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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV
ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO 10 – REEF 10

Utilização de Catálogos e de Revistas Especializadas na Área de Vácuo

Devemos certamente conhecer bem as várias partes que compõem os sistemas de vácuo,
que são: as bombas de vácuo, os medidores de vácuo, as flanges, as válvulas, passadores de
tensão e corrente, etc. Mas, o todo é mais que a soma das partes, muito mais. Com isso
queremos dizer que precisamos saber integrar as várias partes para formar o sistema de
vácuo. Deveremos ter claro se determinados componentes auxiliares serão mesmo necessários
para formar o conjunto, pois veja, como estudante não estamos preocupados se um
determinado projeto será caro ou barato de ser realizado. Mas na vida profissional, na vida de
fato, um projeto de verdade, de sucesso, somente tem sentido se for possível realizá-lo com os
recursos disponíveis. Em geral é possível fazer um projeto sabendo-se de antemão os recursos
disponíveis, isto faz com que o projetista tenha uma participação mais atuante e realística.
Principalmente se os recursos não são poucos.

Certamente há limites, por exemplo, um módulo de bombeamento com bomba

turbomolecular com uns 500 litros/segundo de velocidade de bombeamento custa uns US$
20.000. Assim, além de nos envolvermos com os cálculos do sistema de vácuo, isto é, cálculo
estrutural da câmara de vácuo e das outras partes, cálculo da quantidade de gás envolvida no
processo a ser realizado em vácuo e os outros gases envolvidos. Também, calcular a velocidade
de bombeamento das bombas de vácuo necessárias para poder atingir a pressão de operação
do sistema de vácuo, deveremos nos envolver com a especificação da instrumentação
necessária e para isso certamente nos interessará saber os preços dos vários componentes,
desde a câmara de vácuo, até os componentes mais simples.
Os sistemas de vácuo são muito diferentes entre si, assim um sistema de vácuo para
empacotamento de alimentos a vácuo é bem diferente de um sistema de vácuo para um
microscópio eletrônico. Os seu projetos também são muito diferentes entre si. Assim, para um
sistema de vácuo de um microscópio eletrônico a questão referente a pressão final na região do
início do ultra alto-vácuo de estar presente, desta forma deveremos levar em conta a
degaseificação, isto é algo que não ocorrerá com o sistema de vácuo para empacotamento de
alimentos. Por outro lado, neste último caso será altamente dependente o sistema de vácuo do
seu desempenho junto ao bombeamento de vapor de d’água.

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1. Descreva o sistema de vácuo esquematizado abaixo. Veja que foi feito um teste de vazamento
no sistema de alto-vácuo, tendo como bomba de alto-vácuo uma bomba difusora. Depois do teste de
vazamentos, cujo detetor de vazamentos, com gabinete branco, é mostrado à direita do sistema de
vácuo. Como podemos colocar em operação este sistema de vácuo? Discuta sobre o tempo que a
bomba difusora pode ficar sem bombeamento de pré-vácuo enquanto a bomba difusora estiver
isolada da câmara de vácuo. Esta questão é uma boa oportunidade para recordar as características
principais da importante bomba de vácuo difusora. Faça em detalhe passo a passo um descritivo de
sua operação. Este circuito de vácuo usaremos ao falarmos de detecção de vazamentos.

Sistema de alto-vácuo com bomba difusora. Mostrada também a bomba de pré-vácuo e os

componentes auxiliares.

2. Discuta a operação dos seguintes sistemas de vácuo esquematizados a seguir. Vemos quatro
circuitos de vácuo. No sistema de vácuo 1 temos uma bomba turbomolecular. O sistema de vácuo 2
mostra um sistema de pré-vácuo com apenas uma bomba mecânica. Vemos neste sistema de vácuo a
possibilidade de injeção de gases de processo. No sistema de vácuo 3 temos um sistema de alto-
vácuo com bomba difusora sem anteparo e armadilha gelada. Finalmente, no sistema de vácuo 4
temos um sistema de pré-vácuo com bomba roots . Diga passo a passo como operamos estes
sistemas de vácuo. Diga também como devemos proceder para desligar as bombas de vácuo. Fale
sobre os cuidados relativos à manutenção preventiva e ao procedimento caso a pressão de trabalho

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não seja atingida. Como podemos fazer testes simples. Ainda, ao receber os sistemas de vácuo, eles
novos, como podemos levantar as curvas de pressão final e seus tempos de operação. Discuta as
questões.

Sistema de Vácuo 1 Sistema de Vácuo 2

Continuando, considere as mesmas questões para os circuitos de vácuo mostrados a seguir.

Sistema de Vácuo 3 Sistema de Vácuo 4

3. Agora o circuito de alto-vácuo mostrado abaixo, com bomba turbomolecular, como operá-lo?
Quais os cuidados no que refere-se à contaminação?

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Sistema de alto-vácuo com bomba turbomolecular e mostrando ainda a bomba de pré-vácuo, a

câmara de vácuo e os componentes auxiliares.

Agora, usando vedações com material VITONTM, qual a temperatura máxima? Diga o que deveria
ser feito se as vedações a serem utilizadas fossem do tipo metálico, digamos flanges ConflatTM.

4. No sistema de vácuo mostrado abaixo, é possível identifica a câmara de vácuo ao fundo e em

primeiro plano a bomba de alto-vácuo difusora com sua válvula tipo prato acima dela.
Vemos as bombas de pré-vácuo à direita na fotografia. Identifique os vários componentes
auxiliares possíveis de serem vistos e diga quais bombas de pré-vácuo você consegue
identificar. Você consegue identificar o sistema de vácuo como um todo. Faça um esquema
do circuito de vácuo deste sistema.

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5.

Sistema de alto-vácuo com bomba difusora e mostrando ainda as bombas de pré-vácuo, a câmara de
vácuo ao fundo e vários componentes auxiliares.

Ainda dentro desta questão. Vale a pena retomarmos os conceitos relativos ao processo de
bombeamento de gases e vapores em vácuo. Conforme esquema mostrado abaixo, exiba as equações
relevantes para a determinação das fontes gasosas e velocidades de bombeamento e condutância.
Discuta o assunto em detalhe.

Esquema geral de um sistema de vácuo.

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Comentário: Temos a oportunidade de verificar quase todos os assuntos e instrumentos vistos no

curso. Essa lista é de máxima importância, pois estamos ”juntando” as partes, estamos entrando
no mundo de fato. Deposite muito carinho e empenho nesta lista. Quando falamos de construção de
modelos para tratar sistemas físicos voltados à tecnologia tínhamos em mente considerar o cálculo
de sistemas de vácuo como estes. Veremos em roteiros futuros como poderemos fazer para alguns
casos de interesse modelos factíveis e obter resultados de forma simples e confiáveis.

BOM TRABALHO!!!
Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE
Prof. Francisco Tadeu Degasperi

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