Introduo [1]

Universidade Estadual Paulista UNESP

Faculdade de Engenharia de Ilha Solteira
Departamento de Engenharia Mecnica

MICROSCOPIA ELETRNICA DE VARREDURA

Carga didtica: 4 horas/semana (tericas/prticas)
teras-feiras: 08-12 horas

Professor: Juno Gallego

E-mail: gallego@dem.feis.unesp.br
1>

Introduo

Apresentao do curso:
Metodologia
Contedo programtico
Critrio de avaliao
Bibliografia bsica

2>

Introduo
Metodologia:

teoria

prtica

= MICROSCOPIA ELETRNICA DE VARREDURA

Material de apoio disponvel na Internet:
http://www.feis.unesp.br/#!/departamentos/engenharia-mecanica/
grupos/maprotec/educacional/microscopia-eletronica-de-varreduta/

3>

Introduo
Contedo Programtico:
1 Introduo
1.1 Histrico
1.2 Espectro eletromagntico
1.3 Justificativas para a aplicao da microscopia eletrnica na
caracterizao nanoestrutural nas reas das engenharias e das
cincias biolgicas
2 Conceitos bsicos em microscopia eletrnica
2.1 Instrumentos ticos
2.2 Visualizao e contraste
2.3 Magnificao e resoluo
2.4 Profundidade de campo
2.5 Distncia de trabalho (work distance)
2.6 Dimetro do feixe eletrnico (spot size)
2.7 Captura de imagens
2.8 Processamento de digital de imagens

4>

Introduo
Contedo Programtico:
3 Interao feixe de eltrons amostra
3.1 Espalhamento dos eltrons pelos tomos da amostra: volume de interao
3.2 Emisso de eltrons com alta energia (retroespalhados)
3.3 Emisso de eltrons com baixa energia (secundrios)
3.4 Produo de raios-X
3.5 Outras interaes entre o feixe incidente e a amostra
4 Estrutura e componentes do Microscpio Eletrnico de Varredura
4.1 Introduo
4.2 Fonte de eltrons (electron gun)
4.3 Lentes magnticas e suas aberraes pticas
4.4 Bobinas de varredura
4.5 Aberturas
4.6 Manipulao de amostras (specimen stage)
4.7 Sistemas de alto vcuo e presso varivel
4.8 Detectores SE / BSE / VPSE / STEM / EDS / EBSD

5>

Introduo
Contedo Programtico:
5 Operao do Microscpio Eletrnico de Varredura
5.1 Formao de imagens topogrficas
5.1.1 Efeito da acelerao do feixe de eltrons
5.1.2 Efeito da distncia de trabalho
5.1.3 Efeito do posicionamento da amostra
5.2 Formao de imagens composicionais
5.2.1 Efeito do volume de interao
5.2.2 Contraste de nmero atmico
5.3 Formao de imagens cristalogrficas (EBSD)
5.3.1 Textura
5.3.2 Mapas de orientao
5.4 Microanlise qumica por espectroscopia de energia dispersiva dos eltrons (EDS)

5.4.1 Deteco dos ftons de raios-X

5.4.2 Limitaes da tcnica
5.4.3 Correes devido fluorescncia, absoro e natureza qumica (ZAF)

5.4.4 Anlise qualitativa e quantitativa

6>

Introduo
Contedo Programtico:
6 Tcnicas bsicas para preparao de amostras MEV
6.1 Materiais metlicos
6.2 Materiais cermicos
6.3 Materiais polimricos
6.4 Materiais biolgicos
7 Aplicaes do Microscpio Eletrnico de Varredura na caracterizao
estrutural de materiais orgnicos, inorgnicos e tecnolgicos:
estudo de casos

7>

Introduo
Critrio de avaliao:
A nota final de aproveitamento NA ser calculada pela frmula:

NA = 0,5.T + 0,3.P + 0,2.S

onde T a nota da prova terica que envolve todo o contedo ministrado,
P a nota da prova prtica operacional aps a obteno dos resultados
apresentados no seminrio S, cujo tema necessariamente est condicionado
aplicao da tcnica ao seu trabalho de pesquisa.
Nota de Aproveitamento / Conceito:
de 9,0 a 10,0 = A
de 7,0 a menor que 9,0 = B
de 5,0 a menor que 7,0 = C
Menor que 5,0 = D (reprovado)

8>

Introduo
Bibliografia:
Goldstein, J. I.; Newbury, D. E.; Echlin P.; Joy, D. C.; Lyman, C. E.; Lifshin G.;
Sawyer, L.; Michael, J. R. Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis,
Third Edition. Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, 2003, 689p.
Stokes, D. J. Principles and Practice of Variable Pressure Environmental Scanning
Electron Microscopy (VP-ESEM). John Wiley & Sons Ltd, West Sussex, 2008, 221p.
Johnson, R. Environmental Scanning Electron Microscopy: An Introduction to ESEM.
Philips Electron Optics, Eindhoven, 1996, 55p.
Egerton, R. F. Physical Principles of Electron Microscopy: An Introduction to TEM,
SEM and AEM. Springer Science+Business Media, Inc., New York, 2005, 202p.
Reed, S. J. B. Electron Microprobe Analysis and Scanning Electron
Microscopy in Geology. Cambridge University Press, New York, 2005, 192p.
Adam J. Schwartz, A. J.; Kumar,M.; Adams, B. L.; Field, D. P. Electron Backscatter
Diffraction in Materials Science, Second Edition. Springer Science+Business Media
LLC, New York, 2009, 403p.
Goodhew, P. J.; Humphreys, J.; Beanland, R. Electron Microscopy and Analysis.
Taylor & Francis Inc.,New York, 2001, 251p.
Notas de aula preparadas pelo Prof. Juno Gallego para a disciplina Microscopia Eletrnica de Varredura.
2015. Permitida a impresso e divulgao.
http://www.feis.unesp.br/#!/departamentos/engenharia-mecanica/grupos/maprotec/educacional/