Nilo

ESTA001 - 17
Nilo

Nilo

Dispositivos
Nilo
Eletrônicos
Nilo
Nilo Dr. S. Nilo Mestanza Muñoz

Dispositivos, Instrumentação & NAno-MAterias

(Lab-DINAMA)
Maio 2021 1
9/29/2021
 Hmmmm...Nilo!
Que são dispositivos
eletrônicos?

Nilo
Nilo

Nilo Nilo
Nilo Nilo
 Que são Dispositivos Eletrônicos?

Nilo ❑São elementos básicos que formam parte de um

circuito elétrico;
Nilo
❑Uma vez agrupados de forma organizada, formam
Nilo
os chamados blocos do circuito;
Nilo
❑Blocos interligados formam os chamados Circuitos
Integrados (CI);
Nilo
Nilo ❑Agrupação destes CI fizeram possível formar
Nilo sistemas mais complexos.
 Nilo
Nilo
Dispositivos
Nilo
Eletrônicos
Nilo
 Dispositivos
Eletrônicos

Ativos Passivos
❖ Amplificam i ❖ Não amplificam i
 Dispositivos eletrônicos
❖ Chama-se assim, a qualquer componente ou elemento que faz
parte de um circuito eletrônico. Eles podem ser classificados em:
Nilo
❑ Componentes Ativos:
➢ São aqueles que geram ou controlam E (em forma de i ou V)
Nilo ➢ A maioria são feitosNilo
de materiais SC;

Nilo ➢ Exemplo: Diodos, transistores, CI, monitores (LCD,

LED, CRT) e fontes de energia;

❑ Componentes
Nilo Passivos:
Nilo
➢ São aqueles que armazenam E (em forma de i ou V);
Nilo
➢ Eles não controlam e não amplificam fluxo de i;
➢ Exemplo: Resistores, capacitores, indutores, etc;
 Integração dos dispositivos

Nilo Nilo

Nilo Nilo
Nilo
 Que é µ-eletrônica?
Nilo
Nilo
Micro(10 m) -6

Nilo
Nilo
Nilo M iniaturização(componentes
Nilo eletrônicos na escala dos micrometros)
Nilo
Nilo
Nilo
M icroeletrônica(É uma área que engloba
Nilo processos físicos, químicos na fabricação dos CI )
Nilo
Nilo
Nilo
Nilo M icroeletrônica(É uma subárea da eletrônica)
 Onde encontrar dispositivos
µ-eletrônicos?
❖Produtos de consumo;
Nilo
➢ Computadores;
➢ Celulares;
➢ Aparelhos de som;
Nilo
➢ Tv, etc;
Nilo

Nilo
❖Motores automotivos;
Nilo
➢ Injeção eletrônica;
➢ Sistema de controle: eficiência de combustível, redução de gases, etc
Nilo
➢ Airbang "inteligentes" etc.
Nilo

❖Aplicações médicas; espaciais, militares, etc.

 Nilo
Nilo
Circuitos
Nilo
Integrados
Nilo
 Circuitos Integrados (CI)
❖ Os CI são chamados também como circuito µ-eletrônico,
Nilo µ-chip ou simplesmente chip.

❖ É um conjunto de componentes eletrônicos interligados;

Nilo Nilo
❖ Tem duas vantagens sobre os circuitos discretos
comuns: O custo e desempenho;

❖ O  custo, porque os chips com todos os seus componentes

são impressos como uma unidade por fotolitografia, em
Nilo vez de serem construídos um/um;
Nilo
Nilo
❖ Os CI são compactos, usando menos material que
os circuitos discretos;
 Aplicações dos CI´s ?
Nilo ❖Os torna interessantes em:
Nilo ❑Radar;
Nilo ❑Relogios de pulso;
❑Tv; Nilo
Nilo
❑Processadores de vídeo;
Nilo
❑PC;
Nilo
❑Amplificadores de aúdio;
Nilo Nilo
❑Dispositivos de Memória;
Nilo ❑Dispositivos Lógicos;
Nilo ❑Codificadores e decodificadores de rf,etc.
Nilo
Nilo
Nilo ❖São principalmente fabricados on wafer de Si.
 Por que CI ?
❖ Operam mais rápidos que os antigos amplificadores
Nilo eletrônicos;

❖ Práticos e versáteis;
Nilo
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❖ São muito duráveis;
Nilo
❖ São baratos; Nilo
❖ Pode funcionar como: amplificador, oscilador,
Nilo temporizador, contador, memória PC ou µ-processador;
Nilo
❖ Estes dispositivos revolucionaram a indústria de
eletrônicos e abriu caminho para novos dispositivos;
 Gerações dos CI ?

Nilo ❖ SSI: Tecnologia de integração em pequena escala. Utiliza

de 1-10 transistores e 1-12 portas lógicas;
Nilo
❖ MSI: Tecnologia de integração de média escala. Utiliza de
Nilo 10-500 transistores e 13-99 portas lógicas;

❖ LSI: Tecnologia de integração em grande escala. Usa de

500-2x104 transistores e 100-9.999 portas lógicas;
Nilo
Nilo
❖ VLSI: Tecnologia de integração em grande escala. Usa de
Nilo 2x104-106 transistores e 104-99.999 portas lógicas;

❖ ULSI: Tecnologia de integração em escala ultra grande.

Nilo Acima de: 106 transistores e 105 portas lógicas;
 Circuitos Integrados

Nilo Nilo

Nilo
Nilo
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Nilo
Nilo

Fios de Au
 Vantagens dos CI
❑ Produção:
Nilo ❑  produção escalonada -> preços reduzidos;

❑ Baixa potência:
❑  Consumo de energia &  Aquecimento;

Nilo ❑ Desempenho: Nilo

❑  velocidade operacional.
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❑ Compatibilidade:
❑  Integração.
Nilo Nilo
❑ Tamanho:
Nilo ❑  Dimensões;

❑ Peso:
❑  peso;
 Desvantagens dos CI
❑ Indutores e transformadores não fazem parte de
sua integração;
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❑ Não consegue operar em  tensão e  ruído;
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Nilo ❑ A dissipação de potência é restrita a 10W;
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❑ São delicados;
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❑ Limitações:
Nilo ❑  temperaturas;
❑ Manuseio;
Nilo
❑ Quantidades de energia;
❑ Um  I —>  calor dissipação, etc.
 Fabricação
Nilo

Nilo
Nilo
Nilo
Nilo
dos CI´s
 Principais fabricantes de CI´s
❖ Industrias:
❑ Intel;
❑ Samsung;
Nilo ❑ Toshiba;
Nilo
Nilo ❑ Mitsubishi; Nilo
❑ Micron;
❑ Nvidia;
Nilo ❑ TSMC;
❑ Broadcom;
Nilo
❑ Qualcomm;
❑ SK Hynix, etc.
Nilo
Nilo Nilo..... !
Nos fale um pouco das
etapas do processo de um
Chip?
Nilo
Nilo Nilo

Nilo
 Substratos
❖ Em micro-óptoeletrônica substrato é o suporte onde irá
fabricar-se o(s) dispositivo(s) fotônicos ou eletrônicos;
Nilo
❖ Tecnicamente é conhecido como wafer;

❖ Os wafer´s vem em diversos tamanhos, dopagens e

orientações cristalinas;

Nilo ❖ Os wafer´s mais usados são: Si (microeletrônica) e

de GaAs (microfotônica).

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Escudo de Silício Nilo

Nilo
Taiwan Semiconductor
Manufacturing Company
 Fabricação de um wafer de Si

Nilo

Nilo
+
HCl

Nilo
Si-GM +
H2

Si-GM

Nilo
Si-GE
 Fabricação de um wafer de Si
Si-GE ❖ Si-monocristalino:
❑ Czochralski (CZ): —> {Si, Ge, InSb, GaAs};
Nilo
❑ Float zone: —> {Si};
❑ Zone leveling: —> {Ge, InSb, GaAs, InAs};
❑ Verneuil: —> {Óxidos refratários};
❑ Bridgman: —> {GaAs e alguns II-VI};
Nilo ❑ Gradiente de temperatura: -> {SiC, diamante}.

❖ Custos do processo (US$/kg):

Quarzo Quarzo Si-GM Si-GE Wafer-Si
barra barra barra

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~1 2 80 400 1300/25wafer-3´´
 Fabricação de um wafer de Si

Nilo

Nilo

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 Processo de fabricação dos CI´s
Máscaras
litográficas

Nilo

Nilo Nilo
Nilo Nilo Foto
Deposição
litografia
Corrosão Nilo
Nilo Nilo
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Dopagem
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9/29/2021
 Processos de deposição
Nilo ❖ Processos químicos:
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Nilo ❑ Chemical vapor deposition (CVD);
❑ Eletro deposition;
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❑ Thermal oxidation.
Nilo CVD

Nilo Nilo
Nilo ❖ Processos físicos:
Nilo
Nilo ❑ Physical vapor deposition (PVD);
Nilo Nilo
❑ Casting.
Nilo PVD
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 Processos de litografia
Nilo
Nilo ❖ Litografia elétrons;
Nilo
Nilo
Nilo ❖ Litografia de laser; Nilo
Nilo
Nilo Nilo

Nilo
Nilo ❖ Foto-litografia, etc.
Nilo
Nilo
Nilo
 Processos de corrosão
Nilo
Nilo
Nilo ❖ Corrosão úmida:
Nilo ❑ Reagentes líquidos;
Reagente líquidos
Nilo Nilo
Nilo
Nilo ❖ Corrosão seca:
Nilo
❑ Plasma;
Nilo Nilo
Nilo ❑ Spattering.
Nilo Plasma
Nilo
 Processos de dopagem
Nilo
Nilo
Nilo ❖ Difusão:
Nilo ❑ Sistema CVD;
Nilo
CVD Nilo

Nilo
Nilo ❖ Implantação:
Nilo
❑ Implantador de íons.
Nilo Nilo
Nilo
Nilo
Implantador de íons
Nilo
 Uma simples junção pn

Nilo

Nilo Nilo

Nilo PR

SiO2
Nilo
Nilo
E
Nilo
B Silício - p
C
 Nilo
❖ Thank you for attention!
Nilo
Nilo
❖ Contact info:
Nilo
❑ Laboratory DINAMA/CECS/UFABC
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❑ Av. dos Estados, 5001, Câmpus Santo Andrê
Nilo
Nilo ❑ Tel: +55(011)4996-8279

Nilo ❑ nilo@ufabc.edu.br
Nilo Nilo
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❖ Questions / Comments
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