, a presso no cair abaixo dos
valores dados pelas equaes 50 e 51. Por esta razo, o bombeamento de tubos longos, por
exemplo, para aceleradores de partculas, deve ser feito colocando-se um certo nmero de bombas
ao longo do comprimento do tubo. O nmero de bombas, o seu tipo e a queda de presso so
interligados pelas equaes 47 a 51. Se o tipo de bomba conhecido (escolhido), o espaamento Lp
P 0 Sb
entre bombas adjacentes (Fig. 4.5b) pode ser determinado da eq. 47 como sendo L p
(52),
qd B
P L

P0

Lp
(53), obtm-se da eq. 51 a queda de presso.
2
Se a queda de presso PL P0 dada, a distncia entre as bombas Lp = 2 L pode ser obtida da
eq. 51 colocando-se nesta a condutncia C. O valor de Lp determina ento, pela eq. 47, o tipo de
bomba (P0, Sb) a ser usada.

e, usando