MICROSCOPIA

O microscópio é um dos instrumentos mais versáteis e utilizados no laboratório de

semicondutores. Para tamanhos característicos menores que submicrons seu uso se torna
inviável. A utilização do microscópio ótico não se restringe apenas a análise de características
dos circuitos integrados, é também usado para analisar partículas encontradas nos circuitos, e
ainda frequentemente usado para olhar e medir o tamanho, o tipo e a densidade de defeitos
em circuitos semicondutores. A identificação e análise de partículas requer uma certa prática e
habilidade por parte do microscopista. A técnica é mais usada para partículas maiores de 1
micrômetro e as análises dependem da combinação entre os desconhecimentos dos dados e o
que se sabe sobre as partículas. O microscópio apresenta dois sistemas de lentes
convergentes; a objetiva e a ocular. A objetiva é um conjunto de lentes que apresenta
pequena distância focal e que fornece uma imagem real e aumentada do objeto que é
observado. A ocular, também formada por lentes convergentes, funciona como uma lupa, que
nos dá uma imagem virtual e aumentada da imagem real que se formou em pela objetiva. A
objetiva e a ocular são dispostas nas extremidades de um cilindro oco, constituindo a coluna
do microscópio e que possui a capacidade de se aproximar ou afastar da amostra para que se
tenha a focalização perfeita. Isto é realizado por intermédio de uma cremalheira que se acha
associada a uma roda dentada. A potência do microscópio é resultado do produto da
ampliação linear da objetiva pela potência da ocular; seu valor será elevado quando as
distâncias focais da objetiva e ocular forem pequenas. O poder separador, ou distância mínima
distinguível entre dois pontos é limitado pela difração da luz. Assim, se o feixe de luz incidente
tive uma abertura angular grande e utilizarmos lentes de inversão, o poder separador será
melhorado, pois elimina-se difração das bordas da lente. A figura-1, se mostra uma
representação simplificada dos componentes essenciais do microscópio ótico, para começar a
se ter uma ideia sobre ele.

O ensaio consiste em incidir sobre a superfície de uma amostra uma luz de tungstênio que,
após ser transmitida ou refletida pela estrutura do material da amostra, é detectada e são
geradas imagens com aumentos de até 1000x. Essas imagens permitem a obtenção de
informações relevantes sobre a morfologia da amostra polimérica.

Quando a luz atravessa a estrutura do material, ocorre o fenômeno conhecido como difração.
A difração é capaz de dividir um feixe de ondas luminosas, que penetra um material, em
diversos outros feixes, de intensidades e ângulos de propagação diferentes do feixe original.
Os feixes gerados através do fenômeno de difração são divididos em ordens (0, 1ª, 2ª, 3º, etc),
de acordo com sua intensidade luminosa e do ângulo do desvio gerado.

O feixe de ordem zero é aquele que ao penetrar a amostra, é transmitido através de sua
estrutura e não sofre nenhuma alteração em sua direção de propagação, pois não interage
com a estrutura do material analisado. Já os demais, interagem com os constituintes da
estrutura e, portanto, sofrem difração e são classificados em ordens crescentes de acordo com
o aumento do ângulo do desvio sofrido e da perda de intensidade.

Desta forma, os feixes difratados são responsáveis por gerar as imagens formadas pelo
conjunto de lentes que compõe o dispositivo, uma vez que interagem com a estrutura da
amostra antes de chegarem até as lentes. Já os de ordem zero, não interagem com a estrutura
da amostra, portanto, não contém informações sobre a morfologia do objeto em análise,
tendo como função apenas contribuir com a luminosidade das imagens formadas.
A técnica de microscopia óptica permite o aumento de imagens através da luz que após incidir
sobre a amostra, passa por um conjunto de lentes objetivas (que formam e aumentam a
imagem) e oculares (que aumentam a imagem).
O microscópio óptico o de luz transmitida possui objetivas de 4, 10, 40 e 100, que
proporcionam uma visão panorâmica de aumento aproximado de 40x, 100x, 400x e 1000x,
respectivamente.