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BRASILEIRA ISO
14644-2
Segunda edição
22.11.2019
associados
Parte 2: Monitoramento para fornecer evidência
do desempenho da sala limpa em relação à
limpeza do ar pela concentração de partículas
Cleanrooms and associated controlled environments
Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to
air cleanliness by particle concentration
Número de referência
ABNT NBR ISO 14644-2:2019
15 páginas
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Sumário Página
Prefácio Nacional................................................................................................................................iv
Introdução............................................................................................................................................vi
1 Escopo.................................................................................................................................1
2 Referência normativa..........................................................................................................1
3 Termos e definições............................................................................................................1
4 Criação, implementação e manutenção do plano de monitoramento...........................2
4.1 Princípio...............................................................................................................................2
4.2 Avaliação de riscos.............................................................................................................3
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Prefácio Nacional
A ABNT chama a atenção para que, apesar de ter sido solicitada manifestação sobre eventuais direitos
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de patentes durante a Consulta Nacional, estes podem ocorrer e devem ser comunicados à ABNT
a qualquer momento (Lei nº 9.279, de 14 de maio de 1996).
Os Documentos Técnicos ABNT, assim como as Normas Internacionais (ISO e IEC), são voluntários
e não incluem requisitos contratuais, legais ou estatutários. Os Documentos Técnicos ABNT não
substituem Leis, Decretos ou Regulamentos, aos quais os usuários devem atender, tendo precedência
sobre qualquer Documento Técnico ABNT.
Ressalta-se que os Documentos Técnicos ABNT podem ser objeto de citação em Regulamentos
Técnicos. Nestes casos, os órgãos responsáveis pelos Regulamentos Técnicos podem determinar as
datas para exigência dos requisitos de quaisquer Documentos Técnicos ABNT.
A ABNT NBR ISO 14644-2 foi elaborada no Comitê Brasileiro de Salas Limpas e Controladas
(ABNT/CB-046), pela Comissão de Estudo de Aspectos Gerais de Áreas Limpas (CE-046:000.001).
O Projeto de Revisão circulou em Consulta Nacional conforme Edital nº 07, de 03.07.2019 a
08.08.2019.
A ABNT NBR ISO 14644-2 é uma adoção idêntica, em conteúdo técnico, estrutura e redação, à
ISO 14644-2:2015, que foi elaborada pelo Technical Committee Cleanrooms and Associated Contrelled
Environments (ISO/TC 209).
A ABNT NBR ISO 14644-2:2019 cancela e substitui a ABNT NBR ISO 14644-2:2006, a qual foi
tecnicamente revisada.
A ABNT NBR ISO 14644, sob o título geral “Salas limpas e ambientes controlados associados”, tem
previsão de conter as seguintes partes :
—— Parte 5: Operações;
Scope
This Part of ABNT NBR ISO 14644 specifies minimum requirements for a monitoring plan for cleanroom
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or clean zone performance related to air cleanliness by particle concentration, based upon parameters
that measure or affect airborne particle concentration.
This Part of ABNT NBR ISO 14644 does not address condition monitoring of aspects such as
vibration or general maintenance of the engineering systems. It does not provide for monitoring of
particle populations that are outside the specified lower threshold particle-size range, 0,1 µm to 5 µm.
Concentrations of ultrafine particles (particles smaller than 0,1 µm) will be addressed in a separate
standard.
Introdução
Esta revisão da ABNT NBR ISO 14644-2 enfatiza a necessidade de considerar uma estratégia de
monitoramento, além da execução inicial ou periódica da classificação de uma sala limpa ou zona
limpa, de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1:2019, 5.1. A atividade de monitoramento fornece
um fluxo contínuo de dados ao longo do tempo, proporcionando assim uma visão mais detalhada do
desempenho da instalação.
A ABNT NBR ISO 14644-2 especifica os requisitos para um plano de monitoramento, com base na
avaliação de risco do uso pretendido. Os dados obtidos fornecem evidência do desempenho da sala
limpa ou zona limpa em relação à limpeza do ar por concentração de partículas.
1 Escopo
Esta Parte da ABNT NBR ISO 14644 especifica os requisitos mínimos para um plano de monitoramento
para o desempenho de sala limpa ou zona limpa, em relação à limpeza do ar por concentração
de partículas, com base em parâmetros que meçam ou afetem a concentração de partículas em
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suspensão no ar.
Esta Parte da ABNT NBR ISO 14644 não trata do monitoramento de parâmetros, como vibração ou
manutenção geral dos sistemas de engenharia. Ela não é aplicável ao monitoramento das populações
de partículas que se encontrem fora do intervalo especificado do limite inferior de tamanho de partícula,
ou seja, de 0,1 µm a 5 µm. As concentrações de partículas ultrafinas (partículas menores que 0,1 μm)
serão abordadas em norma separada.
2 Referência normativa
O documento a seguir é citado no texto de tal forma que seu conteúdo, total ou parcial, constitui
requisito para este Documento. Para referências datadas, aplicam-se somente as edições citadas.
Para referências não datadas, aplicam-se as edições mais recentes do referido documento (incluindo
emendas).
ABNT NBR ISO 14644-1, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 1: Classificação
da limpeza do ar pela concentração de partículas.
3 Termos e definições
Para os efeitos deste documento, aplicam-se os termos e definições da ABNT NBR ISO 14644-1 e os
seguintes.
3.1
ensaio
procedimento executado de acordo com um método estabelecido para determinar o desempenho de
uma instalação ou de um componente
3.2
monitoramento
observações feitas por medição, de acordo com um método estabelecido e um plano para fornecer
evidência do desempenho de uma instalação
Nota 1 de entrada: O monitoramento pode ser contínuo, sequencial ou periódico; e, se periódico, a frequência
deve ser especificada.
Nota 2 de entrada: Esta informação pode ser utilizada para detectar tendências no estado operacional e para
fornecer suporte ao processo.
3.3
limite de ação
valor de um parâmetro estabelecido pelo usuário, que, quando excedido, requer intervenção imediata,
incluindo investigação da causa, e ação corretiva
3.4
limite de alerta
valor de um parâmetro estabelecido pelo usuário, propiciando uma rápida sinalização de um desvio
das condições normais que, quando excedido, convém que resulte no aumento da atenção ou em
uma ação corretiva
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A fim de obter a garantia de que o desempenho de uma sala limpa ou zona limpa está adequado, um
plano de monitoramento deve ser criado, implementado e mantido para assegurar o controle requerido
da limpeza do ar por concentração de partículas.
Um plano de monitoramento deve levar em conta a classe requerida de limpeza de ar, os pontos
críticos e os parâmetros de desempenho da sala limpa ou zona limpa que afetem o desempenho da
instalação. Os seguintes passos devem ser incluídos na criação, implementação e manutenção do
plano de monitoramento:
—— analisar os dados obtidos da atividade de monitoramento, realizar uma análise de tendência onde
for apropriado e registrar o desempenho;
Para processos nos quais a produção de partículas é inerente ao processo, e onde estas partículas não
são uma ameaça para o processo ou produto, pode ser adequado confiar na classificação periódica
em repouso, ou classificação em operação simulada, em vez do monitoramento das partículas em
suspensão no ar, em condições operacionais. Podem ainda ser requeridos outros parâmetros de
desempenho e de limpeza para o monitoramento.
—— desenvolver um plano de monitoramento por meio da determinação dos fatores que possam
afetar a capacidade de manter, como acordada, a limpeza do ar por concentração de partículas
na sala limpa ou zona limpa, e
Ver o Anexo A (informativo) para diretrizes sobre o que considerar ao realizar uma avaliação de risco.
4.3.2 Listagem e justificativa de todos os parâmetros a serem monitorados, incluindo aqueles que
possam afetar a concentração de partículas em suspensão no ar.
4.3.3 Descrição e justificativa dos métodos de medição. Para mais orientações sobre considerações
ao desenvolver um plano de monitoramento, ver o Anexo A.
4.3.7 Especificação das ações a serem tomadas caso os dados estejam fora dos limites especificados.
4.3.10 Os métodos, incluindo os métodos estatísticos, a serem utilizados para a análise de tendência
ou outras análises apropriadas.
NOTA Os planos de monitoramento são revistos periodicamente e, com base no conhecimento adquirido
sobre a sala limpa ou zona limpa, o programa de monitoramento é revisado.
4.4 Calibração
Os instrumentos utilizados para o monitoramento devem ser adequados para executar as operações
requeridas de monitoramento, devem ter um certificado de calibração válido e devem estar em confor-
midade com as práticas normais aceitas para a frequência e o método de calibração.
NOTA Alguns contadores de partículas podem não estar calibrados para todos os ensaios requeridos na
ISO 21501-4. Se este for o caso, registrar no plano de monitoramento a decisão de utilizar o contador.
Caso a ação corretiva requeira mudanças significativas na instalação e/ou na sua operação, então
deve ser realizado o ensaio de classificação de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1. O plano de
monitoramento deve também ser revisado, como consequência das mudanças na instalação e/ou na
sua operação.
NOTA A ABNT NBR ISO 14644-3 especifica ensaios complementares relacionados a outros parâmetros
do desempenho de sala limpa, como diferencial de pressão, fluxo de ar etc.
Anexo A
(informativo)
A avaliação de risco pode ser efetuada utilizando uma série de ferramentas — separadamente ou em
combinação — incluindo, mas não limitado a
—— HACCP,
—— FMEA/FMECA,
—— PHA,
—— FTA, e
—— HAZOP.
—— compreensão das fontes de contaminação e seu impacto sobre a atividade na sala limpa ou zona
limpa nos pontos críticos, ou em locais representativos da limpeza geral do ar em uma sala limpa
ou zona limpa,
—— desempenho da instalação que possa afetar os limites de limpeza, como o diferencial de pressão,
a uniformidade do fluxo de ar, a vazão de ar, a eficácia de ventilação, a temperatura, a umidade
relativa,
A.2.9 Os resultados de quaisquer estudos de visualização de fluxo de ar, como “estudos de fumaça”,
simulações computadorizadas de modelagem de fluxo de ar ou outros estudos.
A.2.10 Compreensão da eficácia da ventilação na sala limpa ou zona limpa (já que esta eficácia
pode ser afetada pela taxa de movimentações de ar), compreensão dos estudos de recuperação ou
velocidade de descontaminação, ou qualquer outro método para compreender a taxa potencial de
remoção de partículas em suspensão no ar.
A.2.11 Alcance e/ou frequência dos procedimentos de limpeza ou de manutenção e seu impacto
sobre os limites de partículas em suspensão no ar, tanto durante a execução quanto imediatamente
após a conclusão do procedimento.
A.2.12 Considerações sobre eventos relacionados ao processo que possam afetar as condições
ambientais nos pontos de monitoramento. Tais eventos podem incluir (mas não estão limitados a)
desmontagem, limpeza e nova montagem do equipamento, como parte do ciclo do processo ou como
um elemento de serviço de manutenção.
NOTA Pode ser útil incluir no plano de monitoramento disposições para monitorar o tempo de recuperação
na conclusão de tais atividades, antes de retomar as operações normais.
A.2.14 As expectativas para o número de pessoas ativas na sala limpa ou zona limpa, a natureza de
sua ocupação e a duração das suas atividades.
A.2.15 Avaliação do impacto das mudanças geradas por equipamentos sobre os regimes de fluxo
de ar.
A.2.16 Avaliação de possíveis fontes de partículas geradas por equipamentos. Exemplos incluem
partículas geradas a partir de abrasão das superfícies em sistemas de transporte em movimento e
de processos, como selagem de ampolas de vidro e de soldagem de tubos por radiofrequência (RF).
NOTA Em alguns setores industriais, o armazenamento e a integridade dos dados são especificamente
regulados.
A.2.18 Estabelecimento de técnicas adequadas para a avaliação dos dados brutos, avaliação das
tendências e elaboração de relatórios.
A.3.2 O método para minimizar e administrar as flutuações causadas por distúrbios como aberturas
de porta ou funcionamento intermitente de sistemas de exaustão localizada. Um método comum é a
introdução de temporizador nos alarmes.
A.3.5 O diferencial de pressão pode ser monitorado por medição periódica ou por instrumentação
automatizada.
A.4.2 Configuração do sistema com base na avaliação das seguintes características do sistema:
NOTA 1 Estas considerações irão influenciar a escolha entre a utilização de múltiplos contadores de partículas
localizados nos “pontos de uso” ou a utilização de um único contador de partículas com um coletor multiplexador
e longos tubos de transporte de amostra.
NOTA 2 A utilização de longos tubos de transporte de amostra, como requerido pelos sistemas com coletor
multiplexador, é inadequada para monitorar os tamanhos de partículas ≥ 5 µm.
NOTA Pode não ser adequado posicionar a sonda de amostragem diretamente sob a insuflação de ar por
filtro de alta eficiência (HEPA) em uma configuração de fluxo de ar não unidirecional, pois tal ponto pode não
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ser representativo da sala limpa ou zona limpa, e pode impedir a detecção de contaminação em operação.
A.5.3 Localização do dispositivo de medição, de modo que a medição seja representativa do sis-
tema sendo monitorado.
NOTA Pode ser necessário avaliar os pontos para comprovar que as medições são representativas e não
são influenciadas negativamente pela turbulência do fluxo de ar ou por fluxo irregular em dutos ou por outros
fatores.
Anexo B
(informativo)
que estes limites forneçam uma base eficiente para iniciar uma resposta, como uma investigação
aprofundada ou uma maior observação (conhecida como um “limite de alerta”), e desencadear uma
resposta de ação corretiva (designada como um “limite de ação”). Convém que os itens seguintes
sejam considerados:
—— objetivo do monitoramento;
—— seleção de um alarme único para o limite de ação, ou de alarme duplo para os limites de alerta
e de ação;
—— risco de falha na reação ao “alerta” ou “ação”, devido à alta frequência dos alarmes. Isso pode
ocorrer pelo estabelecimento inadequado dos limites de alarme e pode resultar na não reação do
pessoal ou no desligamento dos alarmes;
—— como são administradas as flutuações normais aceitáveis nos parâmetros monitorados; por
exemplo, a análise racional para os temporizadores e os algoritmos para a taxa de mudança
preditiva dos sistemas;
—— capacidade de reagir a um “alerta”, natureza da reação e tempo permitido para a reação, antes
de evoluir para uma “ação”.
A fim de estabelecer os limites de alerta e ação para os diferenciais de pressão, é necessário estabe-
lecer a faixa normal de operação, incluindo, por exemplo, as flutuações devido à abertura de portas
e as interferências dos equipamentos. Os desvios desta faixa normal de operação podem então ser
estabelecidos em termos de: somente o valor do desvio ou o valor e tempo do desvio.
Convém que a abordagem descrita em B.2.1.1 e B.2.1.2 seja adotada para explorar e documentar as
flutuações de pressão.
As antecâmaras são projetadas para ajudar a manter os diferenciais de pressão durante a passagem
de pessoal ou de materiais, ao mudar de uma sala limpa ou zona limpa para outra. As antecâmaras são
projetadas ou operadas de modo que uma das portas do conjunto esteja sempre fechada. No entanto,
a menos que as portas estejam equipadas com vedações infláveis, o vazamento pela antecâmara é
geralmente maior quando uma das portas do conjunto é aberta do que quando ambas estão fechadas.
É necessário ensaiar e documentar essas variações normais para definir adequadamente os limites
de alerta e ação para os alarmes de pressão. Seguir estes procedimentos:
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—— para cada antecâmara, caixa de passagem ou câmara de transferência, abrir todas as portas, um
conjunto de portas opostas de cada vez, e anotar a variação de pressão da sala ou zona. Fechar
as portas e confirmar que os diferenciais de pressão voltaram aos seus valores iniciais;
—— frestas, como aquelas em torno das portas, devem ser avaliadas como parte do projeto de uma sala
limpa, para assegurar que a provisão para tais frestas é adequada para o balanceamento do ar.
—— repetir o ensaio para cada um dos diferentes estados operacionais dos equipamentos. Para cada
estado, observar os diferenciais de pressão em regime estabilizado entre as salas ou zonas
selecionadas, anotando as flutuações pequenas normais que ocorrem devido ao vento e outros
efeitos dinâmicos.
B.2.2.1 Depois de observar e registrar as faixas normais de operação, recomenda-se que uma
definição de pressão para o dispositivo de sinalização da medição de pressão seja selecionada: para
um regime de pressão positiva, alguns pascals abaixo da menor observação de pressão; para um
regime de pressão negativa, alguns pascals acima (valor orientativo 2 Pa a 3 Pa).
B.2.2.2 Muitas vezes é necessário retardar o alarme de alerta ou ação para propiciar uma atividade
normal na sala limpa, como a abertura de portas para permitir a entrada e saída de pessoal. A obser-
vação cuidadosa da duração do desvio normal típico ou esperado é necessária para determinar o retar-
damento apropriado. Desvios que ultrapassam as durações normais devem ativar o aviso de alerta.
B.2.3.1 Quando forem utilizados comutadores de pressão, assegurar que a ação da comutação
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de pressão seja repetível e que qualquer histerese do comutador seja considerada e integrada no
estabelecimento do limite de alerta ou ação.
B.3.1.1 O objetivo de monitorar a concentração de partículas em uma sala limpa (ou zona limpa)
em operação é comprovar que o limite requerido de limpeza é alcançado nos pontos críticos de
controle. Convém que a análise de risco e a avaliação dos dados de classificação formal da sala limpa
(ou zona limpa), de acordo com a ABNT NBR 14644-1, sejam utilizadas para determinar os pontos
de monitoramento (pontos críticos de controle). Convém que os limites de alerta e ação identificados
forneçam uma informação eficiente para permitir o gerenciamento das mudanças de desempenho e a
identificação de desvios dos critérios de aceitação estabelecidos.
NOTA Os princípios estatísticos de controle de processo podem ser utilizados para estabelecer os limites
de alerta e ação com base na análise dos dados históricos.
B.3.1.2 É essencial estabelecer métodos apropriados para sinalizar ou indicar quando os valores
de contagem de partículas atingem os limites de alerta ou ação.
B.3.1.3 Ao estabelecer os limites de alerta e ação, é importante estar ciente da alta variabilidade das
concentrações de partículas em suspensão no ar, no tempo e em pontos diferentes. Em particular, um
cuidado especial deve ser tomado quando se consideram os limites de alerta e ação para classes de
limpeza ISO Classe 5 e mais limpas, com baixas concentrações de partículas. Nestas circunstâncias,
a ocorrência de “alarmes indesejáveis” é mais provável, devido às contagens falsas e/ou variabilidade
natural da concentração de partículas, e deve ser evitada pela seleção cuidadosa dos limites de alerta
e ação. Convém que frequentes alarmes “indesejáveis” sejam evitados, pois podem levar os usuários
a não considerá-los.
do período seguinte. É importante que a localização da amostra não mude substancialmente sem a
devida consideração do impacto sobre a tendência histórica e os limites de alerta e ação.
B.3.2.1 Inicialmente, medir e registrar a concentração de partículas nos pontos críticos de controle
selecionados, nos estados ocupacionais “em repouso” e “em operação”, por um período significativo de
tempo. Convém que sejam obedecidos o tempo de amostragem e o volume da amostra estabelecidos.
A partir deste conjunto de dados, o desempenho normal esperado da sala limpa (ou zona limpa) pode
ser determinado e tornar-se a base para o estabelecimento dos limites de alerta e ação. Prevê-se que
estes valores normais estejam abaixo do limite da classe ISO de limpeza ou do limite de ação.
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B.3.2.2 Pode ser necessário realizar a observação por um período subsequente, quando ocorre
uma mudança significativa no projeto ou na operação da instalação.
B.3.2.3 Os dados de contagem de partículas têm algumas características únicas que convém que
sejam compreendidas. As seguintes considerações são importantes:
b) é uma boa prática investigar as leituras de contagem de partículas consistentemente inferiores
aos limites esperados, pois isso pode ser uma indicação de mau funcionamento do contador de
partículas, do sistema de coleta de amostra de ar ou da instrumentação de registro dos dados;
c) a faixa aceitável de concentração de partículas para o estado “em repouso” pode ser
significativamente menor do que no estado “em operação” em regimes de fluxo de ar não
unidirecionais;
d) os valores de aviso e alerta podem precisar ser diferentes para os diversos pontos de amostragem
dentro da mesma sala ou zona;
e) a atividade normal na sala pode criar aumentos momentâneos de contagem de partículas que
podem ser aceitáveis.
B.3.2.4 Para garantir a qualidade dos dados de monitoramento de partículas, e para ajudar
a comparação dos dados a partir de amostras subsequentes de ar, é essencial que a posição e
a orientação da sonda de amostragem sejam consistentes. A coerência da localização física da
amostragem e da orientação da sonda de amostragem pode ter um efeito substancial sobre a
qualidade dos dados, especialmente quando existe uma necessidade de comparar os valores de
um período de amostragem para outro. Mudanças do local ou da orientação de amostragem podem
ter um efeito negativo sobre as tendências históricas e os alarmes dos limites de alerta e ação. Um
exemplo disto ocorre quando a insuflação de ar na sala limpa ou zona limpa passa por filtros terminais
HEPA ou de ultrabaixa penetração (ULPA), adjacentes uns aos outros. Nesta situação, movendo a
posição da amostra somente de uma curta distância, por exemplo 0,5 m, pode levar a amostrar o ar de
um filtro diferente do que o anteriormente amostrado, tornando-se assim impossível de comparar os
dados de limpeza com amostras diferentes. Na maioria dos casos, um reposicionamento significativo
da sonda de amostragem deve ser considerado como o estabelecimento de uma nova localização,
desencadeando uma nova série de observações para determinar os alarmes apropriados dos limites
de alerta e ação.
B.3.3 Estabelecimento dos alarmes para limites de alerta e ação para contagens de
partículas
B.3.3.1 Os princípios descritos em B.3.3.2 a B.3.3.8 são importantes para estabelecer os alarmes
para limites de alerta e ação.
B.3.3.2 Selecionar um único limite de alarme de ação ou uma abordagem dupla de limites de
alarmes de alerta e ação. Em algumas indústrias ou aplicações, dois limites de alarme - denominados
alerta e ação - são empregados como uma medida de controle de qualidade e ferramenta de resposta.
B.3.3.3 Estabelecer os alarmes para limites de alerta ou ação entre a faixa normal de operação e
o limite de classe de limpeza.
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B.3.3.4 É importante estabelecer corretamente o alarme do limite de alerta. Isto vai assegurar que
a ocorrência de um aviso de alerta provavelmente vai gerar uma ação corretiva em vez de criar uma
ocorrência falsa e irritante ou “alarme indesejável”, que muitas vezes pode resultar em operadores
ignorando o aviso.
B.3.3.7 A duração da coleta precisa ser considerada em termos de risco admissível. Estabelecer
uma duração maior de coleta pode suavizar os dados e evitar potenciais “alarmes indesejáveis”, mas
pode ocultar um nível inaceitavelmente elevado de concentração de partículas em suspensão no ar
durante um curto período, causado por um evento incomum de geração de contaminação.
B.3.4.2 Estratégia alternativa 1: Um valor de disparo limite inferior, com base em uma série de
leituras consecutivas mais elevadas. As leituras mais elevadas disparam um aviso baseado na
ocorrência de um nível mais elevado de contagens, permanecendo durante um período de tempo (por
exemplo, três leituras consecutivas de 1 min, todas acima de um nível especificado).
B.3.4.3 Estratégia alternativa 2: Um valor de disparo limite inferior, com base em uma alta frequência
de leituras elevadas. Às vezes chamada de “x de y”, esta estratégia registra as leituras que estão
acima de um limite inferior especificado; se um número suficiente de leituras em uma série estiver
acima dos valores especificados, então um alarme de alerta ou ação é disparado. Por exemplo, se
três das últimas dez leituras forem acima de um limite inferior, então um alarme de alerta ou ação é
disparado.
NOTA BRASILEIRA A expressão “limite inferior” é a tradução da palavra original “threshold”, devido ao
seu significado técnico.
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Bibliografia
[1] ABNT NBR ISO 14644-4:2009, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 4:
Projeto, construção e partida
[2] ISO 14644-12, Cleanrooms and associated controlled environments – Part 12: Specification for
monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
[3] ABNT NBR ISO 14644-3, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 3: Métodos
de ensaio
Exemplar para uso exclusivo - SENAI DN - SERVIÇO NACIONAL DE APRENDIZAGEM INDUSTRIAL - SENAIDN - 33.564.543/0001-90
[4] ISO 21501-4:2007, Determination of particle size distribution – Single particle light interaction
methods – Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces
[7] ISPE. Best Practices in Total Particulate Monitoring in Cleanrooms. RABS, and Isolators, 2013
[8] PHSS Technical Monograph No.16: 2008, Best Practice for Particle Monitoring in Pharmaceutical
Facilities