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Journal of Manufacturing Processes 88 (2023) 134–144

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Diário de Processos de Fabricação

Página inicial do jornal:www.elsevier.com/locate/manpro

Efeito do teor de Si na microestrutura, propriedades mecânicas e desempenho de

corte do revestimento de camada dupla TiSiN/AlTiN

Rong Pua, Zhongguang Yua, Xiuqing Haob,*, Jingfeng Yana, Zhanlong Hana, Jun Tanb, Lu Lub,
Zhangyan Chena, Haonan Yua
aGuohong Tools System (Wuxi) Co., LTD, Wuxi, Jiangsu 214101, China
bFaculdade de Engenharia Mecânica e Elétrica, Universidade de Aeronáutica e Astronáutica de Nanjing, Nanjing, Jiangsu 210016, China

ARTIGOINFO ABSTRATO

Palavras-chave: ti1 xSixRevestimentos de camada dupla de N/AlTiN com diferentes teores de Si foram preparados por evaporação de arco
revestimento TiSiN catódico para estudar o efeito da dopagem de Si nos revestimentos. A composição, morfologia e microestrutura dos
conteúdo Si
revestimentos foram caracterizadas usando SEM, XRD e XPS. A dureza, o módulo de elasticidade e a força de adesão foram
Liga de titânio
medidos por nanoindentação e microarranhões. Os resultados mostram que todos os revestimentos consistem em grãos de
Desempenho de corte
TiN e Si3N4fases amorfas. ti1 xSixO revestimento de camada dupla N/AlTiN tem a maior dureza de 43,07 GPa com um teor de Si
de 0,19 e o menor módulo de elasticidade de 314,46 GPa com um teor de Si de 0,25. O fresamento em alta velocidade da liga
Ti-6Al-4V foi realizado para avaliar o desempenho de corte das ferramentas revestidas. O valor e a amplitude da força de corte
foram coletados para analisar a condição de desgaste das ferramentas. Na velocidade de corte de 120 m/min, o revestimento
com teor de Si de 0,19 apresenta o melhor desempenho de corte, apresentando a menor força de corte e desgaste de flanco.
O maior teor de silício aumenta a ligação da liga de titânio, influenciando na estabilidade durante o corte. O menor teor de
silício reduz a resistência ao desgaste do revestimento e diminui a vida útil da ferramenta. O conteúdo adequado de Si do
revestimento provou ser eficaz na melhoria do desempenho de corte na liga Ti-6Al-4V.

1. Introdução
A liga de titânio é considerada um dos materiais mais promissores na
indústria aeroespacial e eletrônica de consumo devido à sua baixa
densidade, excelente resistência à corrosão e alta resistência específica[1,2].
No entanto, as fracas propriedades de usinagem das ligas de titânio limitam
sua ampla gama de aplicações até certo ponto. Por exemplo, a liga de titânio
do tipo (α + β) mais usada, Ti-6Al-4V, tem o dobro da resistência e dureza do
titânio puro e sua condutividade térmica é reduzida. A capacidade deste
material de manter a resistência em temperaturas elevadas e o
endurecimento severo do trabalho levam a forças de corte mais altas e
desgaste mais severo[3,4]. A maior parte do calor gerado é levado por
cavacos e peças de trabalho, mas ainda há 10 a 20% de calor na aresta de
corte que passa pelo revestimento e entra no substrato. A temperatura
extrema não apenas acelera o desgaste reativo e a degradação do
revestimento, mas também deteriora as propriedades mecânicas do
substrato, reduzindo drasticamente a vida útil da ferramenta[5].
A maioria dos revestimentos comerciais atuais são revestimentos de nitreto
ternário feitos de elementos como Ti, Al, Cr, Si, C e B. Exemplos típicos incluem
TiAlN, AlCrN, TiSiN, TiCN e outros[6]. Um revestimento utilizado para o corte de
ligas de titânio requer resistência a altas temperaturas de operação e afinidade
química. Ao cortar em temperatura elevada, os revestimentos contendo Al, como
AlN, TiAlN e AlCrN, sempre se degradarão e formarão um AlN do tipo wurtzita com
propriedades mecânicas ruins [7–9]. O corte sob temperatura excessiva também
acelerará a oxidação e o desgaste abrasivo dos revestimentos contendo Al.
Embora a reação de oxidação possa gerar um filme de óxido denso e contínuo na
superfície do revestimento, dificilmente consegue manter a integridade durante o
atrito com a liga de titânio para a camada porosa pobre em alumínio por baixo[10]
. Hörling investigou o efeito do teor de Al no desempenho de usinagem de Ti1 xalx
Ferramentas de corte com revestimento N no fresamento de alta velocidade de
ligas de aço de baixo carbono (42CrMo4). Quando o teor de Al está na faixa de 0–
66%, a vida útil da ferramenta aumenta com a adição de Al. No entanto, quando o
teor de Al excede 66 %, a vida útil da ferramenta cai drasticamente, ainda mais
baixa do que a das ferramentas revestidas com TiN quando é de 74 %. Acredita-se
que isso também seja causado pela degradação do TiAlN, e o enriquecimento do
Al tende a tornar os grãos grosseiros e colunares, o que é desastroso para as
propriedades mecânicas do revestimento[11]. Portanto, considerando o alto

* Autor correspondente.
Endereço de email:xqhao@nuaa.edu.cn (X.Hao).

https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2023.01.022
Recebido em 21 de outubro de 2022; Recebido no formulário revisado em 9 de dezembro de 2022; Aceito em 8 de janeiro de 2023
Disponível online em 26 de janeiro de 2023
1526-6125/© 2023 Sociedade de Engenheiros de Manufatura. Publicado pela Elsevier Ltd. Todos os direitos reservados.
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temperatura operacional na usinagem de ligas de titânio, revestimentos sem Al são superfícies de revestimento, as ferramentas seguem uma rotação de 3 vezes em torno
recomendados. do eixo da ferramenta, do eixo do fuso e do eixo do carrossel acionado por engrenagens.
Ao adicionar silício apropriado ao revestimento convencional de TiN, a dureza do Os alvos TiSi e TiAl são sempre posicionados simetricamente ao redor da câmara. A
revestimento é aprimorada e o módulo de elasticidade é reduzido, resultando em alto H3 estrutura do sistema de revestimento é ilustrada emFigura 1. Corpos de prova e
/E2e excelente resistência ao desgaste. Pesquisas mostram que as ligas de titânio têm um ferramentas foram atacadas com íons de argônio a vácuo de 0,3 Pa por 40 min para
módulo de elasticidade mais baixo e são propensas a rebote durante o corte, portanto, o melhorar a adesão do revestimento antes do processo de deposição. A temperatura foi
revestimento com um módulo de elasticidade mais baixo terá uma capacidade de mantida em 550◦C, a corrente alvo era de 140 A e a tensão de polarização do substrato
deformação elástica mais proeminente para inibir a formação de trincas[12–14]. era de - 100 V.
Greczynski[15]realizou testes de oxidação de alta temperatura em Ti1-XSixRevestimentos
de N com diferentes teores de Si e descobriram que a adição de Si pode melhorar 2.2. Caracterização de revestimentos
significativamente a resistência à oxidação e a estabilidade térmica do revestimento, e o
maior teor de Si leva a uma melhor resistência à oxidação do revestimento. A espessura Um microscópio eletrônico de varredura (Zeiss EVO18) foi usado para analisar
do filme de oxidação do Ti1 xSixN (0,13≤x ≤0,50) o revestimento é de apenas 150–200 nm a morfologia depositada e pós-corte do revestimento. A composição química do
após a exposição ao ar a 800◦C por 1 h, que é 30 vezes menor que o do Ti0,36al0,64 revestimento foi analisada por espectrômetro de energia de raios X (Bruker
Revestimento N com o conteúdo otimizado. Estudiosos têm estudado o mecanismo de XFLASH 6130,7–15 kV). O difratômetro de raios X (Rigaku SmartLab 9) foi usado
fortalecimento do Si em revestimentos à base de TiN. Por exemplo, Veprek[16] para analisar a estrutura de fase do revestimento com radiação Cu Kα (1,542 Å) no
considerou que o Si em revestimentos de TiSiN pode formar a estrutura 3D líquida do Si3 modo Bragg/Brentano. O ângulo de incidência rasante é de 0,2◦, o tamanho do
N4 passo é 0,02◦/step, e a taxa de varredura é 0,008◦/s. A espectroscopia de
fase amorfa. Essa interface amorfa contínua e complexa pode efetivamente fotoelétrons de raios X (Thermo Scientific Escalab 250Xi) foi utilizada para analisar
impedir o crescimento de grãos colunares de TiN. Enquanto isso, o os estados de valência e as formas de existência dos elementos no revestimento.
crescimento de microfissuras e o movimento de deslocamento também são Antes das medições, a superfície da amostra foi polida e limpa por pulverização
restritos nos grãos, e a resistência e a dureza são significativamente catódica (Ar + íons de ataque por 30 s). A dureza e o módulo de elasticidade do
melhoradas[17]. O módulo de elasticidade do material é determinado revestimento foram investigados por instrumento de nanoindentação (Bruker
principalmente por sua porosidade, tamanho de grão e energia de ligação Hysitron TI Premier) com uma carga máxima de 8000 μN. A forma do penetrador
de seu constituinte[18,19]. Houska[20]usou o cálculo dos primeiros de diamante é Berkovich em um ângulo incluído de 142,3◦. A força de adesão dos
princípios para descobrir que, quando o teor de Si atinge 3 at.%, os grãos revestimentos foi analisada pelo instrumento micro-scratch (Anton Paar RST3). A
são grosseiros no revestimento de TiSiN. Quando o teor de Si atinge 7 at.%, carga máxima é de 120 N, a taxa de carregamento é de 300 N/min e o
uma fase amorfa rica em Si com espessura de monocamada surge fora dos comprimento do arranhão é de 5 mm. O diâmetro do penetrador de diamante
contornos de grão e refina os grãos de TiN. Quando o teor de Si atinge 12 at. Rockwell é de 200 μm.
%, a fração de nanocristal atinge seu valor máximo. Além desta
concentração, no entanto, a fase amorfa domina no revestimento de TiSiN.
Assim, a maioria dos estudos sobre revestimentos de TiSiN tem se
2.3. Teste de corte de revestimentos
concentrado nas propriedades fundamentais e cálculos teóricos, mas há poucos
relatos sobre aplicações de corte e modos de falha. Como o teor de Si afeta o
Para avaliar o desempenho de corte de ferramentas revestidas em ligas de
atrito entre o revestimento TiSiN e a liga de titânio ainda precisa ser determinado.
titânio, foi utilizado um centro de usinagem (Fanuc Robodrill α-D14MiB) para
Neste trabalho, Ti1 xSixRevestimentos N/AlTiN de camada dupla com diferentes
realizar o teste de corte, equipado com um dinamômetro (Kistler Type9255C), um
teores de Si foram preparados por evaporação por arco catódico. Combinando
coletor de dados (Kistler Type5697A) e um multi -amplificador de sinal de canal
propriedades mecânicas, XRD, XPS e dados de corte, o efeito do teor de Si no
(Kistler Type5080A) para coletar os sinais de força recebidos das direções X, Y e Z
desempenho de corte de ferramentas revestidas com TiSiN/AlTiN na liga Ti-6Al-4V
durante o teste. O software Dynoware foi usado para analisar os dados de força
foi analisado.
de corte. O material da peça é a liga Ti-6Al-4V (5,8% Al, 3,6% V e 90,6% Ti (peso%))
com uma dureza de 30 HRC e um módulo de elasticidade de 110 GPa. O esquema
2. Detalhes experimentais
da montagem experimental para testes de corte é mostrado emFigura 2. O
diâmetro da ferramenta de corte é de 6 mm, o ângulo da hélice é de 38◦, o ângulo
2.1. Preparação de revestimento
de inclinação é 7◦, o ângulo de incidência é 11◦. A fim de evitar pré-falha durante o
teste, o raio da borda é definido para ser≥5 μm por preparação de ponta. Os
ti1 xSixRevestimentos de camada dupla N/AlTiN com diferentes teores de Si foram
parâmetros de teste e condição de teste são
depositados em substratos de metal duro (incluindo 12,7×12.7×Espécimes de teste de 4,7
mm e ferramentas de corte de ϕ6 mm) por evaporação do arco catódico. O substrato é o
carboneto cimentado YG6 (WC-6% em peso de Co) adquirido da Zhuzhou Cemented
Carbide Group Co., Ltd., com um tamanho de grão de 9–11 μm, uma dureza de 93 HRA.
As amostras de teste e as ferramentas de corte foram enxaguadas com um removedor
de ferrugem alcalino em um sistema de limpeza ultrassônico para remover óleo, haletos
e poeira da superfície.
ti1 xSixRevestimentos de camada dupla N/AlTiN com diferentes teores de Si e
revestimento de monocamada AlTiN foram preparados por evaporação de arco catódico
no sistema de revestimento Oerlikon Balzers INGEINA. Em comparação com outros
métodos de deposição de revestimento, a evaporação por arco catódico tem maior
eficiência, flexibilidade e estabilidade[21]. Ao ajustar a tensão de polarização, a pressão
do gás, a temperatura de deposição e o material alvo, uma ampla variedade de
revestimentos pode ser preparada em ferramentas de corte variform em grandes
quantidades. Os alvos utilizados são alvos circulares de metalurgia do pó (PLANSEE) com
diâmetro de 160 mm, incluindo Ti0,85Si0,15, Ti0,80Si0,20, Ti0,75Si0,25
alvos para a camada externa, e Ti0,33al0,67alvos para camada interna e revestimento de
monocamada AlTiN. Todos os alvos foram jateados e ablacionados antes do processo de
revestimento para remover o óxido e as impurezas da superfície para que arcos estáveis
pudessem ser mantidos. Para obter distribuição homogênea Figura 1.Ilustração esquemática do sistema de revestimento.

135
R. Pu et ai.
Figura 2.Ilustração esquemática da montagem experimental.
mostrado emtabela 1.
3. Resultado e discussão
3.1. Efeito do teor de Si na composição, microestrutura e fase
A composição química do Ti depositado1 xSixRevestimentos de dupla camada
N/AlTiN com diferentes teores de Si e revestimentos de monocamada AlTiN foram
determinados por EDS. As composições químicas específicas estão listadas em
mesa 2. Após a normalização do teor de elementos excluindo N, os revestimentos
são nomeados como Ti85Si15N/AlTiN, Ti81Si19N/AlTiN e Ti75Si25N/AlTiN,
respectivamente. As proporções atômicas de Si para Ti das três camadas externas
são próximas às dos alvos TiSi correspondentes, e o Al: (Al
+ Ti) da camada interna é de cerca de 0,6, que é menor que 0,66 no alvo
TiAl, devido à diferença de massa atômica, taxa de ionização, carga média e
taxa de espalhamento de Ti e Si[22,23]. Sob os mesmos parâmetros de
deposição, o Ti tem uma taxa de ionização mais alta, e o número médio de
carga do Ti (2,1) é maior que o do Al (1,7) também em uma corrente de arco
de 100 A. Isso significa que mais íons Ti de alta energia podem se depositar
na superfície do substrato depois de colidir e se espalhar com outras
partículas do que íons Al[24].
A superfície e a morfologia da seção transversal dos três revestimentos
são mostradas emFig. 3. Como pode ser visto a partirFig. 3(ac), com o
aumento do teor de Si, o número de poros finos diminui gradativamente, e o
revestimento torna-se mais denso e plano. Todos os três Ti1 xSixOs
revestimentos de N/AlTiN têm crateras em forma de prato na superfície,
causadas pela queda de defeitos em forma de cone. Relata-se que a
dopagem com silício tem o efeito de suprimir o crescimento orientado de
cristais colunares e refinar os grãos, acelerando os poros finos[25].Fig. 3(df)
apresentam a morfologia da seção transversal dos três revestimentos. A
espessura dos revestimentos é de 2,17 μm para Ti85Si15N/AlTiN, 1,82 μm
para Ti81Si19N/AlTiN e 2,01 μm para Ti75Si25N/AlTiN. Poucos e dispersos
defeitos semelhantes a cones podem ser observados embutidos no
revestimento, que têm a mesma composição química do revestimento,
devido aos pontos de nucleação heterogêneos ligados à superfície do
substrato antes ou durante a deposição[26]. Esses defeitos podem ser
suprimidos melhorando a limpeza do substrato e da câmara ou
aprimorando a filtragem de macropartículas. A condição de adesão entre a
camada interna e a camada externa, bem como o revestimento e o
substrato, é aceitável e não há lascas ou rachaduras óbvias na interface.
tabela 1
Parâmetros de corte e condição de teste.
ae Ap Fz Vc refrigerante Método
0,08 mm 9 mm 0,02 mm/z 120 m/min emulsão (6%) Fresamento lateral
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Investigações estruturais de Ti conforme depositado1 xSixRevestimentos de
camada dupla N/AlTiN, bem como revestimento de monocamada AlTiN por GIXRD
foram conduzidos. O ângulo de incidência do pastejo foi ajustado para 0,2◦para
diminuir a profundidade para penetração de raios-X e diminuir o impacto da
camada AlTilN ou carboneto cimentado por baixo durante a digitalização. Como
mostrado emFig. 4, picos em 2θ de 37,06◦, 43.14◦, e 62,88◦são correspondentes a
(111), (200) e (220) pico do tipo cúbico (c-) (Al,Ti)N na camada interna de AlTiN,
respectivamente, situando-se entre os picos característicos de TiN e AlN. Ombros
fracos podem ser encontrados no lado direito dos picos principais, que podem
pertencer ao c-AlN na forma de subrede. As camadas externas dos três Ti1 xSixOs
revestimentos N são todos do tipo cúbico com uma orientação preferencial no
plano cristalino de (200), e os três picos principais são (111), (200) e (220) de c-TiN
em 2θ de 36,08◦, 42,44◦, e 62,17◦, respectivamente. Uma vez que a profundidade de
detecção excede a espessura do revestimento de monocamada AlTiN, picos
característicos fracos de h-WC pertencentes ao substrato de metal duro também
foram detectados no espectro. Não há sinal de TixSiypresentes no espectro. Vale
ressaltar que, com o aumento do teor de Si, o FWHM (largura total na metade do
máximo) de c-TiN (200) gradualmente aumentou de 0,856◦em x = 0,15, até 1,085◦
em x = 0,19, para 1,282◦em x = 0,25. Além disso, quando x = 0,25, observa-se uma
leve protuberância na parte inferior do ângulo, indicando que existe fase amorfa
no revestimento. Os tamanhos de grão podem ser estimados com o FWHM de
picos nos espectros pela Fórmula de Scherrer[27]:
kλ
Tamanho do grão =
βhklcosθ
onde K é a constante de Scherrer (normalmente 0,94 para partículas cúbicas),λé o
comprimento de onda do raio X em nm,βhklé o FWHM de (hkl) pico em radianos,θé
o pico em graus. O tamanho de grão do revestimento diminui gradualmente de
10,1 nm em x = 0,15 para 6,5 nm em x = 0,25. É relatado que a solubilidade sólida
de Si em c-TIN é limitada, e o excesso de Si formará uma estrutura semelhante a
uma malha de Si amorfo3N4nos limites de grão da fase c-TIN, que pode
efetivamente suprimir o crescimento de grãos colunares [28,29].
Embora a estrutura da fase na cristalografia possa ser detectada com XRD, é
difícil caracterizar a fase amorfa, nanocompósito ou partículas minúsculas nos
materiais. Para investigar esses itens difíceis de detectar, normalmente é usado o
XPS, que é uma técnica altamente sensível e precisa usada para caracterizar o
estado de valência, a estrutura molecular e a ligação química dos materiais,
medindo a energia de ligação dos átomos e seu deslocamento químico.
Consequentemente, com a intenção de averiguar a forma existente de Si, a análise
XPS foi realizada em Ti1- xSixrevestimentos N/AlTiN, e os resultados são mostrados
emFig. 5. A superfície do revestimento foi polida e limpa com íons para reduzir a
influência de óxido, orgânico ou halogênio. Além disso, a subtração de fundo e o
ajuste gaussiano-lorentziano foram realizados nos espectros de alta resolução do
Ti
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mesa 2
Composição química do Ti1 xSixRevestimentos de camada dupla N/AlTiN e revestimento de monocamada AlTiN.

Revestimentos Composição do revestimento (at.%)

ti al Si N Si:(Si + Ti) Al:(Al + Ti)

ti85Si15N/AlTiN Camada externa 42,81 – 7.52 49,67 0,149 –

Camada interna 21.80 28.63 – 49,57 – 0,57
ti81Si19N/AlTiN Camada externa 40,79 – 9h40 49,81 0,187 –
Camada interna 19h50 30.43 – 50.07 – 0,61
ti75Si25N/AlTiN Camada externa 36,98 – 12h31 50,72 0,250 –
Camada interna 20.57 30.62 – 48,81 – 0,60
AlTiN Revestimento monocamada 21.13 30,60 – 48,27 – 0,59

Figura 3.Morfologia da superfície e da seção transversal dos revestimentos:

(a) superfície de Ti85Si15N/AlTiN; (b) superfície de Ti81Si19N/AlTiN; (c) superfície de Ti75Si25N/AlTiN; (d) seção transversal de Ti85Si15N/AlTiN; (e) seção transversal de Ti81Si19N/AlTiN; (f) seção transversal de Ti
75Si25N/AlTiN; (g) vista superior dos defeitos antes do polimento; (h) seção transversal do defeito em forma de cone; (i) seção transversal do defeito do floco.

picos em energias de ligação de 460,87 eV, 462,58 eV e 463,45 eV podem ser

distinguidos do pico principal da região de alta energia, correspondendo a
TiN, Ti2O3, e TiO2, respectivamente. Da mesma forma, os picos em 455,03
eV, 456,51 eV e 458,43 eV na região de baixa energia vêm de TiN, Ti2O3, e
TiO2, respectivamente. A energia de separação do dupleto é de 5,8 eV para
Ti–N e 5,7 eV para Ti–O, em total concordância com pesquisas relatadas
[30,31]. A oxidação pode causar a origem de Ti2O3
e TiO2no Ti1 xSixRevestimentos N/AlTiN durante ou após a deposição. Sem
pico de TiSixfoi identificado no espectro, que deve ter um pico de energia de
ligação de 459,1 eV para 2p1/2 e 453,1 eV para 2p3/2, se existente.Fig. 5(df)
apresenta o espectro de Si 2p. Há apenas um pico óbvio na faixa de 98-106
eV, atingindo a energia de ligação de 101,58 eV (Si 2p3/2), sugerindo a
formação de Si3N4. Além disso, o pico não é perfeitamente simétrico e um
ombro fraco pode ser observado no lado direito do pico, vejaFig. 5(f),
correspondendo a 2p3/2 de SiO2.Fig. 5(gi) mostram o espectro de N 1s, onde
há um pico assimétrico que pode ser separado em três subpicos
independentes na faixa de 390–405 eV. O pico principal próximo a 397,20 eV
é considerado 1s de TiN, que tem um ombro mais inclinado para o lado
Figura 4.Padrões de difração de raios X de Ti1 xSixRevestimentos N/AlTiN e revestimento
esquerdo e um ombro mais suave para o lado direito, correspondendo a 1s
monocamada AlTiN.
de AlN em 396,20 eV e 1s de Si3N4em 398,20 eV, respectivamente. A
presença de AlN é derivada das crateras em forma de prato do Ti externo1 x
2p, Si 2p e N 1s para obter picos separados para cada órbita, respectivamente.
SixCamada N, da qual a camada AlTiN subjacente é exposta e detectada.
Os espectros Ti 2p de Ti1 xSixRevestimentos N/AlTiN, consulteFig. 5(ac), são
todos compostos por spin doublets, tendo duas partes semelhantes em torno de
Com base nas investigações acima de EDS, XRD e XPS acima, é certo
460 eV, onde as regiões de baixa energia (454-460 eV) pertencem a 2p3/2 do Ti, e
que TiN é a fase dominante na camada externa de Ti1-xSixN/ AlTiN, com
as regiões de alta energia (460-461 eV) pertencem a 2p1/2 de Ti. Individual
uma pequena quantidade de Si amorfo3N4. Mesmo quando Si

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Figura 5.Espectros XPS de Ti1 xSixRevestimentos N/AlTiN. ti85Si15N/AlTiN: (a) Ti 2p; (d) Si 2p; (g) N 1s. ti81Si19N/AlTiN: (d) Ti 2p; (e) Si 2p; (f) N 1s. ti75Si25N/AlTiN: (g) Ti 2p; (h) Si
2p; (i) N 1s.

o conteúdo é de até x = 0,25, sem TiSixfase foi detectada. resultado.

Fig. 6mostra a dureza e o módulo de elasticidade do Ti1 xSix

Revestimentos N/AlTiN. A dureza foi de 41,12 GPa para x = 0,15, e atingiu
3.2. Efeito do teor de Si nas propriedades mecânicas
seu máximo de 43,07 GPa quando x = 0,19, depois caiu para 41,42 GPa
quando x = 0,25. O módulo de elasticidade é 334,84 GPa para Ti85Si15N/
Testes de nano-indentação e micro-riscos foram realizados em Ti1- xSix
AlTiN, 334,39 GPa para Ti81Si19N/AlTiN e 314,46 GPa para Ti75Si25N/AlTiN,
Revestimentos N/AlTiN para investigar o efeito do teor de Si na dureza e módulo
diminuindo com o aumento do teor de Si. Combinado com os resultados da
de elasticidade. Três posições separadas foram selecionadas para cada amostra
detecção emSeção 3.2, pode-se concluir que existe uma relação direta entre
de revestimento e 10 pontos de indentação foram obtidos para cada posição. Os
as propriedades mecânicas e a constituição das fases
resultados do teste foram calculados e a média para o final

Figura 6.Dureza de nanoindentação e módulo de elasticidade do Ti85Si15N/AlTiN, Ti81Si19N/AlTiN, Ti75Si25Revestimentos N/AlTiN e AlTiN.

138
R. Pu et ai.
de Ti1 xSixrevestimentos N. Quando x = 0,15, Si amorfo limitado3N4
dificilmente pode formar filme contínuo para envolver os grãos de TiN e
impedir o movimento de deslocamento. À medida que o teor de Si aumenta
para x = 0,19, a dureza do revestimento atinge o máximo para o Si
moderado3N4conteúdo, que promove o fortalecimento do refinamento e
coíbe o amolecimento causado pelo excesso de fase amorfa. Quando o teor
de Si aumenta ainda mais para x = 0,25, o mecanismo de amolecimento do
Si amorfo3N4tende a ser dominante e a dureza do revestimento diminui
ligeiramente.
O módulo de elasticidade diminui com o aumento do teor de Si por ser sensível à
microestrutura dos materiais. À medida que o teor de Si aumenta, o volume de Si amorfo
3N4com baixo módulo de elasticidade aumenta gradativamente, levando a uma
tendência de queda no módulo de elasticidade dos revestimentos.
Um grande número de pesquisas indica que a dureza do revestimento (H),
módulo de elasticidade (E), fator de resistência à deformação plástica (H3/E2) e o
Parâmetro de Dissipação de Microdureza (MDP) são parâmetros vitais para avaliar
a resistência ao desgaste e o desempenho de corte do revestimento [32–34].
Quanto maior a dureza, maior a resistência à deformação do revestimento;
quanto menor for o módulo de elasticidade, mais facilmente o revestimento sofre
deformação elástica; quanto maior o H3/E2ou seja, melhor resistência ao início da
fratura o revestimento possui. o H3/E2é 0,62 para Ti85Si15N/AlTiN, 0,71 para Ti81Si
19N/AlTiN e 0,72 para Ti75Si25N/ AlTiN. Outro parâmetro chamado MDP também é
utilizado para avaliar a resistência ao impacto do revestimento. MDP é a
proporção da obra plástica (Wplástico) feito para o trabalho total (Wtotal= Wplástico+
Welástico) feito durante a indentação
[35]. Em contraste com H3/E2, a influência causada pela função de área
do indentador no MDP é excluída e o cálculo do MDP cobre toda a
curva de nanoindentação. Neste trabalho, o MDP de Ti85Si15N/ AlTiN, Ti
81Si19N/AlTiN e Ti75Si25N/AlTiN são 0,556, 0,467 e 0,496,
respectivamente. Maior MDP indica que o revestimento tende a sofrer
deformação plástica durante o teste de indentação e terá melhor
tenacidade à fratura[36]. A relação entre H3/E2e MDP de Ti1 xSixOs
revestimentos N/AlTiN são mostrados emFig. 7.
As resistências adesivas dos revestimentos foram medidas pelo teste de
microarranhões. Três testes de raspagem paralelos foram realizados para cada
Figura 7.Fator de Resistência à Deformação Plástica (H3/E2) e Parâmetro de Dissipação de Microdureza (MDP) de Ti85Si15N/AlTiN, Ti81Si19N/AlTiN e Ti75Si25Revestimentos N/
AlTiN.
139
Journal of Manufacturing Processes 88 (2023) 134–144
espécime, e o mais médio foi analisado em detalhe da morfologia do risco e
cargas críticas, verFig. 8(ac). Os padrões de trincas para todos os três
revestimentos no teste de arranhão são todos trincas de flambagem
conformes. Neste modo de rachadura, a direção elevada das rachaduras
conformes é a mesma que a direção direta do arranhão, e a lascamento de
grande área do revestimento não será encontrada[37]. euC1, EUC2, e euC3são
as cargas críticas da primeira trinca conforme dentro do traço, o primeiro
lascamento nas bordas do traço e a primeira delaminação dentro do traço
do revestimento no teste de arranhões[38,39]. Os resultados mostram uma
diminuição gradual de LC1com o aumento do teor de Si, que é 43,75 N para
Ti85Si15N/AlTiN, 41,83 N para Ti81Si19N/AlTiN e 40,89 N para Ti75Si25N/AlTiN.
As rajadas dos sinais de emissão acústica correspondem exatamente às
posições da primeira fissura, verFig. 8. euC1é normalmente usado para
avaliar a resistência coesiva de um revestimento. O excesso de átomo de
silício reduz a tenacidade à fratura do revestimento e aumenta a
possibilidade de iniciação de trincas[40]. A partir das micrografias em
tamanho real, o revestimento com maior teor de Si tem rachaduras
conformes mais densas e finas dentro do traço. o LC2de Ti85Si15N/ AlTiN, Ti81
Si19N/AlTiN e Ti75Si25N/AlTiN são 82,23 N, 86,12 N e 94,27 N,
respectivamente. euC2é determinado pela força de adesão e força de coesão
do revestimento[41]. ti85Si15N/AlTiN, Ti81Si19N/ AlTiN e Ti75Si25N/AlTiN têm a
mesma camada interna AlTiN, então a força de adesão entre o revestimento
e o substrato é próxima. A diferença está no efeito de diferentes teores de Si
na força de adesão entre a camada externa de TiSiN e a camada interna de
AlTiN. No entanto, nenhuma estratificação de revestimento foi encontrada
na imagem BSE deFig. 8, indicando que a força de adesão entre a camada
externa de TiSiN e a camada interna de AlTiN é maior do que entre o
revestimento e o substrato. Embora as trincas que se estendem até a borda
do traço sejam o berço do lascamento, elas também liberam a energia
armazenada da deformação elástica durante o arranhão, reduzindo a
possibilidade de delaminação em grandes áreas. euC3é a carga crítica da
primeira delaminação no traço e o sinal de falha completa do revestimento.
Aqui, o L.C3de Ti85Si15N/AlTiN, Ti81Si19N/AlTiN e Ti75Si25N/AlTiN são 92,34 N,
96,78 N e 97,16 N, respectivamente.
R. Pu et ai.
Figura 8.Scratch faixas de Ti1 xSixRevestimentos N/AlTiN com curvas AE (emissão acústica) e morfologias BSE em pontos críticos de carga: (a) Ti85Si15N/AlTiN; (b) Ti81Si19N/
AlTiN; (c) Ti75Si25N/AlTiN.
3.3. Efeito do teor de Si no desempenho de corte
As relações entre o desgaste de flanco e o tempo de corte do Ti1 xSixAs
ferramentas revestidas N/ AlTiN são mostradas emFig. 9(a). No início, três
revestimentos passam por um estágio inicial de desgaste linear[42], e as taxas de
desgaste do Ti85Si15N/AlTiN, Ti81Si19N/AlTiN e Ti75Si25N/AlTiN são 0,091 μm/min,
0,103 μm/min e 0,0745 μm/min, respectivamente. Embora Ti81Si19N/AlTiN tem a
maior taxa de desgaste no estágio de desgaste inicial, é o primeiro a entrar no
estágio de desgaste estável em 150 min e tem a menor largura de desgaste de
7,75 μm no final. Depois de cortar por 185 min, todos os revestimentos atingem o
estágio de desgaste constante e as larguras de desgaste dos três revestimentos
são todas<13 μm. As larguras de desgaste do Ti85Si15N/AlTiN e Ti75Si25N/AlTiN são
maiores do que Ti81Si19N/AlTiN, que são 12,43 μm e 10,51 μm, respectivamente.
Nesta etapa, a largura do desgaste de flanco é quase constante com o tempo e a
inclinação da curva de desgaste é próxima de zero.
Fig. 9(b) é o diagrama da força de corte com o aumento do tempo de corte. A
força máxima de corte é 32,92 N para Ti85Si15N/AlTiN, 15,30 N para Ti81Si19N/AlTiN
e 22,97 N para Ti75Si25N/AlTiN. As forças de corte das três ferramentas revestidas
aumentam com o tempo de forma sincronizada e são da mesma ordem que a
largura do desgaste de flanco no estágio de desgaste constante. A força de corte
está principalmente relacionada à agudeza da ferramenta, e uma ferramenta com
maior integralidade é mais fácil de cortar a peça de trabalho. Além disso, pontos
de inflexão na curva de força de corte, consulteFig. 9(a), estão em torno de 110 N
para Ti85Si15N/AlTiN e Ti75Si25N/AlTiN, 80 N para Ti81Si19N/ AlTiN. O ponto de
viragem pode ser considerado como o sinal de entrada no
140
Journal of Manufacturing Processes 88 (2023) 134–144
estágio de desgaste constante de uma ferramenta e coincidem aproximadamente com os pontos
de inflexão das curvas de desgaste.
Fig. 9(c) apresenta a amplitude da força de corte na frequência do fuso
das três ferramentas revestidas. É perceptível que a amplitude aumenta com
o aumento do teor de Si do revestimento. A amplitude de Ti75Si25N/ AlTiN é o
maior e revela uma tendência ascendente de 15 N para 25 N. Embora o Ti75
Si25O revestimento N/AlTiN tem o maior fator de desgaste de 0,72, sua forte
afinidade química com a liga de titânio influencia severamente sua
estabilidade de corte. As amplitudes da força de corte do Ti85Si15N/AlTiN e Ti
81Si19N/AlTiN são relativamente estáveis, ambos na faixa de 10-20 N, devido
a sua maior estabilidade química.
As morfologias de desgaste de ferramentas revestidas após corte na
velocidade de 120 m/min por 185 min são apresentadas emFig. 10(ac). Todas as
três ferramentas revestidas têm arestas de corte altamente completas sem
qualquer colapso ou rachadura visível. A condição de adesão entre a camada
externa superior de TiSiN (fase cinza claro) e a camada interna subjacente de AlTiN
(fase cinza escuro) parece excelente nas imagens BSE, e nenhuma liga de titânio
óbvia foi encontrada aderindo à superfície lateral do Ti85Si15Ferramenta de corte
revestida com N/AlTiN. No entanto, o limite de desgaste do revestimento não é
uniforme, consulteFig. 10(a'), onde o lascamento do revestimento pode ser
observado na borda. Este tipo de lasca é normalmente causado pela má adesão
do revestimento. Em contraste, Ti81Si19A ferramenta revestida com N/AlTiN possui
apenas uma pequena quantidade de nódulos na aresta e o limite de desgaste é
estreito e uniforme, revelando a melhor resistência ao desgaste (Fig. 10(b)). Para
mais evidências sobre a existência de nódulos de liga de titânio, ponto A emFig. 10
(b') foi analisado por EDS. O resultado EDS medido é mostrado emFig. 11. O
R. Pu et ai.
Figura 9.Desempenho de corte de Ti85Si15N/AlTiN, Ti81Si19N/AlTiN e Ti75Si25Revestimentos N/AlTiN: (a) Largura de desgaste; (b) Força de corte; (c) Amplitude na frequência
do fuso.
O resultado indica que os nódulos próximos à borda são de fato semelhantes em
composição à liga Ti-6Al-4V, e infere-se que o desgaste por oxidação ocorreu
devido à presença de átomos de oxigênio. O limite de desgaste do Ti75Si25A
ferramenta revestida com N/AlTiN é relativamente uniforme em comparação com
os revestimentos anteriores, consulteFig. 10(c'). No entanto, existem muitos
nódulos aderidos na superfície do flanco e microcolapsos nas bordas, devido à
adesão contínua e ao desgaste reativo entre o substrato exposto e a liga de titânio
deslizante. Os átomos de C no substrato WC-Co serão consumidos rapidamente
por difusão externa, formando TiC com átomos de Ti na liga Ti-6Al-4V, resultando
na degeneração do metal duro[43]. Para corte em alta velocidade de ligas de
titânio, o revestimento atua como uma barreira contra abrasão, difusão e
oxidação, melhorando assim a vida de corte das ferramentas sob o ponto de vista
mecânico e químico.
3.4. Mecanismo de desgaste de revestimentos
A ligação severa da liga Ti-6Al-4V na superfície do Ti75Si25O revestimento
N/AlTiN pode ser atribuído ao excesso de Si no revestimento. Conforme
descrito emSeções 3.2 e 3.3, o Si amorfo3N4O filme é formado
principalmente nos contornos de grão do TiN. Verifica-se que a reação da
solução de Ti e Si3N4os pós podem produzir siliceto de titânio por moagem
de bolas de alta energia à temperatura ambiente, e a dureza do produto da
solução diminui com o aumento da temperatura de moagem de bolas[44].
Para Ti75Si25Revestimento N/AlTiN, o Si espesso3N4O filme nos contornos de
grão reage com a liga de titânio durante o processo de corte, formando um
grande número de nódulos presos à superfície do revestimento. Esses
nódulos aumentam a magnitude e a amplitude da força de corte,
influenciando severamente a estabilidade de corte da ferramenta.
Em resumo, as principais formas de desgaste do Ti1 xSixOs revestimentos N/AlTiN no
teste são desgaste adesivo, desgaste abrasivo e desgaste reativo. Quando x = 0,15, o
revestimento contém menos Si3N4e tem grãos colunares maiores, levando a menor
dureza e baixa resistência ao crescimento de trincas. As trincas que se propagam da
camada externa de TiSiN para a camada interna de AlTiN durante o processo de
fresamento resultam em lascamento severo do revestimento e aceleram o colapso da
aresta da ferramenta de corte. Quando x = 0,19, o revestimento tem o melhor
desempenho de corte devido à sua maior dureza, menor módulo de elasticidade,
141
Journal of Manufacturing Processes 88 (2023) 134–144
e menor afinidade química. É relatado que quando o tamanho do grão na
direção da deformação é<10 nm, e a largura do limite de grão é <0,5 nm, a
dureza de nc-TiN/a-Si3N4atinge o máximo[45]. Contínuo Si3N4filme no
contorno do grão contribui para o reforço do refinamento do grão,
melhorando as propriedades mecânicas e a resistência à oxidação do
revestimento. A propagação de trincas de grãos colunares de TiN é limitada
quando se estende ao Si3N4filme[46]. Portanto, depois de cortar por 185
min, o Ti81Si19O revestimento N/AlTiN mostra a menor abrasão e colapso.
Quando x = 0,25, o revestimento tem excesso de Si3N4nos contornos de
grão, o que leva a uma queda na dureza. Maior teor de Si também
aumentará a afinidade química entre o revestimento e a liga de titânio,
reduzindo a estabilidade do corte. A aresta da ferramenta de corte continua
colapsando devido ao desgaste reativo e adesivo severo.
O desempenho de corte de uma ferramenta revestida é sempre um ponto crítico na
avaliação geral do desempenho de um revestimento. Para corte de liga de titânio, os
mecanismos de desgaste comuns de ferramentas revestidas incluem desgaste adesivo,
desgaste abrasivo, desgaste por fadiga e desgaste reativo (incluindo desgaste por
difusão e desgaste por oxidação)[47-49]. Este trabalho investigou os dados de condição
de desgaste e força de corte de ferramentas para avaliar o desempenho dos
revestimentos.
A resistência ao desgaste do revestimento está relacionada à dureza,
módulo de elasticidade, força de adesão, estabilidade térmica, afinidade
química, etc. Os valores de H3/E2 para os três revestimentos neste artigo
são 0,62 para Ti85Si15N/AlTiN, 0,71 para Ti81Si19N/AlTiN e 0,72 para Ti75Si25N/
AlTiN. Da análise acima, Ti75Si25N/AlTiN deve ter melhor resistência ao
desgaste do que Ti81Si19N/AlTiN e Ti85Si15N/AlTiN. No entanto, o desgaste do
Ti75Si25N/ AlTiN foi significativamente maior que o de Ti81Si19N/AlTiN no
teste, o que pode estar relacionado com a composição química do
revestimento. H. Dong descobriu que Si3N4teria propriedades tribológicas
ruins com ligas à base de titânio, o que pode ser causado pelo grande
coeficiente de atrito entre Ti e Si3N4[50,51]. O desgaste adesivo do
revestimento é exacerbado pela circulação de fusão, soldagem e extrusão
da liga de titânio ligada à superfície do flanco. Ao mesmo tempo, a liga de
titânio presa à aresta de corte tem um efeito de passivação óbvio, o que
aumenta significativamente a força de corte[52]. A melhoria no desempenho
de corte também pode ser explicada por sua
R. Pu et ai. Journal of Manufacturing Processes 88 (2023) 134–144

Figura 10.Morfologia do desgaste da face lateral após corte em Vcde 120 m/min por 185 min: (a) Ti85Si15N/AlTiN; (b) Ti81Si19N/AlTiN; (c) Ti75Si25N/AlTiN.

Figura 11.Análise EDS de pontos emFig. 10(b') ponto A.

MDP. Foi relatado que revestimentos com maior MDP terão melhor módulo seria uma opção melhor.
desempenho no corte interrompido devido à sua tenacidade à fratura
superior contra as cargas de impacto contínuas. Ao contrário, revestimentos 4. Conclusão
com menor MDP terão melhor desempenho no corte contínuo devido a sua
maior elasticidade. Considerando as condições de usinagem deste trabalho, Neste artigo, o revestimento TiSiN/AlTiN foi preparado em substrato
um revestimento com menor valor de MDP e maior elasticidade de metal duro por evaporação do arco catódico, e o elementar

142
R. Pu et ai.
composição, estrutura de fase, propriedades mecânicas e desempenho de
corte do revestimento foram analisados.
O estudo mostra que, quando o teor de Si está na faixa de 0,15–0,25, o
TiN é a fase principal do Ti1 xSixN revestimentos e Si amorfo contínuo3N4
existe no limite de grão do TiN. Quando x = 0,19, Ti1 xSixO revestimento N
tem a maior dureza de 43,07 GPa. À medida que o teor de Si aumenta, o
módulo de elasticidade do revestimento diminui significativamente,
atingindo um mínimo de 314,46 GPa para Ti0,75Si0,25revestimento N. Testes
de raspagem a 120 N revelaram que o Ti81Si19O revestimento N/AlTiN tinha
uma força de ligação máxima de 111,78 N.
ti1 xSixO revestimento N/AlTiN tem a melhor resistência ao desgaste em x = 0,19 no
teste de corte na liga Ti-6Al-4V. Em comparação com os outros dois revestimentos, o Ti81
Si19O revestimento N/AlTiN tem uma taxa de redução de desgaste de 20% a 40% após o
corte por 185 min. ti81Si19O revestimento N/AlTiN também tem a menor força de corte e
uma amplitude de vibração relativamente pequena. Quando x =0,15, Ti1 xSixO
revestimento N/AlTiN tem a menor amplitude de vibração, mas também tem uma baixa
resistência ao desgaste devido ao seu pequeno H3/E2. Quando x = 0,25, o revestimento
tem um H máximo3/E2, mas o excesso de Si amorfo3N4
resulta em uma ligação severa da liga Ti-6Al-4V, aumentando a instabilidade
do corte.
Com os resultados acima, acreditamos que o Ti1 xSixO revestimento N/AlTiN
tem o melhor desempenho geral de corte em x = 0,19 devido ao seu grande H3/E2
e baixa afinidade com a liga Ti-6Al-4V. Este revestimento provou ser
adequado para corte em alta velocidade de Ti-6Al-4V e outras ligas similares.
Financiamento
Este trabalho foi apoiado pela Fundação Nacional de Ciências Naturais
da China (51875285), Fundação de Ciências Naturais da Província de Jiangsu
(BK20190066), Fundo de Jovens Professores Universitários da Fok Ying Tung
Education Foundation (171045, 20193218210002) e Fundos de Pesquisa
Fundamental para o Universidades Centrais (NE2020005).
Declaração de interesse concorrente
Os autores declaram que não têm interesses financeiros concorrentes
conhecidos ou relacionamentos pessoais que possam parecer influenciar o
trabalho relatado neste artigo.
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