Plano de Ensino

DISCIPLINA: Microeletrônica
CURSO: Engenharia de Computação
CARGA HORÁRIA: 20 horas
CÓDIGO DA DISCIPLINA: EEE001

EMENTA

Física dos semicondutores. Introdução à tecnologia CMOS (modelagem e processo). Processos de fabricação de circuitos
integrados.

OBJETIVOS DA DISCIPLINA

A disciplina tem como objetivo apresentar os principais processos de fabricação de um circuito integrado; mostrar como
funcionam os equipamentos utilizados em cada etapa do processo e os parâmetros de ajuste desses equipamentos. Ao
final da disciplina, espera-se que o aluno compreenda todas as etapas do processo de fabricação de um típico conjunto
de transistores com tecnologia CMOS.

CONTEÚDO PROGRAMÁTICO

1. Física dos semicondutores

2. Salas limpas e substratos
3. Fotolitografia
4. Oxidação e dopagem
5. Deposição e corrosão
6. Epitaxia e interconexão
7. Tecnologia CMOS
8. Prova

BIBLIOGRAFIA

Bibliografia básica
1. BOYLESTAD, R. L.; NASHELSKY, L. Dispositivos eletrônicos e teorias de circuitos. 11. ed. São Paulo: Pearson
Education do Brasil, 2013. Disponível em:
<https://plataforma.bvirtual.com.br/Leitor/Publicacao/3787/epub/0>. Acesso em: 15 abr. 2020.

2. SEDRA, A. S.; SMITH, K. C. Microeletrônica. São Paulo: Pearson, 2007.

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 3. VILELA NETO, O. P.; PACHECO, M. A. C. Nanotecnologia computacional inteligente. Rio de Janeiro:
Interciência/PUC-Rio, 2012. Disponível em:
<https://plataforma.bvirtual.com.br/Leitor/Publicacao/51825/pdf/0>. Acesso em: 15 abr. 2020.

Bibliografia complementar
1. CORREIA, J. H.; CARMO, J. P. Introdução às microtecnologias no silício. Lisboa: LIDEL, 2010. 206 p.

2. RASHID, M. H. Eletrônica de potência: dispositivos, circuitos e aplicações. 4. ed. São Paulo: Pearson Education
do Brasil, 2014. Disponível em: <https://plataforma.bvirtual.com.br/Leitor/Publicacao/10210/pdf/0>. Acesso
em: 15 abr. 2020.

3. RAZAVI, B. Fundamentos de microeletrônica. 2. ed. Rio de Janeiro: LTC, 2017. Disponível em:
<https://integrada.minhabiblioteca.com.br/#/books/9788521633600/cfi/6/2!/4/2/2@0:0>. Acesso em: 15
abr. 2020.

4. TOCCI, R. J.; WIDMER, N. S.; MOSS, G. L. Sistemas digitais: princípios e aplicações. 11. ed. São Paulo: Pearson
Prentice Hall, 2011. Disponível em: <https://plataforma.bvirtual.com.br/Leitor/Publicacao/2621/pdf/0>.
Acesso em: 15 abr. 2020.

PRÉ-REQUISITOS

Não possui.

CRITÉRIOS DE AVALIAÇÃO

A avaliação da disciplina é formativa* e somativa**. Os estudantes devem entregar as resoluções de atividades e/ou
exercícios no Ambiente Virtual de Aprendizagem semanalmente e realizar, ao final do período letivo, uma prova
presencial aplicada nos polos Univesp.

*A avaliação formativa ocorre quando há o acompanhamento dos alunos, passo a passo, nas atividades e trabalhos
desenvolvidos, de modo a verificar suas facilidades e dificuldades no processo de aprendizagem e, se necessário, adequar
alguns aspectos do curso de acordo com as necessidades identificadas.

**A avaliação somativa é geralmente aplicada no final de um curso ou período letivo. Esse tipo de avaliação busca
quantificar o que o aluno aprendeu em relação aos objetivos de aprendizagem do curso. Ou seja, a avaliação somativa
quer comprovar se a meta educacional proposta e definida foi alcançada pelo aluno.

DOCENTE RESPONSÁVEL

Prof. Dr. Antonio Carlos Seabra

Prof. Dr. Antonio Carlos Seabra

Engenheiro (1984), mestre (1989) e doutor (1997), todos pela Escola Politécnica da Universidade de São
Paulo (USP), na área de Engenharia Elétrica. Técnico Eletrônico (1979) pela Escola Técnica Lauro Gomes,
São Bernardo do Campo. É professor da Escola Politécnica da USP há mais de 20 anos, exercendo
atualmente a chefia de departamento e o cargo de professor titular em regime de dedicação integral, junto ao
Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos, ministrando disciplinas de Graduação e Pós-
Graduação. Foi coordenador do Ciclo Básico de Graduação (2 primeiros anos dos cursos de Graduação) da

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Escola Politécnica da USP nos anos de 2012-2013. É consultor ad hoc da Fundação de Amparo à Pesquisa do
Estado de São Paulo para projetos de Pesquisa Inovativa na Pequena e Média Empresa (PIPE) e do CNPq.
Coordena e participa de projetos de pesquisa e desenvolvimento nas áreas de Micro e Nanofabricação,
Nanosensores e Instrumentação Eletrônica, especialmente em monitoramento de qualidade da água. Atua
como consultor junto a empresas do setor e junto a escolas técnicas profissionalizantes. Foi presidente (2009-
2010) do Capítulo de Circuitos e Sistemas para a região Sul-Brasil do Instituto de Engenheiros Elétricos e
Eletrônicos (IEEE-CAS). Desenvolveu a parte experimental do trabalho de Doutorado no Interuniversity
Microelectronics Center (IMEC), na Bélgica entre 1991 e 1993, considerado o maior centro independente de
microeletrônica da Europa. É autor de mais de cem publicações científicas, cinco livros e duas traduções.
Coordena o grupo de pesquisa Tecnologias Avançadas de Gravação para Nano, Micro e Mesossistemas,
cadastrado no CNPq.