AP-SL-AP-AZ Regulador Aptech PDF

Regulador de estágio único para
pureza ultra-alta
Série AP500
V Para distribuição de gás UHP
V Padrão de capacidade de vazão: a 15 slpm
HF (opção): a 30 slpm
V Material do corpo: 316L SS de refundição secundária
V Partes internas de liga de Ni-Cr-Mo disponíveis para resistência contra corrosão
V Opção de distribuição de pressão subatmosférica
Como pedir
Número da via
a b c
AP5 02 S 2PW FV4 FV4

Pressão de distribuição
Código Pressão de distribuição Vias
0,5 a 10 psig (0,0034 a 0,07 MPa) Código Vias Opcional
Subatmosférico (A): 100 mm 2PW 2 vias Código Especificação Cv
01
Hg absoluto a 10 psig (-88 kPa 3PWG 3 vias Sem código Padrão
a 0,07 MPa) 0,06
FI Amortecedor de fricção*6)
Opções de faixa*1) HF
02 0,5 a 30 psig (0,0034 a 0,2 MPa) Alta vazão*7) 0,1
06 1 a 60 psig (0,007 a 0,4 MPa) Código Especificação *6) FI é um amortecedor de fricção para
10 1 a 100 psig (0,007 a 0,7 MPa) Sem código Padrão retardar a resposta e reduzir a
A Subatmosférico interação com MFC.
Material *1) Disponível somente com AP501. *7) Material VS não disponível com a
opção HF.
Código Corpo Assento Diafragma Bico
S 316L SS de 316L SS Unidade de pressão do manômetro*3)
refundição Liga de Liga de 316L SS Material do assento
SH secundária Ni-Co Código Unidade
Ni-Cr-Mo Código Material
Sem código psig/bar Sem código PCTFE (Padrão)
Acabamento da superfície MPA MPa TF PTFE*4)
Código Ra máx. de acabamento da superfície *3) Unidade de pressão do manômetro VS Poliimida*5)
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão MPa ou psig/bar selecionável.
*4) PTFE recomendado para aplicações tais como
M 10 μin. (0,25 μm) Embora somente MPa esteja
as dentro de uma ferramenta de processo.
disponível no Japão, sob a
V 7 μin. (0,18 μm) *5) Não disponível com material SH.
regulamentação japonesa.
X 5 μin. (0,13 μm)
Porta do manômetro (Saídac)
Configuração de via (Vista superior) Conexões ou manômetro*2)
Código
c Unidade psig/bar Unidade MPa
Conexões Sem código Sem porta do manômetro
b a b a (Entradaa, Saídab) MV4 Sem Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho)
FV4 manôme Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea)
Código Conexões
TW4 tro Solda de tubo de 1/4 de polegada
FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea)
V3 Com -30pol.Hg a 30psig -0,1 a 0,2 MPa
2PW 3PWG MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho)
L manôme -30pol.Hg a 60psig -0,1 a 0,4 MPa
TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada
tro
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Saída) 1 -30pol.Hg a 100psig -0,1 a 0,7 MPa
*2) Consulte a guia do manômetro (Pág. 1058) para saber as
Especificações especificações do manômetro.
Parâmetros de operação AP501wwA AP501 AP502 AP506 AP510

100 mm Hg absoluto para 10 0,5 a 10 psig 0,5 a 30 psig 1 a 60 psig (0,007 1 a 100 psig
psig (-88 kPa a 0,07 MPa) (0,0034 a 0,07 MPa) (0,0034 a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,007 a 0,7 MPa)
Gás Selecionar materiais de construção compatíveis para o gás
Pressão da fonte Vácuo a 150 psig (1,0 MPa)
Pressão de teste (Entrada) 500 psig (3,4 MPa)
Pressão de ruptura 1000 psig (6,9 MPa)
Temperatura ambiente e de operação -40 a 71 °C (sem congelamento)*1)
Cv 0,06
Taxa de Vazamento interno 2 x 10-11 Pa·m3/s
vazamento Vazamento externo 2 x 10-10 Pa·m3/s *2)
Vazamento entre o assento 4 x 10-9 Pa·m3/s *2)
Acabamento da superfície Ra máx 15 μin. (0,4 μm) Opcional: 10 μin. (0,25 μm), 7 μin. (0,18 μm), 5 μin. (0,13 μm)
Conexões Vedação da face, Solda do tubo
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 0,2 psig (0,0014 MPa) na pressão de distribuição para cada 20 psig (0,14 MPa) de queda de pressão da fonte
Instalação Montagem na base
Volume interno 0,15 pol.3 (2,4 cm3)
Peso 0,45 kg *3)
*1) -10 a 90 °C para assento de poliimida.
*2) Testado com pressão na entrada de gás hélio de 100 psig (0,7 MPa).
*3) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as conexões ou opcionais.
972
Regulador compacto de estágio único para Ultra high purity AP500
Opcional
Alta vazão
Capacidade de vazão mais alta somente com alterações internas, nenhuma alteração nas dimensões externas. As mudanças no tipo padrão são:
Opcional Outros parâmetros AP501wwA AP501 AP502 AP506 AP510
Cv 0,1
HF Efeito da pressão Aumento de 0,4 psig (0,0028 MPa) na pressão de distribuição para cada 20 psig (0,14 MPa) de
de alimentação queda de pressão da fonte
Material de peças molhadas Características de vazão
Peças molhadas S SH
AP500 Pressão na entrada: 100 psig (0,69 MPa) 30 psig (0,21 MPa)
Corpo 316L SS de refundição secundária 35 0,24
Acabamento da superfície Eletropolimento + Passivação
Assento 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo 30 0,21
Pressão de distribuição (MPa)

Pressão de distribuição (psig)
Diafragma Liga de Ni-Co
Bico 316L SS 25 0,17
Assento PTFE (Opção: PCTFE, poliimida) PTFE (Opção: PCTFE)
20 0,14
Dimensões polegada (mm)
15 0,10
AP500 10 0,07
ø1,00 5 0,03
(ø25,4)
0 0,00
Máx. 3,32 (84,3)
ø0,82 0 2 4 6 8 10
(ø20,8) Taxa de vazão (slpm, N2)
0,44 (11,2)
Pressão na entrada: 75 psig (0,52 MPa) 45 psig (0,31 MPa)

AP500HF 30 psig (0,21 MPa)
35 0,24
30 0,21

A
25 0,17
w1,12
20 0,14
(w28,4)
45°
15 0,10
10 0,07
Profundidade UNF 2 x 10-32 0,25 (6,3) 5 0,03

1, ,4)
00
(2
(Furo de montagem)
5
0 0,00
0 10 20 30 40 50 60 70 80
Taxa de vazão (slpm, N2)
A
Conexões
polegada (mm) AP501A Pressão de entrada: 2 psig (14 kPa)
FV4 760 0
2,78 (70,6)
MV4
700 -8
TW4 2,12 (53,8)
Pressão de distribuição (mmHg abs)
Pressão de distribuição (kPa)
600 -21 AP
500 -35
SL
400 -48
AZ
300 -61
200 -75
AK
100 -88 BP
0 -101
0 1 2 3 4 5 6 7 8
973
Regulador de estágio único para Vazão de baixa a
pureza ultra-alta intermediária
Série AP1000
V Tipo de pressão de entrada: Máx. 3500 psig (24,1 MPa)
V Padrão de capacidade de vazão: até 30 slpm
HF (opcional): até 120 slpm
Como pedir
Número da via
a b c d

Código Pressão de distribuição Conexões (Entradaa, Saídab)
Opção de tampa
01 1 a 10 psig (0,007 a 0,07 MPa) Código Conexões
02 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) Código Tampa
06 2 a 60 psig (0,014 a 0,4 MPa) MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) Sem código Padrão
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada P Instalação do painel*6)
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) *6) Furo de montagem em painel:
1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
Material MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho)
TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada Opcional
Código Especificação
S 316L SS de 316L SS 316L SS
Porta do manômetro (Entradac, Saídad) Sem código Padrão (Cv: 0,09)
SHP refundição 316L SS
HF Alta vazão (Cv: 0,15)
SH secundária Liga de Liga de Manômetro*1)
Liga de Código Material do assento
Liga de Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Unidade psig/bar Unidade MPa
H
Ni-Cr-Mo Sem código Sem porta do manômetro Código Material
0 Sem manômetro (conexões: vedação Sem código PCTFE (Padrão)
Acabamento da superfície de face de 1/4 de polegada macho) VS Poliimida *3)
Código Ra máx. de acabamento da superfície V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa TF PTFE*4) *5)
Vias
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa *3) Não disponível com materiais SHP, SH, H.
Código Vias
M 10 μin. (0,25 μm) 1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa *4) PTFE recomendado para aplicações tais
2PW 2 vias
V 7 μin. (0,18 μm) H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa como as dentro de uma ferramenta de
3PW 3 vias processo.
X 5 μin. (0,13 μm) 2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa
4PW 4 vias *5) Índice de pressão da fonte limitado a 300
4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa psig (2,1 MPa) ou menos.
Configuração de via 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa
40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa
d d c *1) Consulte as especificações do manômetro Unidade de pressão do manômetro*2)
no guia do manômetro (P.1058).
b a b a b a Código Unidade
Número do pedido de modelo Sem código psig/bar
Via a b c d MPA MPa
2PW 3PW 4PW AP1001S 2PW FV4 FV4 *2) Unidade de pressão do manômetro MPa
3PW FV4 FV4 0 ou psig/bar selecionável. Embora
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) dPorta do manômetro 3PW FV4 FV4 V3 MPA somente MPa esteja disponível no Japão,
(Saída) 4PW FV4 FV4 1 V3 MPA sob a regulamentação japonesa.
Especificações
Parâmetros de operação AP1001 AP1002 AP1006 AP1010 AP1015
1 a 10 psig (0,007 1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig
a 0,07 MPa) a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa) (0,034 a 1,0 MPa)
Pressão da fonte Vácuo a 300 psig (2,1 MPa) Vácuo a 3.500 psig (24,1 MPa)*1)
Pressão de ruptura 10000 psig (69 MPa)
Temperatura ambiente e de trabalho -40 a 71 °C (sem congelamento)*2)
Cv 0,09
vazamentoVazamento externo 2 x 10 Pa·m3/s*3)
-10
Vazamento entre o assento 4 x 10-9 Pa·m3/s*4)

Porta da tampa NPT de 1/8 de polegada*5)
Instalação Montagem na base (Opção: montagem em painel)
Volume interno 0,49 pol.3 (8 cm3)
Peso 1,25 kg*6)
*1) Máx. 300 psig (2,1 MPa) para assento de PTFE. *4) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1000 psig (7 MPa).
*2) -10 a 90 °C para assento de poliimida. *5) Na opção de montagem em painel, a porta da tampa não é roscada.
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). *6) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as conexões ou os opcionais.
974
Série AP1000
Regulador de estágio único para pureza ultra-alta
Vazão de baixa a intermediária
Opcional
Alta vazão
Opcional Outros parâmetros AP1001 AP1002 AP1006 AP1010 AP1015
Cv 0,15
HF
Efeito da pressão de Aumento de 0,75 psig (0,0052 MPa) na pressão de distribuição para cada 100 psig (0,7 MPa) de
alimentação queda de pressão da fonte
Pressão na entrada: 2.000-3.000 psig (13,8-20,7 MPa) 1000 psig (6,9 MPa)
Peças molhadas S SHP SH H AP1000 500 psig (3,4 MPa) 200 psig (1,4 MPa)
Corpo 316L SS de refundição secundária Liga de Ni-Cr-Mo
Acabamento da superfície 100 0,69
Eletropolimento + Passivação Eletropolimento

Diafragma 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo

80 0,55
Bico 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo
PCTFE (Opção: PCTFE (Opção: PTFE) 70 0,48
Assento poliimida, PTFE) 60 0,41
50 0,34
40 0,28
AP1000 ø2,12 (ø53,8) 30 0,21
20 0,14
10 0,07
0 0,00
0 100 200 300 400
Máx. 5,6 (142,2)

ø1,5 (ø38,1) AP1000 40 psig (0,28 MPa) 20 psig (0,14 MPa)
50 0,34

ø2,25 (ø57,2) 40 0,28
30 0,21
(17,5)
0,69
20 0,14
ø2,00 (ø50,8)
A 10 0,07
0,88 (22,4) 0 0,00

0 20 40 60 80
Profundidade UNF 2 x 10-32 0,3 (7,6) Taxa de vazão (slpm, N2)
(Furo de montagem)
70 0,48
60 0,41 AP
50 0,34
SL
A
Conexões 40 0,28
polegada (mm)
FV4
AZ
3,70 (94,0) 30 0,21
MV4
TW4 2,96 (75,2) AK
FV6 20 0,14
4,70 (119,4)
MV6 BP
TW6 2,96 (75,2) 10 0,07
0 0,00
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200
975
Regulador de estágio único para Baixa vazão
pureza ultra-alta (diafragma prensado)
Série AP1500
V Capacidade de vazão: a 30 slpm
V Projeto do diafragma prensado
Como pedir
Número da via
a b c d

Opção de tampa
Código Pressão de distribuição
1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) Código Tampa
02
2 a 60 psig (0,014 a 0,4 MPa) Sem código Padrão
06
P Instalação do painel *4)
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa)
Conexões (Entradaa, Saídab) *4) Furo de montagem em
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa)
Código Conexões painel: 1,56 pol. (39,6 mm)
de diâm.
Material FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea)
MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) Material do assento
S 316L SS de 316L SS 316L SS 316L SS TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada Código Material
SHP refundição FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) PCTFE
Sem código (Padrão)
SH secundária Liga de Liga de MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho)
Liga de TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada VS Poliimida*3)
H Liga de Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo
*3) Não disponível com
Ni-Cr-Mo
materiais SHP, SH, H.
Acabamento da superfície Unidade de pressão do manômetro *2)
Código Ra máx. de acabamento da superfície Porta do manômetro (Entradac, Saídad)
Vias Código Unidade
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão
10 μin. (0,25 μm) Código Vias Manômetro *1) Sem código psig/bar
M Código
V 7 μin. (0,18 μm) 2PW 2 vias Unidade psig/bar Unidade MPa MPA MPa
X 5 μin. (0,13 μm) 3PW 3 vias Sem código Sem porta do manômetro *2) Unidade de pressão do
4PW 4 vias 0 Sem manômetro (conexões: vedação manômetro MPa ou psig/bar
de face de 1/4 de polegada macho) selecionável. Embora somente
Configuração de via V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa
MPa esteja disponível no Japão,
sob a regulamentação japonesa.
d L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa
d c
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa
Número do pedido de modelo
b a b a b a H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa
Via a b c d
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa AP1510S 2PW FV4 FV4
4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa 3PW FV4 FV4 0
2PW 3PW 4PW 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa 3PW FV4 FV4 1 MPA
40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa 4PW FV4 FV4 40 1 MPA
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) *1) Consulte as especificações do manômetro
dPorta do manômetro (Saída) no guia do manômetro (P.1058).
Especificações
Parâmetros de operação AP1502 AP1506 AP1510 AP1515
1 a 30 psig (0,007
2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig
a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa) (0,034 a 1,0 MPa)
Pressão de ruptura 10.000 psig (69 MPa)
Temperatura ambiente e de trabalho -40 a 71 °C (sem congelamento) *1)
Cv 0,09
Porta da tampa NPT de 1/8 de polegada *4)
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 0,41 psig (0,0028 MPa) na pressão de distribuição para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda da pressão de fonte
Peso 1,27 kg *5)
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.000 psig (7 MPa). conexões ou os opcionais.
976
Série AP1500
Baixa vazão (diafragma prensado)
Material de peças molhadas
Peças molhadas S SHP SH H

Acabamento da superfície Eletropolimento + Passivação Eletropolimento
Assento 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo
Assento PCTFE (Opção: poliimida) PCTFE
AP1500 ø2,12 (ø53,8)
Máx. 5,6 (142,2)

ø1,5 (ø38,1)
ø2,25 (ø57,2)
SAÍDA ENTRADA
(17,5)
0,69
ø2,00 (ø50,8)
A
A 0,88 (22,4)
Conexões
polegada (mm) Profundidade UNF 2 x 10-32 0,3 (7,6)
FV4 (Furo de montagem)
3,70 (94,0)
MV4
TW4 2,96 (75,2)
FV6
4,70 (119,4)
MV6
TW6 2,96 (75,2)
Características de vazão
Pressão na entrada: 2.000 a 3.000 psig (13,8 a 20,7 MPa) 1000 psig (6,9 MPa) Pressão na entrada: 100 psig (0,69 MPa) 80 psig (0,55 MPa)
AP1500 500 psig (3,4 MPa) 200 psig (1,4 MPa) AP1500 40 psig (0,28 MPa) 20 psig (0,14 MPa)
100 0,69 50 0,34
90 0,62

80 0,55 40 0,28
70 0,48 AP
60 0,41 30 0,21
SL
50 0,34
40 0,28 20 0,14 AZ
30 0,21
20 0,14 10 0,07
AK
10 0,07 BP
0 0,00 0 0,00
0 100 200 300 400 0 20 40 60 80
Taxa de vazão (slpm, N2) Taxa de vazão (slpm, N2)
977
Série AP1600
V Capacidade de vazão a 100 slpm
Como pedir
Número da via
a b c d

Código Pressão de distribuição Opção de tampa
Conexões (Entradaa, Saídab)
01 1 a 10 psig (0,007 a 0,07 MPa) Código Tampa
Código Conexões Sem código Padrão
02 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa)
06 2 a 60 psig (0,014 a 0,4 MPa) FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) P Instalação do painel*4)
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) *4) Furo de montagem em
TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada painel: dia. 1,43 polegada
Material FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) (36,3 mm).
Código Corpo Assento Diafragma Bico MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) Material do assento
S 316L SS de 316L SS 316L SS 316L SS TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada Código Material
refundição Liga de Liga de Liga de Sem PCTFE
SH secundária
Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo código (Padrão)
Porta do manômetro (Entradac, Saídad)
VS Poliimida*3)
Acabamento da superfície Manômetro*1)
Código *3) Não disponível com material
Código Ra máx. de acabamento da superfície Unidade psig/bar Unidade MPa SH.
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão Vias Sem código Sem porta do manômetro
0 Unidade de pressão do manômetro*2)
M 10 μin. (0,25 μm) Código Vias Sem manômetro (conexões: vedação
V 7 μin. (0,18 μm) 2PW 2 vias de face de 1/4 de polegada macho) Código Unidade
X 5 μin. (0,13 μm) 3PW 3 vias V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa Sem código psig/bar
4PW 4 vias L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa MPA MPa
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa *2) Unidade de pressão do
Configuração de via 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa manômetro MPa ou psig/bar
selecionável. Embora somente
40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa
d MPa esteja disponível no Japão,
d c *1) Consulte as especificações do manômetro no sob a regulamentação japonesa.
guia do manômetro (P.1058).
b a b a b a

Via a b c d
2PW 3PW 4PW AP1601S 2PW FV4 FV4
3PW FV4 FV4 0
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) 3PW FV4 FV4 V3
dPorta do manômetro (Saída) 4PW FV4 FV4 1 V3 MPA
Especificações
1 a 10 psig (0,007 1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig
a 0,07 MPa) a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa)
Vácuo a 100 psig
(0,7 MPa)
Cv 0,13
Peso 1,54 kg *5)
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as conexões ou os
*3) Testado com pressão na entrada de gás hélio de 500 psig (3,5 MPa). opcionais.
978
Série AP1600
Corpo 316L SS de refundição secundária
AP1600 ø2,12 (ø53,8)
Máx. 5,5 (139,7)

ø1,5 (ø38,1)
ø2,62 (ø66,5)
SAÍDA ENTRADA
(17,5)
0,69
ø2,5 (ø63,5)
A
0,88 (22,4)
A Profundidade UNF 2 x 10-32 0,3 (7,6)
Conexões
polegada (mm)
(Furo de montagem)
FV4
4,30 (109,2)
MV4
TW4 3,46 (87,9)
FV6
5,22 (132,6)
MV6
TW6 4,00 (101,6)
Pressão na entrada: 2.000 a 3.000 psig (13,8 a 20,7 MPa) 1.000 psig (0,69 MPa) Pressão na entrada: 100 psig (0,69 MPa) 80 psig (0,55 MPa)
AP1600 500 psig (3,4 MPa) 200 psig (1,4 MPa) AP1600 60 psig (0,41 MPa)
100 0,69 60 0,41
90 0,62

50 0,34
80 0,55
70 0,48 AP
40 0,28
60 0,41
SL
50 0,34 30 0,21
40 0,28 AZ
20 0,14
30 0,21
20 0,14
AK
10 0,07
10 0,07
BP
0 0,00 0 0,00
0 100 200 300 400 500 600 0 50 100 150
979
Regulador de estágio único para Vazão de baixa a intermediária
Série AP1900
Como pedir
Número da via
a b c d

Código Pressão de distribuição Conexões (Entradaa, Saídab)
01 1 a 10 psig (0,007 a 0,07 MPa) Código Conexões Opção de tampa
02 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea)
Código Tampa
06 2 a 60 psig (0,014 a 0,4 MPa) MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho)
Sem código Padrão
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada
P Instalação do painel*4)
*4) Furo de montagem em painel:
MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) 1,43 pol. (36,3 mm) de diâm.
Material TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada
Código Corpo Assento Diafragma Bico FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea) Opcional
S 316L SS de 316L SS 316L SS 316L SS MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho) Código Especificação
refundição Liga de Liga de Liga de TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada
SH secundária Sem código Padrão (Cv: 0,13)
Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo
HF Alta vazão (Cv: 0,16)
Acabamento da superfície
Manômetro *1) Material do assento
Código Ra máx. de acabamento da superfície Código
Unidade psig/bar Unidade MPa Código Material
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão Portas Sem código Sem porta do manômetro Sem código PCTFE (Padrão)
M 10 μin. (0,25 μm) Código Vias 0 Sem manômetro (conexões: vedação VS Poliimida*3)
V 7 μin. (0,18 μm) 2PW 2 vias de face de 1/4 de polegada macho) *3) Não disponível com material
X 5 μin. (0,13 μm) 3PW 3 vias V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa SH.
4PW 4 vias L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa
Unidade de pressão do manômetro*2)
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa
Configuração de via 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa Código Unidade
d 40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa Sem código psig/bar
d c
*1) Consulte as especificações do manômetro no guia MPA MPa
b a b a b a do manômetro (P.1058). *2) Unidade de pressão do
manômetro MPa ou psig/bar
Número do pedido de modelo selecionável. Embora somente
Via a b c d MPa esteja disponível no Japão,
2PW 3PW 4PW AP1901S 2PW FV4 FV4 sob a regulamentação japonesa.
3PW FV4 FV4 0
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) 3PW FV4 FV4 V3 MPA
dPorta do manômetro (Saída) 4PW FV4 FV4 40 V3 MPA
Especificações
Parâmetros de operação AP1901 AP1902 AP1906 AP1910 AP1915
Pressão de distribuição 1 a 10 psig (0,007 1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig
Cv 0,13
vazamento Vazamento externo 2 x 10 Pa·m3/s*2)
-10

Peso 1,54 kg *5)
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as conexões ou os
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.000 psig (7 MPa). opcionais.
980
Série AP1900
Vazão de baixa a intermediária (diafragma prensado)
Opcional
Alta vazão
Opcional Outros parâmetros AP1901 AP1902 AP1906 AP1910 AP1915
Cv 0,16
HF
Efeito da pressão de alimentaçãoAumento de 0,6 psig (0,0042 MPa) na pressão de distribuição para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda de pressão da fonte

Pressão na entrada: 2.000 a 3.000 psig (13,8 a 20,7 MPa) 1000 psig (6,9 MPa)
Peças molhadas S SH AP1900 500 psig (3,4 MPa) 200 psig (1,4 MPa)
100 0,69

80 0,55
Assento PCTFE (Opção: poliimida) PCTFE 70 0,48
60 0,41
50 0,34
40 0,28
AP1900 30 0,21
ø2,12 (ø53,8)
20 0,14
10 0,07
0 0,00
0 100 200 300 400 500 600

AP1900 60 psig (0,41 MPa)
Máx. 5,5 (139,7)
ø1,5 (ø38,1) 60 0,41

50 0,34
ø2,62 (ø66,5)
40 0,28
SAÍDA ENTRADA
30 0,21
(17,5)
0,69
20 0,14
ø2,5 (ø63,5)
10 0,07
A
0,88 (22,4) 0 0,00

0 50 100 150
(Furo de montagem)
AP1900HF 100 psig (0,69 MPa) 60 psig (0,41 MPa)
100 0,69
90 0,62
AP
80 0,55
70 0,48 SL
A
Conexões 60 0,41
polegada (mm)
FV4 50 0,34 AZ
4,30 (109,2)
MV4
40 0,28
TW4 3,46 (87,9) AK
FV6 30 0,21
5,22 (132,6)
MV6
TW6 4,00 (101,6)
20 0,14 BP
FV8 10 0,07
5,22 (132,6)
MV8 0 0,00
TW8 4,34 (110,2) 0 50 100 150 200 250 300 350 400 450
981
Regulador de estágio único para Vazão intermediária
Série AP1400T
V Para distribuição de gás UHP V Opção de distribuição de
V Padrão de pressão alta na entrada: Máx. 2300 psig (15,9 MPa) pressão subatmosférica
HR (opcional): Máx. 3000 psig (20,7 MPa) V Projeto do diafragma prensado
V Capacidade de vazão: até 400 slpm
V Padrão de peças internas de liga de Ni-Cr-Mo
Como pedir
Número da via
a b c d
AP14 02 T S 2PW FV4 FV4

Pressão de distribuição Conexões (Entradaa, Saídab)
Código Pressão de distribuição Código Conexões Opção de tampa
1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) Código Tampa
02
Subatmosférico (A): 100 mm Hg absoluto para 30 psig (-88 kPa to 0,2 MPa) MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) Sem código Padrão
06 2 a 60 psig (0,014 a 0,4 MPa) TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada P Instalação do painel*6)
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) SC Tipo curto *7)
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) *6) Furo de montagem em painel:
Material TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada 1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea) *7) A porta da tampa não é
Código Corpo Assento Diafragma Bico roscada. Opção SC não
S 316L SS de 316L SS MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho) disponível com a opção
refundição Liga de Liga de Liga de TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada 1402TA.
SH secundária Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo
Porta do manômetro (Entradac, Saídad) Opcional
Acabamento da superfície Manômetro *2) Código Especificação
Opções de faixa *1) Código Sem código Padrão
Código Ra máx. de acabamento da superfície Unidade psig/bar Unidade MPa
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão Código Faixa Sem código Sem porta do manômetro Pressão alta na entrada
M 10 μin. (0,25 μm) Sem código Padrão HR (Pressão máxima na entrada
0 Sem manômetro (conexões: vedação de 3000 psig (20,7 MPa)) *5)
V 7 μin. (0,18 μm) A Subatmosférico de face de 1/4 de polegada macho)
X 5 μin. (0,13 μm) *1) Disponível somente V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa AP1402T e AP1406T.
com AP1402T. -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa
Configuração de via Vias L
Material do assento
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa
d Código Vias
H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa Código Material
2PW 2 vias
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa Sem código PCTFE (Padrão)
b a b a 3PW 3 vias
4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa VS Poliimida*4)
4PW 4 vias
10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa *4) Não disponível com material SH.
2PW 40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa
3PW Unidade de pressão do manômetro *3)
d *2) Consulte a guia do manômetro (Pág. 1058)
c para saber as especificações do manômetro. Código Unidade
aEntrada Número do pedido de modelo
a Sem código psig/bar
b bSaída Via a b c d
AP1410T 2PW MPA MPa
cPorta do manômetro (Entrada) FV4 FV4
3PW FV4 FV4 0 *3) Unidade de pressão do manômetro MPa
dPorta do manômetro (Saída) ou psig/bar selecionável. Embora
4PW 3PW FV4 FV4 1 MPA
4PW FV4 FV4 40 1 MPA somente MPa esteja disponível no Japão,
Especificações sob a regulamentação japonesa.
Parâmetros de operação AP1402T wwAAP1402T AP1406T AP1410T AP1415T

100 mm Hg absoluto para 30
1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) (pressão
psig (-88 kPa a 0,2 MPa)
a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa) da fonte de 1.000 psig ou menos) *1)
Pressão da fonte Vácuo a 300 psig (2,1 MPa) Vácuo a 2300 psig (15,9 MPa)
Cv 0,45
vazamento Vazamento externo 2 x 10-10 Pa·m3/s*3)
Porta da tampa NPT de 1/8 de polegada*5)
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 1,6 psig (0,011 MPa) na pressão de distribuição para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda de pressão de fonte
Peso 2,04 kg*6)
*1) Pressão da fonte acima de 1.000 psig (6,9 MPa) diminui a pressão máxima *2) -10 a 90 °C para assento de poliimida.
de distribuição para menos de 150 psig (1 MPa) devido ao efeito da *3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa).
pressão de alimentação. Quando a pressão de fonte é de 2.300 psig (15,9 *4) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1000 psig (7 MPa).
MPa), a pressão de distribuição alcançável é de aproximadamente 129 *5) Na opção de montagem em painel, a porta da tampa não é roscada.
psig (0,89 MPa). *6) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as
conexões ou os opcionais.
982
Vazão intermediária (Diafragma prensado) Série AP1400T
Opcional
Pressão alta na entrada
As mudanças no tipo padrão são:
Opcional Outros parâmetros AP1410T AP1415T
HR Pressão de teste (Entrada) 4500 psig (31 MPa)
AP1400T Pressão na entrada: 80 psig (0,55 MPa) 60 psig (0,41 MPa)
Corpo 316L SS de refundição secundária 50 0,35
Assento Liga de Ni-Cr-Mo

Diafragma Liga de Ni-Cr-Mo 40 0,28
30 0,21
Dimensões inch (mm)
AP1400T ø2,12 (ø53,8)

20 0,14
Máx. de 5,6 (142,2) (Ao selecionar a opção com o código SC)
10 0,07
0 0,00
0 40 80 120 160 200
Máx. de 6,0 (152,4)
ø1,5 (ø38,1) Pressão na entrada: 2000 psig (13,8 MPa) 600 psig (4,1 MPa)
AP1400T 200 psig (1,4 MPa)
80 0,55
70 0,48

ø2,62 (ø66,5) 60 0,41
50 0,34
40 0,28
(17,5)
0,69
30 0,21
øA 20 0,14
B 10 0,07
0,88 (22,4)
0 0,00
0 100 200 300 400 500 600 700 800
2 x 10-32 UNF profundidade 0,3 (7,6) Taxa de vazão (slpm, N2)
(furo de montagem)
AP1402TA Pressão na entrada:: 0 psig (0 kPa)
760 0
Pressão de distribuição (mm Hg abs)
700 -8
600 -21 AP
A B
500 -35
SL
Conexões 400 -48
polegada (mm) polegada (mm)
FV4 3,70 (94,0) AZ
MV4 2,00 (50,8) 4,00 (101,6) 300 -61
TW4 3,46 (87,9)
200 -75
AK
FV6
5,22 (132,6)
MV6
100 -88 BP
TW6 4,00 (101,6)
2,50 (63,5)
FV8 0 -101
5,22 (132,6)
MV8 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
TW8 4,34 (110,2) Taxa de vazão (slpm, N2)
983
Regulador de estágio único para Alta vazão
pureza ultra-alta (Diafragma prensado)
Série AP1200
V Para distribuição de gás UHP V Material do corpo: 316L SS de
V Pressão alta na entrada: Máx. 1700 psig (11,7 MPa) refundição secundária
HR (opcional): Máx. 3000 psig (20,7 MPa) V Partes internas de liga de Ni-Cr-Mo
V Padrão da capacidade de vazão: até 800 slpm disponíveis para resistência

HF (opcional): até 1000 slpm contra corrosão
FC (opcional): até 1500 slpm V Projeto do diafragma prensado
Como pedir
Número da via
a b c d

02 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) Conexões (Entradaa, Saídab) Opção de tampa
FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) Sem código Padrão
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) P Instalação do painel *7)
25 Predefinida em 250 psig (1,7 MPa) TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada
Material SC Tipo curto*8)
Código Corpo Assento Diafragma Bico FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) *7) Furo de montagem em painel: dia.
S 316L SS MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) 1,56 polegada (39,6 mm).
316L SS de TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada *8) A porta da tampa não é roscada.
SHP refundição Liga de 316L SS
Liga de Ni-Cr-Mo
Liga de FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea) Opção SC não disponível com a opção
SH secundária Ni-Cr-Mo MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho) FC ou HR.
Ni-Cr-Mo Opcional
TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada
Acabamento da superfície FV12 Vedação de face de 3/4 de polegada (Fêmea) Código Especificação
Código Ra máx. de acabamento da superfície Vias MV12 Vedação de face de 3/4 de polegada (Macho) Sem código Padrão (Cv: 0,65)
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão Código Vias TW12 Solda de tubo de 3/4 de polegada HF Alta vazão (Cv: 1,1)
M 10 μin. (0,25 μm) 2PW 2 vias FC Compensação da força
V 7 μin. (0,18 μm) 3PW 3 vias Unidade de pressão (Cv: 0,65) *4)*5)
X 5 μin. (0,13 μm) 4PW 4 vias do manômetro*2) Pressão alta na entrada
Código Unidade HR (Pressão máxima na entrada
Configuração de via Porta do manômetro (Entradac, Saídad)
Sem código psig/bar de 3.000 psig (20,7 MPa)) *4)*6)
Manômetro*1) MPA MPa
Código
d *4) As opções FC e HR não está disponíveis com
Unidade psig/bar Unidade MPa *2) Unidade de pressão do AP1202, AP1206 e AP1225.
b a b a Sem código Sem porta do manômetro manômetro MPa ou psig/bar *5) A opção FC está disponível com tamanho de
0 Sem manômetro (conexões: vedação selecionável. Embora somente conexão de 1/2 ou 3/4 de polegada.
de face de 1/4 de polegada macho) MPa esteja disponível no *6) Vedação de face de 3/4 de polegada classificada a
V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa Japão, sob a regulamentação 2.400 psig (16,5 MPa) no máximo.
2PW 3PW japonesa.
L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa
d c 1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa Material do assento
Número do pedido de modelo Código Material
a H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa Via a b c d
b
0 a 200 psig Sem código PCTFE (Padrão)
2 0 a 1,4 MPa AP1210S 2PW FV8 FV8
0 a 400 psig VS Poliimida *3)
4 0 a 3 MPa 3PW FV8 FV8 0
3PW FV8 FV8 1 MPA *3) Não disponível com
10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa
4PW 4PW FV8 FV8 40 1 MPA materiais de SHP e SH.
40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa
aEntrada bSaída cPorta do manômetro *1) Consulte as especificações do manômetro no guia do manômetro (P.1058).
(Entrada) dPorta do manômetro (Saída)
Especificações
Parâmetros de operação AP1202 AP1206 AP1210 AP1215 AP1225 *1) Pressão da fonte acima de 1.000 psig (6,9 MPa)
1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) (Pressão Predefinida em 250 diminui a pressão máxima de distribuição para
Pressão de distribuição menos de 150 psig (1 MPa) devido ao efeito
a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa) de fonte de 1000 psig ou menos) *1) psig (1,7 MPa) *2)
da pressão de alimentação. Quando a
pressão da fonte for de 1.700 psig (11,7 MPa),
Pressão da fonte Vácuo a 1700 psig (11,7 MPa) a pressão de distribuição possível será de
Pressão de teste (Entrada) 2550 psig (17,6 MPa) aproximadamente 125 psig (0,86 MPa) (as
Pressão de ruptura 8000 psig (55,2 MPa) opções HF e FC de 120 psig (0,83 MPa)).
Temperatura ambiente e de trabalho -40 a 71 °C (sem congelamento) *3) *2) Pressão predefinida na saída de 250 psig
Cv 0,65 a 800 psig (5,5 MPa) de pressão na
Taxa de Vazamento interno 2 x 10-11 Pa·m3/s entrada. Configurações personalizadas
vazamento Vazamento externo 2 x 10-10 Pa·m3/s *4) de pressão de entrada/saída disponíveis.
Vazamento entre o assento 4 x 10-9 Pa·m3/s *5) Entre em contato com a SMC.
Acabamento da superfície *3) -10 a 90 °C para assento de poliimida.
Ra máx. 15 μin. (0,4 μm)
*4) Testado com pressão na entrada de gás
Opcional: 10 μin. (0,25 μm), 7 μin. (0,18 μm), 5 μin. (0,13 μm)
hélio de 1500 psig (10,5 MPa).
Conexões Vedação da face, Solda do tubo *5) Testado com pressão na entrada de gás
Porta da tampa NPT de 1/8 de polegada *6) hélio de 1000 psig (7 MPa).
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 3,5 psig (0,024 MPa) na pressão de distribuição para *6) Na opção de montagem em painel, a
cada 100 psig (0,7 MPa) de queda de pressão da fonte porta da tampa não é roscada.
Instalação Montagem na base (Opção: montagem em painel) *7) O peso, incluindo o peso da embalagem
Volume interno 1,07 pol.3 (17,6 cm3) individual, pode variar de acordo com as
Peso 2,0 kg *7) conexões ou opcionais.
984
Série AP1200
Alta vazão (Diafragma prensado)
Opções Material de peças molhadas

1. Alta vazão
Capacidade de vazão mais alta somente com alterações internas, nenhuma Peças molhadas S SHP SH
alteração nas dimensões externas. As mudanças no tipo padrão são: Corpo 316L SS de refundição secundária
OpcionalOutros parâmetros AP1202 AP1206 AP1210 AP1215 AP1225 Acabamento da superfície Eletropolimento + Passivação
Cv 1,1 Assento 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo
HF Efeito da pressão Aumento de 4,2 psig (0,029 MPa) na pressão de distribuição Diafragma Liga de Ni-Cr-Mo
de alimentação para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda na pressão de origem Bico 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo
2. Compensação da força
Recurso de compensação da força adicionado à opção HF com uma capacidade
de fluxo mais ampla que a opção HF. As mudanças no tipo padrão são:
Opcional Outros parâmetros AP1210 AP1215 Pressão na entrada: 80 psig (0,55 MPa) 60 psig (0,41 MPa)
Pressão da fonte Vácuo a 300 psig (2,1 MPa) AP1200 Conexões de 1/2 polegada *)
Cv 0,65 50 0,34
FC Efeito da pressão Aumento de 4,2 psig (0,029 MPa) na pressão de distribuição
de alimentação para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda na pressão de origem

Conexões Vedação de face de 1/2, 3/4 de polegada, solda do tubo de 1/2, 3/4 de polegada 40 0,28
3. Pressão alta na entrada
30 0,21
Opcional Outros parâmetros AP1210 AP1215
Pressão da fonte Vácuo a 3000 psig (20,7 MPa) *)
HR Pressão de teste (Entrada) 4500 psig (31 MPa) 20 0,14
*) Vedação de face de 3/4 de polegada classificada a 2.400 psig (16,5 MPa)
máximo. 10 0,07
0 0,00
AP1200 0 200 400 600 800
ø2,12 (ø53,8) Taxa de vazão (slpm, N2)
Máx. de 6,5 (165,1) (Ao selecionar a opção com o
Máx. de 5,6 (142,2) (Ao selecionar a opção com o
120 0,83
100 0,69

Máx. 6,0 (152,4)
ø1,5 (ø38,1)
80 0,55
código SC)
código FC)
60 0,41
ø2,62 (ø66,5) 40 0,28
20 0,14
0 0,00
(17,5)
0,69
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
øA
B AP1200FC Pressão na entrada: superior a 150 psig (1,0 MPa) Conexões de 3/4 de polegada *)
Profundidade UNF 2 x 10-32 0,3 (7,6) 80 0,55
0,88 (22,4) (Furo de montagem) AP
70 0,48
A B
Conexões SL
polegada (mm) polegada (mm) 60 0,41
FV4 3,70 (94,0)
MV4 2,00 (50,8) 4,00 (101,6) 50 0,34 AZ
TW4 3,46 (87,9)
FV6 40 0,28
MV6
5,22 (132,6) AK
4,00 (101,6) 30 0,21
TW6
FV8 BP
5,22 (132,6) 20 0,14
MV8 2,50 (63,5)
TW8 4,34 (110,2) 10 0,07
FV12
6,26 (159,0) 0 0,00
MV12
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
TW12 5,00 (127,0)
*) Se os tamanhos das conexões divergirem, as características da vazão também divergirão.
985
Regulador de estágio único para Distribuição de pressão
pureza ultra-alta subatmosférica
Série AP1100
V Distribuição de pressão de subatmosférica a positiva baixa
V Capacidade de vazão: a 0,5 slpm
Como pedir
Número da via
a b c d

Opção de tampa
100 mm Hg absoluto para 10 psig (-88 kPa a 0,07 MPa) Código Tampa
01
Sem código Padrão
Material P Instalação do painel*4)
Código Corpo Assento Diafragma Bico *4) Furo de montagem em painel:
1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
S 316L SS de 316L SS 316L SS
SHP refundição 316L SS Material do assento
SH secundária Liga de Liga de Código Material
Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Liga de
Liga de Ni-Cr-Mo Sem código PCTFE (Padrão)
H
Ni-Cr-Mo TF PTFE *3)
Acabamento da superfície *3) PTFE recomendado para aplicações como as
de uma ferramenta de processo.
Código Ra máx. de acabamento da superfície
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão Unidade de pressão do manômetro *2)
M 10 μin. (0,25 μm) Código Unidade
V 7 μin. (0,18 μm) Sem código psig/bar
X 5 μin. (0,13 μm) MPA MPa
*2) Unidade de pressão do manômetro MPa ou psig/bar
Configuração de via Vias selecionável. Embora somente MPa esteja disponível no
Código Vias Japão, sob a regulamentação japonesa.
d 2PW 2 vias Porta do manômetro (Entradac, Saídad)
b a b a
3PW 3 vias Manômetro *1)
4PW 4 vias Código
Unidade psig/bar Unidade MPa
Sem código Sem porta do manômetro
2PW 3PW Conexões (Entradaa, Saídab) 0 Sem manômetro (conexões: vedação
Código Conexões de face de 1/4 de polegada macho)
d c
FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) V3 -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa
b a MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) L -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa
TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada *1) Outra faixa disponível. Consulte o guia do manômetro (P.1058).
FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) Número do pedido de modelo
4PW MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) Via a b c d
TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada AP1101S 2PW FV4 FV4
aEntrada bSaída cPorta do manômetro 3PW FV4 FV4 0
(Entrada) dPorta do manômetro (Saída) 3PW FV4 FV4 V3 MPA
4PW FV4 FV4 V3 V3 MPA
Especificações
Parâmetros de operação AP1101
Pressão de distribuição 100 mm Hg absoluto para 10 psig (-88 kPa a 0,07 MPa)
Temperatura ambiente e de trabalho -40 a 71 °C (sem congelamento)
Cv 0,05
vazamento Vazamento externo 2 x 10 Pa·m3/s *1)
-10

Peso 1,25 kg *3)
*1) Testado com pressão na entrada de gás hélio de 300 psig (2,1 MPa). *3) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com
*2) Na opção de montagem em painel, a porta da tampa não é roscada. as conexões ou opcionais.
986
Série AP1100
Distribuição de pressão subatmosférica
Peças molhadas S SHP SH H

Acabamento da superfície Eletropolimento + Passivação Eletropolimento
Assento PCTFE (Opção: PTFE)
AP1100
ø2,12 (ø53,8)
Máx. 5,6 (142,2)

ø1,5 (ø38,1)
ø2,25 (ø57,2)
(17,5)
0,69
ø2,00 (ø50,8)
A
A 0,88 (22,4)
Conexões
polegada (mm)
FV4 Profundidade UNF 2 x 10-32 0,3 (7,6)
3,70 (94,0) (Furo de montagem)
MV4
TW4 2,96 (75,2)
FV6
4,70 (119,4)
MV6
TW6 2,96 (75,2)
AP1100 Pressão na entrada: 2 psig (14 kPa)
760 0
700 -8
600 -21
AP
500 -35
SL
400 -48
300 -61
AZ
200 -75 AK
100 -88 BP
0 -101
0 1 2 3
987
Regulador de dois estágios para Baixa vazão
Série AP1700
V Minimiza o efeito da pressão de alimentação por regulagem de dois estágios
Como pedir
Número da via
a b c d

Código Pressão de distribuição Conexões (Entradaa, Saídab) Opção de tampa
02 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) Código Conexões Código Tampa
06 2 a 60 psig (0,014 a 0,4 MPa) FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) Sem código Padrão
TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada *4) Furo de montagem em painel:
Material 1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
Código Corpo Assento Diafragma Bico MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) Material do assento
S 316L SS de 316L SS 316L SS 316L SS TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada
Código Material
refundição Liga de Liga de Liga de
SH secundária Sem código PCTFE
Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Porta do manômetro (Entradac, Saídad) (Padrão)
Manômetro *1) VS Poliimida *3)
Acabamento da superfície Código Unidade psig/bar Unidade MPa *3) Não disponível com
Código Ra máx. de acabamento da superfície Sem código Sem porta do manômetro material SH.
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão 0 Sem manômetro (conexões: vedação
M 10 μin. (0,25 μm) de face de 1/4 de polegada macho) Unidade de pressão do manômetro *2)
V 7 μin. (0,18 μm) V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa Código Unidade
X 5 μin. (0,13 μm) L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa Sem código psig/bar
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa MPA MPa
Vias
Configuração de via H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa *2) Unidade de pressão do manômetro
Código Vias 2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa MPa ou psig/bar selecionável.
d c 2PW 2 vias 4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa Embora somente MPa esteja
4PW 4 vias 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa disponível no Japão, sob a
b a b a regulamentação japonesa.
40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa
*1) Consulte as especificações do manômetro no guia
do manômetro (P.1058).
2PW 4PW
aEntrada bSaída cPorta do manômetro Via a b c d
(Entrada) dPorta do manômetro (Saída) AP1702S 2PW FV4 FV4
4PW FV4 FV4 0 0
4PW FV4 FV4 40 V3 MPA
Especificações
Parâmetros de operação AP1702 AP1706 AP1710
1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig
a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa)
Pressão de primeiro estágio 175 psig (1,2 MPa)
Cv 0,05
Instalação Opção: montagem em painel
Volume interno 0,92 pol.3 (15,1cm3)
Peso 2,04 kg *5)
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as conexões ou
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.000 psig (7 MPa). os opcionais.
988
Série AP1700
Regulador de dois estágios para pureza ultra-alta
AP1700 ø2,12 (ø53,8)
ø1,5 (ø38,1)
Máx. 7,5 (190,5)

SAÍDA ENTRADA
2,36 (59,9)
A
Conexões
polegada (mm)
FV4
3,70 (94,0)
MV4
TW4 2,96 (75,2)
FV6 ø2,25 (ø57,2)
4,70 (119,4)
MV6
TW6 2,96 (75,2) A
AP1700 Pressão na entrada: 200 a 3.000 psig (1,4 a 20,7 MPa)
100 0,69
90 0,62
80 0,55
70 0,48 AP
60 0,41
50 0,34 SL
40 0,28
AZ
30 0,21
20 0,14 AK
10 0,07
0 0,00 BP
0 50 100 150 200
989
Regulador de dois estágios para Vazão intermediária
Série AP2700
V Para distribuição de gás UHP V Projeto do diafragma prensado
V Capacidade de vazão a 150 slpm (NF3)
a 900 slpm (H2)
V Minimiza o efeito da pressão de alimentação por regulagem de dois estágios
Como pedir
Número da via
a b c d

02 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa)
Código Conexões Código Tampa
06 2 a 60 psig (0,014 a 0,4 MPa)
Material
FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) 1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
CódigoCorpo Assento Diafragma Bico MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho)
316L SS de 316L SS SS/Liga 316L
316L SS Material do assento
S TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada
refundição de
Ni-Cr-Mo Vias Código Material
SH secundária Liga de Ni-Cr-Mo Liga de Ni-Cr-Mo Liga de Ni-Cr-Mo PCTFE
Código Vias Sem código
Acabamento da superfície (Padrão)
2PW 2 vias
Código Ra máx. de acabamento da superfície VS Poliimida *3)
3 vias
Sem código 15 μin. (0,4 μm) Padrão 3PWQ *3) Não disponível com
(1 porta de monitor de pressão (MP)) material SH.
M 10 μin. (0,25 μm) 4PW 4 vias
V 7 μin. (0,18 μm) 5 vias
5PWQ Unidade de pressão do manômetro *2)
X 5 μin. (0,13 μm) (1 porta de monitor de pressão (MP))
Código Unidade
Configuração de via Porta do manômetro (Entradac, Saídad) Sem código psig/bar
Manômetro *1) MPA MPa
b a b a Código *2) Unidade de pressão do
Sem código Sem porta do manômetro manômetro MPa ou psig/bar
selecionável. Embora somente
Sem manômetro (conexões: vedação MPa esteja disponível no Japão,
2PW MP 3PWQ 0 de face de 1/4 de polegada macho) sob a regulamentação japonesa.
V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa
d c d c L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa
b a b a H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa Via a b c d
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa AP2702S 2PW FV4 FV4
4PW MP 5PWQ 4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa 3PWQ FV4 FV4
aEntrada bSaída cPorta do manômetro 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa 4PW FV4 FV4 40 V3 MPA
(Entrada) dPorta do manômetro (Saída) 40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa 5PWQ FV4 FV4 40 V3 MPA
MP=Porta do manômetro de monitoramento *1) Consulte as especificações do manômetro no guia do manômetro (P.1058).
Especificações
Pressão de distribuição 1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 3 a 120 psig
Pressão de primeiro estágio 200 psig (1,4 MPa)
Cv 0,105
-10

Instalação Opção: montagem em painel
Peso 2,27 kg *5)
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.000 psig (7 MPa). conexões ou os opcionais.
990
Série AP2700
Regulador de dois estágios para pureza ultra-alta
Vazão intermediária (diafragma prensado)
Diafragma 316L SS/Liga de Ni-Cr-Mo Liga de Ni-Cr-Mo
AP2700 ø2,12 (ø53,8)
ø1,5 (ø38,1)
ø1,87 (ø47,5)
ø2,62 (ø66,5)
2,92 ±0,04
(74,2 ±1)
2,56 ±0,04
Máx. 10,95 (278,1)

(65,0 ±1)
LP HP
1,54 ±0,04
(39,1 ±1)
(125,2 ±1,3)
4,93 ±0,05
A
Conexões
polegada (mm)
FV4
4,30 (109,2)
MV4
TW4 3,46 (87,9)
FV6
5,22 (132,6)
MV6
A
TW6 4,00 (101,6)
AP2700 Pressão na entrada: superior a 150 psig (1,0 MPa)
100 0,69
80 0,55
AP
60 0,41
SL
40 0,28
AZ
20 0,14 AK
0 0,00
BP
0 50 100 150 200 250 300 350
991
Regulador de estágio único para Distribuição de
pureza ultra-alta gás a granel
Série AP9000 e 9100

V Pressão na entrada AP9000: Máx. 1.700 psig (11,7 MPa)
AP9100: Máx. 800 psig (5,5 MPa)

V Capacidade de vazão AP9000: a 2.000 slpm
AP9100: a 5000 slpm

V Material do corpo: 316L SS

Como pedir
Número da via
a b c
AP9 0 10 S 2PW FV16 FV16

Tamanho
Material do assento
Código Cv
Código Material
0 3
Sem código PCTFE (Padrão)
1 4
VS Poliimida
Unidade de pressão do manômetro *2)
Pressão de distribuição Tamanho
Código Código Unidade
0 1
10 5 a 100 psig (0,034 a 0,7 MPa) V V Sem código psig/bar
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) V MPA MPa
30 Predefinida em 300 psig (2,1 MPa) V *2) Unidade de pressão do manômetro MPa
ou psig/bar selecionável. Embora
Material somente MPa esteja disponível no
Código Material Acabamento da superfície Vias Japão, sob a regulamentação japonesa.
S 316L SS Código Ra máx. de acabamento da superfície Código Vias
Sem código 15 μin. (0,4 μm) 2PW 2 vias Portas do manômetro (Saídac)
M 10 μin. (0,25 μm) 3PW 3 vias Manômetro de pressão*1)
Código
Conexões (Entradaa, Saídab) Sem manômetro (conexões: vedação
0 de face de 1/4 de polegada macho)
Código Conexões
V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa
Configuração de via FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea)
MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho)
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa
c TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada
H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa
4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa
b a b a MV12 Vedação de face de 3/4 de polegada (Macho)
*1) Consulte as especificações do manômetro no
guia do manômetro (P.1058).
FV16 Vedação de face de 1 polegada (Fêmea)
2PW 3PW MV16 Vedação de face de 1 polegada (Macho) Número do pedido de modelo
TW16 Solda do tubo de 1 polegada Via a b c
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Saída) AP9010S 2PW FV12 FV12
3PW FV12 FV12 H MPA
Especificações

5 a 100 psig Predefinida em 300 psig (2,1 5 a 100 psig 5 a 150 psig
(0,034 a 0,7 MPa) MPa) *1) (0,034 a 0,7 MPa) (0,034 a 1,0 MPa)
Vácuo a 1700 psig Vácuo a 800 psig Vácuo a 250 psig
Pressão da fonte
(11,7 MPa) (5,5 MPa) (1,7 MPa)
Cv 3,0 4,0
vazamento Vazamento externo 2 x 10 Pa·m /s
-10 3 *3)

Acabamento da superfície Rá máx. 15 μin (0,4 μm) ou 10 μin (0,25 μm)
Porta da tampa NPT de 1/8 de polegada
Aumento de 3,7 psig (0,026 MPa) na pressão de distribuição Aumento de 5,4 psig (0,038 MPa) na pressão de distribuição
Efeito da pressão de alimentação
para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda de pressão da fonte para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda de pressão da fonte
Volume interno 12 pol.3 (197 cm3)
Peso 5,9 kg *4)
*1) A 800 psig (5,5 MPa) de pressão na entrada. Predefinição opcional de pressão disponível. Entre em contato com a SMC.
*4) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar dependendo das conexões ou dos opcionais.
992
Série AP9000 e 9100
Distribuição de gás a granel

Peças molhadas S AP9010 200 psig (1,4 MPa) 75 psig (0,52 MPa)
Corpo 316L SS
90 0,62
Assento Liga de Ni-Cr-Mo 80 0,55

Foles Liga de Ni-Cr-Mo
Bico 316L SS 70 0,48
Assento PCTFE (Opção: poliimida) 60 0,41
Mola do assento Liga de Ni-Co
Vedação da tampa Níquel 200 *) (Prateado) 50 0,34
*) 316 SS prateado para AP9030
40 0,28

30 0,21
20 0,14
AP9000 e 9100
3,5 (89) 10 0,07
0 0,00
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
ø0,75 (ø19)
AP9030 Pressão na entrada: 600 psig (4,1 MPa)

300 2,1

250 1,7
Máx. 11,2 (284,5)
200 1,4
ø4,00 (ø101,6)
150 1,0
100 0,7
5,38 (136,7)
LP HP 50 0,3
0 0,0
(28,7)
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
1,13

ø3,5 (ø88,9)
AP9110 Pressão na entrada: 150 psig (1,0 MPa) 75 psig (0,52 MPa)
A A 90 0,62
1,5 (38,1) 80 0,55


Profundidade 2 x 1/4-20 UNC 0,35 (8,9) 70 0,48
(Furo de montagem) 60 0,41
50 0,34
40 0,28
30 0,21
20 0,14
AP
A 10 0,07
Conexões
polegada (mm)
FV8
0 0,00 SL
3,11 (79,0) 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 4500 5000
MV8
Taxa de vazão (slpm, N2) AZ
TW8 4,75 (120,7)
FV12
3,64 (92,5)
MV12 AK
TW12 4,75 (120,7)
FV16 BP
3,92 (99,6)
MV16
TW16 4,75 (120,7)
993
Regulador de estágio único para
pureza ultra-alta
Série SL5200
HF (opção): a 130 slpm
V Projeto sem molas (Sem mola do assento na área molhada)
Como pedir
Número da via
a b c
SL52 02 S M 2PW FV4 FV4

Opcional
Opções de faixa *1) Vias
0,5 a 10 psig (0,0034 a 0,07 MPa) Código Especificação
Código Vias
Subatmosférico (A): 100 mm Código Especificação 2PW 2 vias Sem código Padrão
01 (Cv: 0,07)
Hg absoluto a 10 psig (-88 kPa Sem código Padrão 3PW 3 vias
a 0,07 MPa) A Subatmosférico HF Alta vazão (Cv:
02 0,5 a 30 psig (0,0034 a 0,2 MPa) *1) Somente disponível com SL5201. 0,15)
06 1 a 60 psig (0,007 a 0,4 MPa)
10 1 a 100 psig (0,007 a 0,7 MPa) Conexões (Entradaa, Saídab) Material do assento
Material Código Conexões Código Material
Código Corpo Assento Diafragma FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) Sem código PCTFE (Padrão)
S 316L SS de 316L SS MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) VS Poliimida *4)
TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada *4) Não disponível com material
SH refundição secundária Liga de Ni-Cr-Mo 316L SS
SH.
Acabamento da superfície FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea)
Código Ra máx. de acabamento da superfície MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho)
TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada Unidade de pressão do manômetro *3)
M 10 μin. (0,25 μm) padrão
V 7 μin. (0,18 μm) Código Unidade
Portas do manômetro (Saídac)
X 5 μin. (0,13 μm) Sem código psig/bar
Conexões ou manômetro *2) MPA MPa
Configuração de via Código
Unidade psig/bar Unidade MPa *3) Unidade de pressão do
c Sem código Sem porta do manômetro manômetro MPa ou psig/bar
0 Sem Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) selecionável. Embora somente
b a b a FV4 manômetro Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) MPa esteja disponível no
V3 -30pol.Hg a 30psig -0,1 a 0,2 MPa Japão, sob a regulamentação
Com
japonesa.
2PW 3PW L manôme -30pol.Hg a 60psig -0,1 a 0,4 MPa
1 tro -30pol.Hg a 100psig -0,1 a 0,7 MPa
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Saída)
*2) Consulte a guia do manômetro (Pág. 1058) para saber as especificações do manômetro.
Especificações
Parâmetros de operação SL5201wwA SL5201 SL5202 SL5206 SL5210
Pressão de distribuição 100 mm Hg absoluto a 10 psig 0,5 a 10 psig 0,5 a 30 psig 1 a 60 psig (0,007 1 a 100 psig
(-88 kPa a 0,07 MPa) (0,0034 a 0,07 MPa) (0,0034 a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,007 a 0,7 MPa)
Temperatura ambiente e de operação -40 a 71 °C (sem congelamento) *1)
Cv 0,07
-10

Acabamento da superfície Ra máx. 10 μin. (0,25 μm) Opcional: 7 μin. (0,18 μm), 5 μin. (0,13 μm)
Instalação Montagem na base
Volume interno 0,19pol.3 (3,1 cm3)
Peso 0,45 kg *3)
*1) -10 a 90 °C para assento de poliimida. *3) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo
*2) Testado com pressão na entrada de gás hélio de 100 psig (0,7 MPa). com as conexões ou opcionais.
Opcional
Alta vazão
Opcional Outros parâmetros SL5201wwA SL5201 SL5202 SL5206 SL5210
Cv 0,15
HF
994
Regulador compacto de estágio único para pureza ultra-alta Série SL5200
Diafragma 316L SS
Dimensões polegada (mm) Características de vazão

SL5200 Pressão na entrada: 100 psig (0,69 MPa) entrada
ø0,97 SL5210HF 50 psig (0,34 MPa) entrada
(ø24,6) 70 0,48

60 0,41
ø1,18 (ø30,0)

50 0,34
Máx. 3,95 (100,3)
40 0,28
30 0,21
0,44 (11,2)
ø1,42 (ø36,1)
20 0,14
10 0,07
ø1,25 0 0,00
(ø31,8) 0 20 40 60 80 100 120 140
A
Profundidade UNF 2 x 10-32 0,25 (6,3) SL5210 30 psig (0,21 MPa)
(Furo de montagem) 40 0,28
35 0,24

45°
30 0,21
1, ,4)
(2
0
5
25 0,17
20 0,14
A
Conexões
polegada (mm) 15 0,10
FV4
2,78 (70,6) 10 0,07
MV4
TW4 2,12 (53,8)
5 0,03
FV6
3,86 (98,0)
MV6 0 0,00
TW6 2,65 (67,3) 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50
Pressão na entrada: 2 psig (14 kPa)

SL5201A Opção de alta vazão Padrão
760 0 AP
700 -8
Pressão de distribuição (Hg abs)
SL
600 -21
500 -35
AZ
400 -48 AK
300 -61 BP
200 -75
100 -88
0 -101
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
995
pureza ultra-alta
Série SL5500
Como pedir
Número da via
a b c d

1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) Opção de tampa
Subatmosférico (A): 100 mm Código Conexões
02 Código Tampa
Hg absoluto para 30 psig (-88 FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea)
Sem código Padrão
kPa a 0,2 MPa) MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho)
*5) Furo da montagem em
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) painel: dia. 1,56 polegada
MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) (39,6 mm).
Material TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada
Código Corpo Assento Diafragma
Material do assento
S 316L SS de 316L SS 316L SS Porta do manômetro (Entradac, Saídad) Código Material
refundição Liga de Liga de
SH secundária Manômetro *2) Sem código PCTFE
Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Código
Unidade psig/bar Unidade MPa (Padrão)
Acabamento da superfície Sem código Sem porta do manômetro VS Poliimida *4)
Código Ra máx. de acabamento da superfície Opções de faixa *1) 0 Sem manômetro (conexões: vedação *4) Não disponível com
M 10 μin. (0,25 μm) padrão Código Especificação de face de 1/4 de polegada macho) material SH.
V 7 μin. (0,18 μm) Sem código Padrão V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa
X 5 μin. (0,13 μm) A Subatmosférico L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa Unidade de pressão do manômetro *3)
*1) Somente disponível com 1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa Código Unidade
H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa
Configuração de via SL5502. Sem código psig/bar
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa MPA MPa
d Vias 4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa *3) Unidade de pressão do
Código Vias 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa manômetro MPa ou
b a b a 2PW 2 vias 40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa psig/bar selecionável.
3PW 3 vias *2) Consulte a guia do manômetro (Pág. 1058) Embora somente MPa
2PW 3PW 4PW 4 vias para saber as especificações do manômetro. esteja disponível no
Japão, sob a
d c Número do pedido de modelo regulamentação
aEntrada Via a b c d japonesa.
b a bSaída SL5502S 2PW FV4 FV4
cPorta do manômetro (Entrada) 3PW FV4 FV4 0
4PW 3PW FV4 FV4 1 MPA
dPorta do manômetro (Saída) 4PW FV4 FV4 40 1 MPA
Especificações
Parâmetros de operação SL5502wwA SL5502 SL5506 SL5510
Pressão de distribuição 100 mm Hg absoluto para 30 1 a 30 psig (0,007 1 a 60 psig (0,007 2 a 100 psig
psig (-88 kPa a 0,2 MPa) a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa)
Cv 0,09
Peso 1,63 kg *5)
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.000 psig (7 MPa). com as conexões ou os opcionais.
996
Série SL5500
Baixa vazão
SL5500 ø2,12 (ø53,8)
Máx. 5,6 (142,2)

ø1,5 (ø38,1)
ø2,25 (ø57,2)
SAÍDA ENTRADA
(17,5)
0,69
ø2,00 (ø50,8)
A
0,88 (22,4)
A
Conexões
3,70 (94,0)
MV4
TW4 2,96 (75,2)
FV6
4,70 (119,4)
MV6
TW6 2,96 (75,2)
SL5500 Pressão na entrada: 80 psig (0,55 MPa) 50 psig (0,34 MPa) SL5500 Pressão na entrada: 1.000 a 3.000 psig (6,9 a 20,7 MPa) 500 psig (3,4 MPa)
30 0,21 60 0,41
25 0,17 50 0,34
20 0,14 40 0,28 AP
15 0,10 30 0,21 SL
10 0,07 20 0,14 AZ
5 0,03 10 0,07 AK
0 0,00 0 0,00 BP
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 0 20 40 60 80 100 120
997
pureza ultra-alta
Série SL5400
Como pedir
Número da via
a b c d

06 1 a 60 psig (0,007 a 0,4 MPa) Sem código Padrão
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) P Instalação do painel *4)
Material Código Conexões *4) Furo de montagem em painel:
1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
Código Corpo Assento Diafragma FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea)
S 316L SS de 316L SS MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) Material do assento
refundição Liga de 316L SS TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada
SH secundária Código Material
Ni-Cr-Mo FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea)
MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) PCTFE
Sem código (Padrão)
Acabamento da superfície TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada
VS Poliimida *3)
Código Ra máx. de acabamento da superfície FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea)
M 10 μin. (0,25 μm) padrão MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho) material SH.
V 7 μin. (0,18 μm) TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada
X 5 μin. (0,13 μm) Unidade de pressão do manômetro *2)
Código Unidade
Vias
Sem código psig/bar
Código Vias Porta do manômetro (Entradac, Saídad) MPA MPa
2PW 2 vias
*2) Unidade de pressão do manômetro
Manômetro *1)
3PW 3 vias Código MPa ou psig/bar selecionável.
4PW 4 vias Embora somente MPa esteja
Configuração de via 0 Sem manômetro (conexões: vedação
regulamentação japonesa.
d de face de 1/4 de polegada macho)
d c
V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa Número do pedido de modelo
b a b a b a L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa Via a b c d
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa SL5406S 2PW FV4 FV4
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa 3PW FV4 FV4 0
2PW 3PW 4PW 4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa 3PW FV4 FV4 L MPA
10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa 4PW FV4 FV4 10 L MPA
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) *1) Outra faixa disponível. Consulte o guia do manômetro (P.1058).
dPorta do manômetro (Saída)
Especificações
Parâmetros de operação SL5402 SL5406 SL5410

Pressão de distribuição 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) 1 a 60 psig (0,007 a 0,4 MPa) 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa)
Cv 0,23
Peso 1,91 kg *4)
*1) -10 a 90 °C para assento de poliimida. *4) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar dependendo das
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1000 psig (7 MPa). conexões ou dos opcionais.
*3) Na opção de montagem em painel, a porta da tampa não é roscada.
998
Série SL5400
Vazão intermediária
Diafragma 316L SS
Bico 316L SS
SL5400 ø2,12 (ø53,8)
Máx. 5,9 (149,9)

ø1,5 (ø38,1)
ø2,5 (ø63,5)
SAÍDA ENTRADA
(17,5)
0,69
ø2,5 (ø63,5)
A A
Conexões
polegada (mm)
FV4 0,88 (22,4)
4,30 (109,2)
MV4
TW4 3,46 (87,9) Profundidade UNF 2 x 10-32 0,3 (7,6)
5,22 (132,6)
MV6
TW6 4,00 (101,6)
FV8
5,22 (132,6)
MV8
TW8 4,34 (110,2)
SL5400 Pressão na entrada: 80 psig (0,55 MPa) 50 psig (0,34 MPa) SL5400 Pressão na entrada: 1000 psig (6,9 MPa) 500 psig (3,4 MPa)
30 0,21 60 0,41
25 0,17 50 0,34
AP
20 0,14 40 0,28
SL
15 0,10 30 0,21
AZ
10 0,07 20 0,14
AK
5 0,03 10 0,07
BP
0 0,00 0 0,00
0 4 8 12 16 20 24 28 32 0 20 40 60 80 100 120
999
pureza ultra-alta
Série SL5800
V Pressão na entrada: Máx. 300 psig (2,1 MPa)
Como pedir
Número da via
a b c d

06 1 a 60 psig (0,007 a 0,4 MPa) Conexões (Entradaa, Saídab) Sem código Padrão
Código Conexões
FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) *3) Furo de montagem em painel:
Material dia. 1,56 polegada (39,6 mm).
Código Corpo Assento Diafragma MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho)
TW4 Solda de tubo de 1/4 de polegada Material do assento
316L SS de
S FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea)
refundição secundária 316L SS 316L SS Código Material
MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho)
Acabamento da superfície TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada Sem código PCTFE
(Padrão)
Código Ra máx. de acabamento da superfície FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea) VS Poliimida
M 10 μin. (0,25 μm) padrão MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho)
V 7 μin. (0,18 μm) TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada Unidade de pressão do manômetro *2)
X 5 μin. (0,13 μm) Código Unidade
Vias
MPA MPa
Código Vias
Porta do manômetro (Entradac, Saídad) *2) Unidade de pressão do manômetro
2PW 2 vias MPa ou psig/bar selecionável.
3PW 3 vias Manômetro *1)
Código Embora seja sob regulamentação
4PW 4 vias Unidade psig/bar Unidade MPa japonesa, somente MPa está
Sem código Sem porta do manômetro disponível no Japão.
Configuração de via Sem manômetro (conexões: vedação
0 de face de 1/4 de polegada macho)
d d c V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa
b a b a b a L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa Via a b c d
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa SL5802S 2PW FV4 FV4
H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa 3PW FV4 FV4 0
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa 3PW FV4 FV4 V3 MPA
2PW 3PW 4PW 4PW FV4 FV4 1 V3 MPA
4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) *1) Outra faixa disponível. Consulte o guia do manômetro (P.1058).
Especificações
Parâmetros de operação SL5802 SL5806 SL5810

Pressão de distribuição 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) 1 a 60 psig (0,007 a 0,4 MPa) 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa)
Pressão de teste (Entrada) 2.000 psig (13,8 MPa)
Cv 0,4
vazamento Vazamento externo 2 x10-10 Pa·m3/s *2)
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 5 psig (0,035 MPa) na pressão de distribuição para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda de pressão da fonte
Peso 1,91 kg *5)
*2) Testado com pressão na entrada de gás hélio de 300 psig (2,1 MPa). *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 100 psig (0,7 MPa). com as conexões ou os opcionais.
1000
Série SL5800
Vazão intermediária
Peças molhadas S
Assento 316L SS
Diafragma 316L SS
Bico 316L SS
Assento PCTFE (Opção: poliimida)
SL5800 ø2,12 (ø53,8)
Máx. 5,9 (149,9)

ø1,5 (ø38,1)
ø2,5 (ø63,5)
SAÍDA ENTRADA
(17,5)
0,69
ø2,5 (ø63,5)
A A
Conexões
polegada (mm)
0,88 (22,4)
FV4
4,30 (109,2)
MV4
TW4 3,46 (87,9) Profundidade UNF 2 x 10-32 0,3 (7,6)
5,22 (132,6)
MV6
TW6 4,00 (101,6)
FV8
5,22 (132,6)
MV8
TW8 4,34 (110,2)
Pressão na entrada: 30 psig (0,21 MPa) Pressão na entrada: 100 psig (0,69 MPa)
SL5800 Conexões de 1/2 polegada *) SL5800 Conexões de 1/2 polegada *)
35 0,24 30 0,21
30 0,21
25 0,17
AP
25 0,17
20 0,14 SL
20 0,14
15 0,10 AZ
15 0,10
10 0,07
10 0,07 AK
5 0,03 5 0,03 BP
0 0,00 0 0,00
0 20 40 60 80 100 0 40 80 120 160 200 240 280 320
1001
Série AZ1000
HF (opcional): até 120 slpm

Como pedir
Número da via
a b c d
AZ10 01 S 2PW FV4 FV4

FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) Sem código Padrão
FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) BP Porta da tampa (NPT de 1/8 de polegada)
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) *6) Furo de montagem em painel:
Material TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada 1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
Opcional
S 316L SS 316L SS Porta do manômetro (Entradac, Saídad)
316L SS 316L SS Código Especificação
Liga de Liga de
SHP Manômetro *1) Sem código Padrão (Cv: 0,09)
Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Código
Unidade psig/bar Unidade MPa HF Alta vazão (Cv: 0,15)
Acabamento da superfície Sem código Sem porta do manômetro
Código Ra de acabamento da superfície Material do assento
Sem manômetro (conexões: vedação
Sem código 10 μin. (0,25 μm) padrão 0 de face de 1/4 de polegada macho) Código Material
Q 25 min. (0,62 μm) V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa Sem código PCTFE (Padrão)
Vias L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa VS Poliimida *3)
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa TF PTFE *4) *5)
Código Vias
H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa *3) Não disponível com material SHP.
2PW 2 vias *4) PTFE recomendado para aplicações
3PW 3 vias 2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa
tais como as dentro de uma
4PW 4 vias 4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa ferramenta de processo.
Configuração de via 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa *5) Índice de pressão da fonte limitado a
40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa 300 psig (2,1 MPa) ou menos.
d d c *1) Consulte as especificações do manômetro no guia Unidade de pressão do manômetro *2)
do manômetro (P.1058).
b a b a b a Código Unidade
Número do pedido de modelo Sem código psig/bar
Via a b c d MPA MPa
2PW 3PW 4PW AZ1001S 2PW FV4 FV4 *2) Unidade de pressão do manômetro MPa
3PW FV4 FV4 V3 MPA ou psig/bar selecionável. Embora
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) 4PW FV4 FV4 1 V3 MPA somente MPa esteja disponível no
dPorta do manômetro (Saída) Japão, sob a regulamentação japonesa.
Especificações
Parâmetros de operação AZ1001 AZ1002 AZ1006 AZ1010 AZ1015

Pressão de distribuição 1 a 10 psig (0,007 1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig
Vácuo a 300 psig Vácuo a 3.500 psig (24,1 MPa) *1)
Pressão da fonte
(2,1 MPa)
Cv 0,09
Acabamento da superfície Ra 10 μin. (0,25 μm) Opção: 25 μin. (0,62 μm)
Peso 1,25 kg *5)
*1) Máx. 300 psig (2,1 MPa) para assento de PTFE. *4) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1000 psig (7 MPa).
*2) -10 a 90 °C para assento de poliimida. *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). com as conexões ou os opcionais.
1002
Série AZ1000
Opcional
Alta vazão
Opcional Outros parâmetros AZ1001 AZ1002 AZ1006 AZ1010 AZ1015
Cv 0,15
HF

Peças molhadas S SHP AZ1000HF 30 psig (0,21 MPa)
Corpo 316L SS
75 0,52
70 0,48
65 0,45

60 0,41
Bico 316L SS 55 0,38
Assento PCTFE (Opção: poliimida, PTFE) PCTFE (Opção: PTFE) 50 0,34
45 0,31
40 0,28
Dimensões polegada (mm) 35 0,24
30 0,21
AZ1000 25
20
0,17
0,14
ø2,12 (ø53,8) 15 0,10
10 0,07
5 0,03
Máx. 5,6 (142,2) (Ao selecionar a opção
0 0,00
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

AZ1000
Máx. 5,0 (127,0)
com o código P)
40 psig (0,28 MPa) 20 psig (0,14 MPa)

ø1,5 (ø38,1)
50 0,34

ø2,25 (ø57,2)
40 0,28
30 0,21
(17,5)
0,69
20 0,14
ø2,00 (ø50,8)
A 10 0,07
0,88 (22,4) 0 0,00

0 20 40 60 80
(Furo de montagem)
AP
SL
A
Conexões
polegada (mm)
AZ
FV4
MV4
3,70 (94,0) AK
FV6
4,70 (119,4)
MV6 BP
TW6 2,96 (75,2)
1003
Série AZ1500
Como pedir
Número da via
a b c d

10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) Conexões (Entradaa, Saídab)
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) Código Conexões BP Porta da tampa (NPT
FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea) de 1/8 de polegada)
Material MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) *4) Furo de montagem em
Código Corpo Assento Diafragma Bico FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) painel: 1,56 pol. (39,6 mm)
S 316L SS 316L SS MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) de diâm.
316L SS Liga de Liga de 316L SS TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada Material do assento
SHP
Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Código Material
Acabamento da superfície VS Poliimida *3)
Código Ra de acabamento da superfície *3) Não disponível com material
Sem código 10 μin. (0,25 μm) padrão SHP.
Q 25 μin. (0,62 μm) Unidade de pressão do manômetro *2)
Vias Código Unidade
Manômetro *1)
Código Vias Código
2PW 2 vias MPA MPa
Sem código Sem porta do manômetro *2) Unidade de pressão do manômetro
3PW 3 vias Sem manômetro (conexões: vedação MPa ou psig/bar selecionável.
4PW 4 vias 0 de face de 1/4 de polegada macho) Embora somente MPa esteja
Configuração de via V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa disponível no Japão, sob a
L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa regulamentação japonesa.
d d c
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa Número do pedido de modelo
b a b a b a H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa Viaa b cd
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa AZ1510S 2PW FV4 FV4
4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa 3PW FV4 FV4 0
2PW 3PW 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa 3PW FV4 FV4 1 MPA
4PW
40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa 4PW FV4 FV4 40 1 MPA
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) *1) Consulte as especificações do manômetro no guia do manômetro (P.1058).
Especificações
Parâmetros de operação AZ1502 AZ1506 AZ1510 AZ1515

1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig
Pressão de distribuição a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa) (0,034 a 1,0 MPa)
Cv 0,09
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 0,41 psig (0,0028 MPa) na pressão de distribuição para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda da pressão de fonte
Peso 1,27 kg *4)
*1) -10 a 90 °C para assento de poliimida. *4) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar dependendo
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa). das conexões ou dos opcionais.
*3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.000 psig (7 MPa).
1004
Série AZ1500
Peças molhadas S SHP

Corpo 316L SS
Bico 316L SS
AZ1500 ø2,12 (ø53,8)

Máx. 5,0 (127,0)
com código P)
ø1,5 (ø38,1)
ø2,25 (ø57,2)
(17,5)
0,69
ø2,00 (ø50,8)
A
A 0,88 (22,4)
Conexões
3,70 (94,0)
MV4
FV6
4,70 (119,4)
MV6
TW6 2,96 (75,2)
Pressão na entrada: 2.000 a 3.000 psig (13,8 a 20,7 MPa) 1000 psig (6,9 MPa) Pressão na entrada: 100 psig (0,69 MPa) 80 psig (0,55 MPa)
AZ1500 500 psgi (3,4 MPa) 200 psig (1,4 MPa) AZ1500 40 psig (0,28 MPa) 20 psig (0,14 MPa)
100 0,69 50 0,34
90 0,62
Pressão de distribuição (slpm)

80 0,55 40 0,28
70 0,48 AP
60 0,41 30 0,21
50 0,34
SL
40 0,28 20 0,14
AZ
30 0,21
20 0,14 10 0,07 AK
10 0,07
0 0,00 0 0,00
BP
0 100 200 300 400 0 20 40 60 80
1005
Série AZ1400T
V Para distribuição de gás UHP V Opção de distribuição de
V Padrão de pressão alta na entrada: Máx. 2300 psig (15,9 MPa) pressão subatmosférica
HR (opcional): Máx. 3000 psig (20,7 MPa) V Projeto do diafragma
V Capacidade de vazão a 400 slpm prensado
V Padrão de peças internas de liga de Ni-Cr-Mo
Como pedir
Número da via
a b c d
AZ14 02 T S 2PW FV4 FV4

1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) Código Conexões
Opção de tampa
02 Subatmosférico (A): 100 mm Hg absoluto FV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Fêmea)
Código Tampa
para 30 psig (-88 kPa a 0,2 MPa) MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho)
Sem código Padrão
P Instalação do painel*5)
BP Porta da tampa (1/8 de
polegada)
FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea)
Material *5) Furo da montagem em painel:
MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho) dia. 1,56 polegada (39,6 mm).
Código Corpo Assento Diafragma TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada
Liga de Liga de Opcional
S Porta do manômetro (Entradac, Saídad)
316L SS Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo
Código Especificação
Acabamento da superfície Manômetro *2)
Código Sem código Padrão
Código Ra de acabamento da superfície Opções de faixa *1) Unidade psig/bar Unidade MPa
Sem código 10 μin. (0,25 μm) padrão Código Especificação Sem código Sem porta do manômetro
HR (Pressão máxima na entrada
Q 25 μin. (0,62 μm) Sem código Padrão 0 Sem manômetro (conexões: vedação de 3.000 psig (20,7 MPa)) *4)
A Subatmosférico de face de 1/4 de polegada macho)
*1) Somente disponível com AZ1402T. V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa AZ1402T e AZ1406T.
Configuração de via Vias L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa
Código Vias 1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa Material do assento
d
2PW 2 vias H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa Código Material
b a b a 3PW 3 vias 2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa Sem códigoPCTFE (Padrão)
4PW 4 vias 4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa VS Poliimida
10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa
2PW 3PW 40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa Unidade de pressão do manômetro *3)
*2) Consulte a guia do manômetro (Pág. 1058) Unidade
d c para saber as especificações do manômetro. Código
b a a ENTRADA Número do pedido de modelo MPA MPa
bSAÍDA Via a b c d
*3) Unidade de pressão do manômetro
AZ1402TS 2PW FV4 FV4
cPorta do manômetro (Entrada) 3PW FV4 FV4 0
MPa ou psig/bar selecionável.
4PW dPorta do manômetro (Saída) 3PW FV4 FV4 1 MPA
Embora somente MPa esteja
4PW FV4 FV4 40 1 MPA
Especificações regulamentação japonesa.
Parâmetros de operação AZ1402TwwA AZ1402T AZ1406T AZ1410T AZ1415T

Pressão de distribuição 100 mm Hg absoluto para 30 1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) (Pressão
psig (-88 kPa a 0,2 MPa) a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa) de fonte de 1000 psig ou menos) *1)
Pressão da fonte Vácuo a 300 psig (2,1 MPa) Vácuo a 2300 psig (15,9 MPa)
Cv 0,45
Conexão Vedação da face, Solda do tubo
Peso 2,04 kg *5)
*1) Pressão da fonte acima de 1.000 psig (6,9 MPa) diminui a pressão máxima de *3) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1.500 psig (10,5 MPa).
distribuição para menos de 150 psig (1 MPa) devido ao efeito da pressão de *4) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1000 psig (7 MPa).
alimentação. Quando a pressão de fonte é de 2.300 psig (15,9 MPa), a pressão *5) O peso, incluindo o peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as
de distribuição alcançável é de aproximadamente 129 psig (0,89 MPa). conexões ou os opcionais.
1006
Série AZ1400T
Vazão intermediária (diafragma prensado)
Opcional
Opcional Outros parâmetros AZ1410T AZ1415T
Peças molhadas S
AZ1400T Pressão na entrada: 80 psig (0,55 MPa) 60 psig (0,41 MPa)
Corpo 316L SS 50 0,34
Assento Liga de Ni-Cr-Mo

Diafragma Liga de Ni-Cr-Mo 40 0,28
Bico 316L SS
Assento PCTFE (Opção: poliimida)
30 0,21

20 0,14
AZ1400T ø2,12 (ø53,8)
10 0,07
Máx. 6,0 (152,4) (Ao selecionar a opção com o
0 0,00
0 40 80 120 160 200
ø1,5 (ø38,1) Pressão na entrada: 2.000 psig (13,8 MPa) 600 psig (4,1 MPa)
AZ1400T
código A, P ou HR)
200 psig (1,4 MPa)

Máx. 5,6 (142,2)
80 0,55
70 0,48

ø2,62 (ø66,5) 60 0,41
50 0,34
40 0,27
30 0,21
(17,5)
0,69
20 0,14
ø2,5 (ø63,5)
10 0,07
A 0 0,00
0,88 (22,4) 0 100 200 300 400 500 600 700 800
Profundidade UNF 2 x 10-32 0,25 (6,3)

AZ1402TA Pressão na entrada: 2 psig (14 kPa)
(Furo de montagem)
760 0
700 -8
Pressão de distribuição (mm Hg)
AP
600 -21
500 -35 SL
400 -48
Conexões
A AZ
polegada (mm) 300 -61
FV4
4,30 (109,2) AK
MV4 200 -75
FV6
MV6
5,22 (132,6) BP
100 -88
TW6 4,00 (101,6)
FV8 0 -101
5,22 (132,6) 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
MV8
TW8 4,34 (110,2)
1007
pureza ultra-alta
Série AZ1300
V Capacidade de vazão a 1.000 slpm
Como pedir
Número da via
a b c d

Código Conexões
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) P Instalação do painel*4)
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) BP Porta da tampa (NPT
Material MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) de 1/8 de polegada)
Código Corpo Assento Diafragma TW6 Solda de tubo de 3/8 de polegada *4) Furo de montagem em painel:
1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
Liga de FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea)
S
316L SS 316L SS Ni-Cr-Mo MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho) Material do assento
Acabamento da superfície TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada
Código Material
Código Ra de acabamento da superfície Vias Sem código PCTFE (Padrão)
Sem código 10 μin. (0,25 μm) padrão Código Vias Porta do manômetro (Entradac, Saídad) TF PTFE *3)
Q 25 μin. (0,62 μm) 2PW 2 vias *3) PTFE recomendado para
Manômetro *1)
3PW 3 vias Código aplicações como as de uma
Configuração de via 4PW 4 vias
ferramenta de processo.
d Sem manômetro (conexões: vedação

0 de face de 1/4 de polegada macho) Unidade de pressão do manômetro *2)
b a b a V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa Código Unidade
L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa Sem código psig/bar
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa MPA MPa
H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa *2) Unidade de pressão do manômetro
2PW 3PW MPa ou psig/bar selecionável.
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa
Embora somente MPa esteja
d c 4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa
*1) Consulte as especificações do manômetro no regulamentação japonesa.
b a guia do manômetro (P.1058).

4PW Via a b c d
AZ1302S 2PW FV8 FV8
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) 3PW FV8 FV8 0
dPorta do manômetro (Saída) 3PW FV8 FV8 V3 MPA
4PW FV8 FV8 H V3 MPA
Especificações

1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig
Pressão de ruptura 1.200 psig (8,3 MPa)
Temperatura ambiente e de operação -40 a 71 °C (sem congelamento)
Cv 1,1
Vazamento entre o assento 4 x 10-9 Pa·m3/s
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 4,6 psig (0,031 MPa) na distribuição da pressão para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda de pressão da fonte
Peso 2,0 kg *2)
*2) O peso, incluindo peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as conexões ou os opcionais.
1008
Série AZ1300
Alta vazão
Peças molhadas S
Corpo 316L SS
Bico 316L SS
Assento 316L SS
Diafragma Liga de Ni-Cr-Mo
AZ1300 ø2,12 (ø53,8)
Máx. 6,0 (152,4) (Ao selecionar a opção com o

Máx. 5,6 (142,2)
código P)
ø1,5 (ø38,1)
ø2,62 (ø66,5)
(17,5)
0,69
ø2,5 (ø63,5)
A A
Conexões
polegada (mm) 0,88 (22,4)
FV4
4,30 (109,2)
MV4 Profundidade UNF 2 x 10-32 0,25 (6,3)
5,22 (132,6)
MV6
TW6 4,00 (101,6)
FV8
5,22 (132,6)
MV8
TW8 4,34 (110,2)
Pressão na entrada: 150 psig (1,0 MPa) 100 psig (0,69 MPa) Pressão na entrada: 75 psig (0,52 MPa) 50 psig (0,34 MPa)
AZ1300 75 psig (0,52 MPa) AZ1300 25 MPa (0,17MPa)
140 0,97 40 0,28
120 0,83 35 0,24


100 0,69
30 0,21 AP
25 0,17
80 0,55 SL
20 0,14
60 0,41 AZ
15 0,10
40 0,28
10 0,07 AK
20 0,14 5 0,03 BP
0 0,00 0 0,00
0 200 400 600 800 1000 1200 0 100 200 300 400 500 600 700
1009
Série AZ1200
V Para distribuição de gás UHP V Material do corpo: 316L SS
V Pressão alta padrão na entrada: Máx. 1.700 psig (11,7 MPa) V Partes internas de liga de
HR (opcional): Máx. 3000 psig (20,7 MPa) Ni-Cr-Mo disponíveis para
V Capacidade de vazão padrão a 800 slpm resistência contra
HF (opcional): até 1000 slpm corrosão
FC (opcional): até 1500 slpm
Como pedir
Número da via
a b c d

02 1 a 30 psig (0,007 a 0,2 MPa) Código Conexões Código Tampa
10 2 a 100 psig (0,014 a 0,7 MPa) MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) P Instalação do painel*6)
15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) FV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Fêmea) BP Porta da tampa (NPT de
25 Predefinido a 250 psig (1,7 MPa (Predefinido)) MV6 Vedação de face de 3/8 de polegada (Macho) 1/8 de polegada)
Material
FV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Fêmea) 1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
Código Corpo Assento Diafragma
MV8 Vedação de face de 1/2 polegada (Macho) Opcional
S 316L SS Liga de TW8 Solda de tubo de 1/2 polegada
SHP 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo Código Especificação
Sem código Padrão (Cv: 0,65)
Acabamento da superfície Porta do manômetro (Entradac, Saídad) HF Alta vazão (Cv: 1,1)
Código Ra de acabamento da superfície Vias
Manômetro *1) FC Compensação da força
Sem código 10 μin. (0,25 μm) padrão Código Vias Código (Cv: 0,65) *4)*5)
Q 25 μin. (0,62 μm) 2PW 2 vias
Sem código Sem porta do manômetro Pressão alta na entrada
3PW 3 vias HR (Pressão máxima na entrada
0 Sem manômetro (conexões: vedação
4PW 4 vias de face de 1/4 de polegada macho) de 3.000 psig (20,7 MPa)) *4)
Configuração de via V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa *4) As opções FC e HR não estão disponíveis
L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa para AZ1202, AZ1206 e AZ1225.
d *5) A opção FC está disponível com vedação
1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa
de face de 1/2 polegada ou solda de tubo
b a b a H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa de 1/2 polegada.
2 0 a 200 psig 0 a 1,4 MPa Material do assento
4 0 a 400 psig 0 a 3 MPa
Código Material
2PW 3PW 10 0 a 1000 psig 0 a 7 MPa
40 0 a 4000 psig 0 a 28 MPa
VS Poliimida *3)
d c *1) Consulte as especificações do manômetro no
guia do manômetro (P.1058). *3) Não disponível com material SHP.
b a
Número do pedido de modelo Unidade
Código
Via a b c d
4PW AZ1210S 2PW FV8 FV8
3PW FV8 FV8 0 MPA MPa
aEntrada bSaída cPorta do manômetro 3PW FV8 FV8 1 MPA *2) Unidade de pressão do manômetro MPa ou
(Entrada) dPorta do manômetro (Saída) 4PW FV8 FV8 40 1 MPA psig/bar selecionável. Embora somente
MPa esteja disponível no Japão, sob a
Especificações regulamentação japonesa.
Parâmetros de operação AZ1202 AZ1206 AZ1210 AZ1215 *1) Pressão da fonte acima de 1.000 psig (6,9
AZ1225
1 a 30 psig (0,007 2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig MPa) diminui a pressão máxima de
5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) (pressão Predefinida em 250
Pressão de distribuição distribuição para menos de 150 psig (1
a 0,2 MPa) a 0,4 MPa) (0,014 a 0,7 MPa) da fonte de 1.000 psig ou menos) *1) psig (1,7 MPa) *2)
MPa) devido ao efeito da pressão de
alimentação. Quando a pressão da fonte
Pressão da fonte Vácuo a 1700 psig (11,7 MPa) for de 1.700 psig (11,7 MPa), a pressão de
distribuição possível será de
Pressão de teste (Entrada) 2550 psig (17,6 MPa) aproximadamente 125 psig (0,86 MPa) (as
Pressão de ruptura 8000 psig (55,2 MPa) opções HF e FC de 120 psig (0,83 MPa)).
Temperatura ambiente e de operação -40 a 71 °C (sem congelamento) *3) *2) Pressão predefinida na saída de 250 psig a
Cv 0,65 800 psig (5,5 MPa) de pressão na entrada.
Taxa de Vazamento interno 2 x 10-11 Pa·m3/s Configurações personalizadas de pressão
vazamento Vazamento externo 2 x 10 Pa·m /s
-10 3 *4) de entrada/saída disponíveis. Entre em
Vazamento entre o assento 4 x 10-9 Pa·m3/s *5) contato com a SMC.
*4) Testado com pressão na entrada de gás
hélio de 1500 psig (10,5 MPa).
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 3,5 psig (0,024 MPa) na pressão de distribuição para cada 100 psig (0,7 MPa) *5) Testado com pressão na entrada de gás
de queda de pressão da fonte hélio de 1000 psig (7 MPa).
Instalação Montagem na base (Opção: montagem em painel) *6) O peso, incluindo o peso da embalagem
Volume interno 1,07 pol.3 (17,6 cm3) individual, pode variar de acordo com as
Peso 2,0 kg *6) conexões ou os opcionais.
1010
Série AZ1200
Alta vazão (Diafragma prensado)
Opções Material de peças molhadas

1. Alta vazão
Capacidade de vazão mais alta somente com alterações internas, nenhuma
alteração nas dimensões externas. As mudanças no tipo padrão são: Corpo 316L SS
Opcional Outros parâmetros AZ1202 AZ1206 AZ1210 AZ1215 AZ1225 Assento 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo
Cv 1,1 Diafragma Liga de Ni-Cr-Mo
HF Efeito da pressão Aumento de 4,2 psig (0,029 MPa) na pressão de distribuição Bico 316L SS
de alimentação para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda na pressão de origem Assento PCTFE (Opção: poliimida) PCTFE
2. Compensação da força Características de vazão

Recurso de compensação da força adicionado à opção HF com uma
capacidade de fluxo mais ampla que a opção HF. Pressão na entrada: 80 psig (0,55 MPa) 60 psig (0,41 MPa)
As mudanças no tipo padrão são: AZ1200 Conexões de 1/2 polegada *)
Opcional Outros parâmetros AZ1210 AZ1215 50 0,34

Cv 0,65 40 0,28
FC Efeito da pressão Aumento de 4,2 psig (0,029 MPa) na pressão de distribuição
de alimentação para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda na pressão de origem
Conexões Solda no tubo de 1/2 polegada com vedação de face de 1/2 polegada 30 0,21
3. Pressão alta na entrada
20 0,14
Opcional Outros parâmetros AZ1210 AZ1215
Pressão da fonte Vácuo a 3000 psig (20,7 MPa) 10 0,07
0 0,00
0 100 200 300 400 500 600 700
Dimensões polegada (mm) Taxa de vazão (slpm, N2)
AZ1200 ø2,12 (ø53,8) AZ1200HF 50 psig (0,34 MPa)
120 0,83
Máx. 6,0 (152,4) (Ao selecionar a opção com o código P ou HR)
Máx. 6,5 (165,1) (Ao selecionar a opção com o código FC)
100 0,69
80 0,55
ø1,5 (ø38,1)
Máx. 5,6 (142,2)
60 0,41
40 0,28
ø2,62 (ø66,5) 20 0,14
0 0,00
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
Pressão na entrada: 150 psig (1,0 MPa)
AZ1200FC Conexões de 3/4 de polegada *)
0,69 (17,5)
ø2,5 (ø63,5) 90 0,62

A AP
80 0,55
0,88 (22,4)
70 0,48 SL
A
Conexões 60 0,41
polegada (mm) Profundidade UNF 2 x 10-32 0,25 (6,3) AZ
FV4 (Furo de montagem) 50 0,34
4,30 (109,2)
MV4
FV6 40 0,28 AK
5,22 (132,6)
MV6 30 0,21
TW6 4,00 (101,6) BP
FV8 20 0,14
5,22 (132,6)
MV8 10 0,07
TW8 4,34 (110,2)
0 0,00
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
1011
Série AZ9200
V Capacidade de vazão a 2.000 slpm
Como pedir
Número da via
a b c
AZ92 02 S 2PW FV12 FV12

15 5 a 150 psig (0,034 a 1,0 MPa) BP Porta da tampa (NPT de
1/8 de polegada)
Material
*3) Furo de montagem em painel: dia.
Código Corpo Assento Diafragma 39,6 mm.
S 316L SS 316L SS Liga de Ni-Cr-Mo
Vias Unidade de pressão do manômetro *2)
Código Vias Código Unidade
2PW 2 vias Sem código psig/bar
3PW 3 vias MPA MPa
Configuração de via *2) Unidade de pressão do manômetro MPa
ou psig/bar selecionável. Embora
c somente MPa esteja disponível no
Japão, sob a regulamentação japonesa.
b a b a
Porta do manômetro *1) (Saídac)
2PW 3PW Manômetro de pressão
Código
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Saída) Sem código Sem porta do manômetro
0 Sem manômetro (conexões: vedação
Conexões (Entradaa, Saídab) de face de 1/4 de polegada macho)
Código Conexões V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa
FV12 Vedação de face de 3/4 de polegada (Fêmea) L -30 pol.Hg a 60 psig -0,1 a 0,4 MPa
MV12 Vedação de face de 3/4 de polegada (Macho) 1 -30 pol.Hg a 100 psig -0,1 a 0,7 MPa
TW12 Solda de tubo de 3/4 de polegada H -30 pol.Hg a 160 psig -0,1 a 1,1 MPa
FV16 Vedação de face de 1 polegada (Fêmea) *1) Outra faixa disponível. Consulte o guia do manômetro
MV16 Vedação de face de 1 polegada (Macho) (P.1058).
TW16 Solda do tubo de 1 polegada
Especificações

1 a 30 psig (0,007
2 a 60 psig (0,014 2 a 100 psig 5 a 150 psig
Pressão de ruptura 1.500 psig (10,3 MPa)
Cv 1,6
-10

Acabamento da superfície Ra 10 μin. (0,25 μm)
Efeito da pressão de alimentação Aumento de 7 psig (0,048 MPa) na pressão de distribuição para cada 100 psig (0,7 MPa) de queda de pressão da fonte
*1) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1500 psig (10,5 MPa).
*2) Testado com pressão de entrada de gás hélio de 1000 psig (7 MPa).
1012
Série AZ9200
Alta vazão (Diagrama prensado)
Peças molhadas S
Corpo 316L SS
Bico 316L SS
Assento 316L SS
Diafragma Liga de Ni-Cr-Mo
Assento PFA
AZ9200
Máx. 6,9 (175,3) (opções BP e P)

Máx. 6,4 (162,6)
ø1,5 (ø38,1)
ø2,62 (ø66,5)
(28,6)
1,125
ø2,99 (75,9)
A A
1,50 (38,1)
A Profundidade 2 x 1/4-20 UNC 0,35 (8,9)
Conexões
polegada (mm) (Furo de montagem)
FV12
3,39 (86,1)
MV12
TW12 3,00 (76,2)
FV16
3,67 (93,2)
MV16
TW16 3,00 (76,2)
AZ9200 Pressão na entrada: 150 psig (1,0 MPa) 100 psig (0,69 MPa)
120 0,83
100 0,69
80 0,55 AP
60 0,41
SL
40 0,28
AZ
AK
20 0,14
0 0,00
BP
0 500 1000 1500 2000 2500
1013
Regulador de estágio único para Distribuição de pressão
pureza ultra-alta subatmosférica
Série AZ1100
V Distribuição de pressão de subatmosférica a positiva baixa
V Capacidade de vazão a 0,5 slpm
V Partes internas de liga de Ni-Cr-Mo disponíveis para resistência
contra corrosão
Como pedir
Número da via
a b c d

Pressão de distribuição Opção de tampa
Código Pressão de distribuição Código Tampa
100 mm Hg absoluto a 10 psig Sem código Padrão
01
(-88 kPa a 0,07 MPa) P Instalação do painel *4)
BP Porta da tampa (NPT de 1/8 de polegada)
Material *4) Furo de montagem em painel:
1,56 pol. (39,6 mm) de diâm.
Código Corpo Assento Diafragma Bico Material do assento
S 316L SS 316L SS Código Material
316L SS Liga de Liga de 316L SS Sem código PCTFE (Padrão)
SHP
Ni-Cr-Mo Ni-Cr-Mo TF PTFE *3)
*3) PTFE recomendado para aplicações como as de
Acabamento da superfície
uma ferramenta de processo.
Código Ra de acabamento da superfície
Sem código 10 μin. (0,25 μm) padrão
Q 25 μin. (0,62 μm) Código Unidade
Vias
MPA MPa
Configuração de via Código Vias *2) Unidade de pressão do manômetro MPa ou psig/bar
2PW 2 vias selecionável. Embora somente MPa esteja disponível
d 3PW 3 vias no Japão, sob a regulamentação japonesa.
4PW 4 vias
b a b a Porta do manômetro (Entradac, Saídad)
Conexões (Entradaa, Saídab) Código Manômetro *1)
Código Conexões
2PW 3PW Sem código Sem porta do manômetro
Sem manômetro (conexões: vedação
d c MV4 Vedação de face de 1/4 de polegada (Macho) de face de 1/4 de polegada macho)
0
b a V3 -30 pol.Hg a 30 psig -0,1 a 0,2 MPa
*1) Outra faixa disponível. Consulte o guia do manômetro (P.1058).
4PW Número do pedido de modelo
aEntrada bSaída cPorta do manômetro (Entrada) Via a b c d
AZ1101S 2PW FV4 FV4
dPorta do manômetro (Saída) 3PW FV4 FV4 0
3PW FV4 FV4 V3 MPA
4PW FV4 FV4 V3 V3 MPA
Especificações
Parâmetros de operação AZ1101

Pressão de distribuição 100 mm Hg absoluto para 10 psig (-88 kPa a 0,07 MPa)
Cv 0,05
-10

Peso 1,25 kg *2)
*2) O peso, incluindo peso da embalagem individual, pode variar de acordo com as conexões ou os opcionais.
1014
Série AZ1100
Distribuição de pressão subatmosférica
Peças molhadas S SHP

Corpo 316L SS
Bico 316L SS
AZ1100 ø2,12 (ø53,8)

Máx. 5,0 (127,0)
com o código P)
ø1,5 (ø38,1)
ø2,25 (ø57,2)
(17,5)
0,69
ø2,00 (ø50,8)
0,88 (22,4)
A
Conexões Profundidade UNF 2 x 10-32 0,25 (6,3)
polegada (mm)
(Furo de montagem)
FV4
3,70 (94,0)
MV4
FV6
4,70 (119,4)
MV6
TW6 2,96 (75,2)
AZ1100 Pressão na entrada: 2 psig (14 kPa)
760 0
700 -8
600 -21
AP
500 -35
SL
400 -48
300 -61
AZ
200 -75 AK
100 -88 BP
0 -101
0 1 2 3
1015

AP-SL-AP-AZ Regulador Aptech PDF

Enviado por

Dados do documento

Título original

Direitos autorais

Formatos disponíveis

Compartilhar este documento

Compartilhar ou incorporar documento

Opções de compartilhamento

Você considera este documento útil?

Este conteúdo é inapropriado?

Direitos autorais:

Formatos disponíveis

AP-SL-AP-AZ Regulador Aptech PDF

Enviado por

Direitos autorais:

Formatos disponíveis

Regulador de estágio único para

V Partes internas de liga de Ni-Cr-Mo disponíveis para resistência contra corrosão

V Opção de distribuição de pressão subatmosférica

AP5 02 S 2PW FV4 FV4

Parâmetros de operação AP501wwA AP501 AP502 AP506 AP510

Material de peças molhadas Características de vazão

Pressão de distribuição (MPa)

Pressão na entrada: 75 psig (0,52 MPa) 45 psig (0,31 MPa)

Pressão de distribuição (MPa)

Profundidade UNF 2 x 10-32 0,25 (6,3) 5 0,03

Pressão de distribuição (kPa)

AP10 01 S 2PW FV4 FV4

Vazamento entre o assento 4 x 10-9 Pa·m3/s*4)

Pressão de distribuição (MPa)

Pressão de distribuição (psig)

Pressão na entrada: 100 psig (0,69 MPa) 80 psig (0,55 MPa)

Pressão de distribuição (MPa)

0,88 (22,4) 0 0,00

V Capacidade de vazão: a 30 slpm

V Material do corpo: 316L SS de refundição secundária

V Partes internas de liga de Ni-Cr-Mo disponíveis para resistência contra corrosão

V Projeto do diafragma prensado

AP15 02 S 2PW FV4 FV4

Material de peças molhadas

Peças molhadas S SHP SH H

Dimensões polegada (mm)

AP1500 ø2,12 (ø53,8)

Máx. 5,6 (142,2)

Pressão de distribuição (psig)

Pressão de distribuição (MPa)

V Capacidade de vazão a 100 slpm

V Material do corpo: 316L SS de refundição secundária

V Partes internas de liga de Ni-Cr-Mo disponíveis para resistência contra corrosão

AP16 01 S 2PW FV4 FV4

Número do pedido de modelo

Material de peças molhadas

Dimensões polegada (mm)

AP1600 ø2,12 (ø53,8)

Máx. 5,5 (139,7)

Pressão de distribuição (psig)

V Material do corpo: 316L SS de refundição secundária

V Partes internas de liga de Ni-Cr-Mo disponíveis para resistência contra corrosão

V Projeto do diafragma prensado

AP19 01 S 2PW FV4 FV4

Vazamento entre o assento 4 x 10-9 Pa·m3/s*3)

Material de peças molhadas Características de vazão

Pressão de distribuição (MPa)

Pressão na entrada: 100 psig (0,69 MPa) 80 psig (0,55 MPa)

ø1,5 (ø38,1) 60 0,41

Pressão de distribuição (MPa)

0,88 (22,4) 0 0,00

V Capacidade de vazão: até 400 slpm

V Material do corpo: 316L SS de refundição secundária

V Padrão de peças internas de liga de Ni-Cr-Mo

AP14 02 T S 2PW FV4 FV4

Parâmetros de operação AP1402T wwAAP1402T AP1406T AP1410T AP1415T

Material de peças molhadas Características de vazão

Pressão de distribuição (psig)

Pressão de distribuição (MPa)

AP1400T ø2,12 (ø53,8)

Pressão de distribuição (MPa)

ø2,62 (ø66,5) 60 0,41

V Padrão da capacidade de vazão: até 800 slpm disponíveis para resistência