PSI - 5740 Tópicos de fabricação de Microestruturas

Prof. Marcelo N.P. Carreño

LME - PSI – EPUSP
carreno@lme.usp.br

(2013)

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PSI - 5740 Programa do Curso (2013)

O curso pretende ser uma introdução aos MEMS e será focado

em :
•  O que são os MEMS e como são feitos
•  Materiais (obtenção e propriedades)
•  Técnicas de Microfabricação
•  Estudos de caso : com isto pretendemos estudar com
maior detalhes como são feitos (e como funcionam) alguns
dispositivos comerciais mais ilustrativos e importantes.

Aspectos relevantes que não serão estudados aqui:

•  Projeto e design de MEMS para aplicações especificas
•  Simulação de esforços, comportamento dinâmico, eletrico,
térmico, etc.
•  Técnicas de encapsulamento
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 PSI - 5740 Programa do Curso (2013)

1.  Introdução e Revisão de Microeletrônica I (1 aula – Semana 1)

2.  Revisão processos de Microeletrônica II (1 aula – Semana 2)
3.  Materiais e Propriedades para MEMS (1 aula – Semana 3)

4.  Cristaligrafia do Si (1 aulas – Semana 4)

5.  Microfabricação em Substrato (1 aulas – Semana 5)
•  Corrosão Úmida e Seca (1/2 aula)
•  Exemplos (1/2 aula)
6.  Microfabricação em Superfície (1 aula – Semana 6)
7.  Prova 1 (Semana 7)
8.  Processos avançados (2 aula – Semana 8 e 9)
9.  Microfluídica (2 aulas – Semanas 10 e 11)
10.  Prova 2 (Semana 7)
11.  Laboratório e/ou Estudo de Casos (?) (1 aula – 1 semana)
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Índice
PSI-5740 Calendário

Nota Final = 0,6 (P1 + P2) + 0,4E

 Bibliografia do Curso :

1.  “A (not) so short introduction to MEMS”, F. Chollet and H, Liu, do MicroMachines Centre,
School of MAE, Nanyang Technological University, Singapure. Disponível online em
http://memscyclopedia.org/

2.  “An Introduction To MEMS Engineering”, N. Maluf and K. Williams, 2a Ed., 2004. (Disponível
como e-Book no Dedalus (http://200.144.190.234/F) Biblioteca EPUSP.

3.  “Fundamentals of Microfabrication: the science of of miniaturization“, Marc Madou, CRC

Press, 2a Ed, 2002. (Disponível na biblioteca da EPUSP)

4.  “Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology” (3 Volumes), Marc Madou, CRC

Press, 3a Ed, 2012. (Disponível na biblioteca do IFUSP)

5.  “The MEMS Handbook ", M. Gad-el-Hak, CRC Press, 2a Ed., 2006. Dis (Disponível como e-
Book (Dedalus) ou na Biblioteca do IFUSP.

6.  “MEMS Mechanical Sensors”, Stephen Beeby, G. Ensell, M.Kraft and N. White, Artech
House, 2004. (Disponível como e-Book no Dedalus (http://200.144.190.234/F) Biblioteca EPUSP

•  Notas de aula e textos selecionados disponibilizados para download no link da disciplina em :

http://gnmd.webgrupos.com.br/ensino.php
•  Mais informações e “links” para websites c/ informações complementares aos conteúdos do
curso Serão disponibilizadas em:

http://gnmd.webgrupos.com.br/blog.php?blog_id=1 5
 Literatura complementar :

JORNAIS :
•  Journal of MEMS : (IEEE), é uma das melhores publicações na área de MEMS
•  Sensors and Actuators A (Physical) : (Elsevier), MEMS em diversas áreas
•  Sensors and Actuators B (Chemical) : químicos, microfluídica, BioMEMS e MicroTAS
•  Journal of Micromechanics and Microengineering : (IOP), todas as áreas de MEMS
•  Smart Materials and Structures : (IOP), com foco maior nos materiais para MEMS
•  J. of Micro/Nanolithography, Microfabrication, and Microsystems : (SPIE), foco em temas
voltados à óptica e fotónica
•  Microfluidics and Nanofluidics : editado pela Springer e voltado para a Microfluídica
•  Lab on a Chip : Microfluidica e nanofluidica para química, física, biologia e bio-engenharia

WEB :
•  MEMSnet : agência que agrupa informações sobre a comunidade de MEMS e Nano tecnologia
•  NEXUS : informações sobre o mercado
•  Free MEMS Encyclopedia : uma proposta interessante ...