Universidade Federal do Espírito Santo

Programa de Pós-Graduação em Engenharia Mecânica

Métodos Ópticos de Medição de

Rugosidade Superficial
Interferometria e Confocal

João Paulo Luiz Grisotto Alves

Cherlio Scandian
Vitória - 2022
SUMÁRIO

1. Referência Base
2. Introdução
3. Revisão Estatística
4. Introdução
5. Métodos Ópticos
6. Interferometria Óptica
7. Interferômetro de Michelson
8. Interferometria de Mudança de Fase
9. Confocal de Varredura Laser
10. Referências
 REFERÊNCIA BASE

BHUSHAN, Bharat. Introduction to Tribology. 2ª Ed. 2002, John Wiley & Sons, Inc., New York.
INTRODUÇÃO

Figura 1. Imperfeições nas superfícies. Fonte: (SOARES, 2017)

REVISÃO ESTATÍSTICA

Rugosidade Média: Ra

Figura 2. Esquema de um perfil de

superfície z(x). Fonte: (BHUSHAN, 2002)
REVISÃO ESTATÍSTICA

Rugosidade Média: Ra
• Parâmetro mais usado na engenharia para
controle de qualidade

• Fácil medição e uma boa descrição geral da

variação das alturas

• Útil na classificação de superfícies produzidas

pelo mesmo método

• Não dá informação de ondulação

• Insensível a pequenas mudanças no perfil

(forma dos picos de asperezas)

• Perfis de rugosidade diferentes podem ter o

Figura 3. Diferentes perfis com mesmo mesmo valor de Ra
Ra. Fonte: (BHUSHAN, 2002)
 REVISÃO ESTATÍSTICA
Rugosidade Quadrática Média: Rq ou RMS
Figura 2. Esquema de um perfil de
superfície z(x). Fonte: (BHUSHAN, 2002)
• Semelhante ao desvio padrão da distribuição de
alturas do perfil de rugosidade
• Maior sensibilidade que Ra
• Útil na classificação de superfícies produzidas
pelo mesmo método
REVISÃO ESTATÍSTICA

Fator de Assimetria (Skewness): Sk

• Representa a simetria do perfil ao longo da linha

média

• Sensível a presença de picos altos e de vales

profundos

• Permite diferenciar superfícies com valores

iguais de Ra e Rq
Figura 4. Variações de Skewness. Fonte:
(BHUSHAN, 2002)
REVISÃO ESTATÍSTICA

Fator de Achatamento / Angulosidade

(Kurtosis): K

• Descreve o achatamento da função

densidade de probabilidade do perfil

Figura 5. Variações de Kurtosis. Fonte:

(BHUSHAN, 2002)
REVISÃO ESTATÍSTICA

Figura 6. Skewness e Kurtosis típicas

para diferentes processo de fabricação.
Fonte: (BHUSHAN, 2002)
REVISÃO ESTATÍSTICA

Figura 7. Brunimento.
REVISÃO ESTATÍSTICA

Figura 8. Esmerilhamento.
REVISÃO ESTATÍSTICA

Figura 9. Fresamento.
REVISÃO ESTATÍSTICA

Figura 10. Torneamento.

REVISÃO ESTATÍSTICA

Figura 11. EDM (Eletroerosão).

INTRODUÇÃO

Figura 12. Diagrama com parâmetros de altura, espaçamento lateral e intervalos de resolução para
os métodos mais usuais de medição de rugosidade. Fonte (SOARES, 2017)
INTRODUÇÃO

Técnica
Perfilometria de contato (Stylus)
Perfilometria de não-contato (Óptica)
Microscopia eletrônica de varredura
Microscopia de força atômica
Microscopia de tunelamento
Limitação
Contato pode danificar a amostra/ponteira; mapeamento 3D lento
Curvatura da superfície pode não retornar a luz ao detector
Requer superfície condutora; análise de pequenas áreas
Contato pode danificar a amostra/ponteira; análise de pequenas áreas
Requer superfície condutora; análise de pequenas áreas; demorado

Figura 13. Esquemas das diferentes técnicas de medição. Fonte (SOARES, 2017)
 MÉTODOS ÓPTICOS

• Reflexão: especular / difusa / mista

• As relações entre o comprimento de onda da

radiação e a rugosidade da superfície afetarão a
física da reflexão; assim, uma superfície que é lisa
à radiação de um comprimento de onda pode se
comportar como se fosse rugosa à radiação de
um comprimento de onda diferente.

• Os métodos óticos incluem reflexões especulares

Figura 14. Representação das reflexões. a) e difusas, padrão Speckle e Interferência ótica.
Especular, b) Difusa e c) Mista. Fonte
(BHUSHAN, 2002)
 INTERFEROMETRIA ÓPTICA
• Um interferômetro é um sistema óptico para observar
interferência entre duas ou mais frentes de onda, ou
seja, a sobreposição de feixes de luz da qual resulta
uma intensidade que não é simplesmente igual à soma
da intensidade das componentes.

• Sistema de medição interferométrico é essencialmente

constituído por: uma fonte de luz, um sistema ótico
(interferômetro) e um detector que converte as
variações de intensidade luminosa num sinal
mensurável.

• Duas ondas (Michelson, Mach-Zender);

Figura 15. Representação de interferências. • Múltiplas ondas (Fabri-Perot);
Fonte: (MONTEIRO, 2012)
• Diferencial (Polarimétrico);
• Trajetória recíproca (Sagnac).
 INTERFERÔMETRO DE MICHELSON

• A luz proveniente de uma fonte de luz (F) é dividida em feixes

de referência e de sinal através de um divisor de feixe (DF).
• O feixe de referência é refletido por um espelho (E) e refaz
seu caminho sendo depois refletido por DF em direção ao
detector (D).
• O feixe de sinal é refletido pela superfície do objeto (O), cujo
deslocamento se pretende medir.
• Os dois feixes são recombinados usando o divisor de feixe
original. Uma porção de cada um dos campos de referência e
do sinal incide sobre o detector (D).

Figura 16. Interferômetro de • Se a diferença de comprimento do caminho ótico entre os

Michelson. Fonte: (MONTEIRO, campos de referência e sinal é zero ou um inteiro múltiplo do
2012) comprimento de onda, a interferência é construtiva. Se a
diferença de comprimento do caminho ótico é múltiplo de π, a
interferência é destrutiva.
 INTERFERÔMETRO DE MICHELSON

• Se a diferença de comprimento do caminho ótico entre os

campos de referência e sinal é zero ou um inteiro múltiplo
do comprimento de onda, a interferência é construtiva. Se
a diferença de comprimento do caminho ótico é múltiplo
de π, a interferência é destrutiva.

Figura 17. Padrões de Interferência.

Fonte: (MONTEIRO, 2012)
INTERFEROMETRIA DE MUDANÇA DE FASE

• A diferença de fase entre os dois feixes

interferentes é alterada a uma taxa constante
à medida que o detector é lido.

• Cada vez que a matriz de detectores é lida, a

fase variável de tempo, α(t), muda em 90º
para cada pixel. A equação básica para a
irradiância de um padrão de interferência de
dois feixes é dada por:
CONFOCAL DE VARREDURA LASER

• O microscópio confocal deriva do microscópio

de campo amplo, que trabalha com
iluminação da amostra em estado saturado,
ou seja, neste sistema a iluminação é
realizada acima do plano da amostra, deste
modo a luz branca viaja ao longo do eixo ótico
até ser focalizada na amostra pela objetiva.

• A amostra é visualizada pela luz que nela

reflete.

Figura 18. Microscópio de campo amplo.

Fonte: OLIVEIRA, A; 2012
CONFOCAL DE VARREDURA LASER
• Confocal é definido como ter o mesmo foco. O
microscópio confocal elimina a informação fora de
foco por meio de uma abertura circular (pinhole)
situada em frente ao plano da imagem, este age
como um filtro espacial e permite a passagem
apenas da parte de luz proveniente do plano focal.

• A microscopia confocal possibilita aumentar o

contraste da imagem, permite também construção
de imagens tridimensionais e proporciona grande
definição da mesma.

• Laser Scanning Confocal Microscope (LSCM),

Spinning-Disk Confocal Microscope (SDCM),
Programmable Array Microscope (PAM). Figura 19. Patente de M. Minsky. Fonte:
OLIVEIRA, A; 2012
CONFOCAL DE VARREDURA LASER

Figura 20. Diferença entre imagens de microscopia campo amplo e confocal. Fonte: CEPOF USP.
CONFOCAL DE VARREDURA LASER

• O funcionamento de um LSCM utiliza um

feixe laser para varrer a amostra.

• Transladando o ponto focal, produzido pela

objetiva, mantendo a profundidade de foco é
possível iluminar toda a superfície em estudo,
ponto a ponto.

• A luz refletida na amostra retorna pelo mesmo

caminho óptico até passar pela abertura
circular. A luz proveniente do plano focal da
imagem é detectada e os sinais gerados são
processados com a finalidade de se construir
uma imagem virtual da superfície varrida pelo
laser. Figura 21. Configuração de microscópio confocal.
Fonte: OLIVEIRA, A; 2012.
 CONFOCAL DE VARREDURA LASER

• Em virtude da abertura circular, a quantidade de

luz detectada é muito reduzida.

• Laser é utilizado como fonte de luz.

• Detectores altamente sensíveis também são

empregados.

• Um sistema transladador faz com que o feixe

incidente percorra a superfície da amostra.

Figura 22. Elementos de microscópio confocal.

Fonte: OLIVEIRA, A; 2012.
CONFOCAL DE VARREDURA LASER

Uma imagem típica observada usando o microscópio

confocal é mostrada na Fig. 3. As áreas claras
correspondem às regiões em foco; as áreas escuras
são regiões fora de foco.

Um mapa topográfico é criado pela montagem de uma

série de seções ópticas conforme ilustrado.

A intensidade de um dado pixel na imagem digital irá

variar de seção para seção à medida que a imagem
avança.

Figura 23. Imagens de microscópio confocal. Fonte: LANGE,

D.; 1993.
REFERÊNCIAS

1. BHUSHAN, Bharat. Introduction to Tribology. 2ª Ed. 2002, John Wiley & Sons, Inc., New York.
2. SOARES, M. PERFILOMETRIA: TRIBOLOGIA – TOPOGRAFIA DE SUPERFÍCIES.
CARACTERIZAÇÃO DE PAVIMENTOS CERÂMICOS. 2018
3. MONTEIRO, J. MÉTODOS DE INTERFEROMETRIA PARA INSPECÇÃO NÃO
DESTRUTIVA. 2012
4. OLIVEIRA, A. DESENVOLVIMENTO DE UM MICROSCÓPIO CONFOCAL DE VARREDURA
LASER PARA CARACTERIZAÇÃO TOPOGRÁFICA DE SUPERFÍCIES. 2012
5. D. A. LANGE, H. M. JENNINGS, S. P. SHAH. Analysis of surface roughness using confocal
microscopy. 19933