Universidade Federal de Ouro Preto

Escola de Minas
Departamento de Engenharia Mecânica _ PROPEM

Microscopia Eletrônica de
Varredura (MEV)

Gustavo Henrique Nascimento e Silva

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e-mail: gustavosilvamec@Hotmail.com
 CONCEITO E INTRODUÇÃO

Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) é um instrumento muito versátil e

usado rotineiramente para a análise microestrutura de materiais sólidos.

A grande vantagem do MEV em

relação ao microscópio ótico é
sua alta resolução, na ordem de
2 a 5 nm, enquanto que no
ótico é de aprox. 0,5 µm

Apesar ser um equipamento mais complexo o resultado obtido e de fácil interpretação

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 PRINCÍPIO DE FUNCIONAMENTO

O princípio de funcionamento de um MEV consiste em utilizar um feixe de elétrons de pequeno

diâmetro para explorar a superfície da amostra, ponto a ponto, provocando uma serie de emissão de
radiação. O sinal recolhido pelo detector que transforma o sinal captado em imagens em uma tela de
computador.

Como resultado da interação do feixe de elétrons com a superfície da amostra, uma série de
radiações são emitidas tais como:
• Elétrons secundários Os elétrons secundários fornecem imagem de topografia da superfície da
• Elétrons retroespalhados, amostra e são os responsáveis pela obtenção das imagens de alta
• Raios-x característicos, resolução, já os retroespalhados fornecem imagem característica de
variação de composição
• Fótons, entre outros

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VANTAGENS E DESVANTAGENS / MEV EM ANALISE DE FALHA E ENSAIOS

VANTAGENS
• Fácil interpretação dos resultados obtidos;

• Elevada profundidade de foco (imagem com aparência tridimensional);

• Possibilidade de combinar a análise microestrutural com a microanálise
química (qualitativas e quantitativas);

DESVANTAGENS

• Elegibilidade da amostra (úmidas, não condutora...);

• Procedimento/Técnica de alto custo;

• Mão de obra qualificada;

Análise microestrutural / Ensaios

A análise com o MEV em matérias pode ser usada para estudo do modulo ou causa de falhas (fratura ou deformações). Através do MEV pode-
se analisar a natureza da fratura e definir em ensaios como Tração/compressão, impacto, dobramento entre outros, o tipo de fratura sofrida
pela amostra, diferenciando fraturas dúcteis de frágeis, além de elencar diversos fatores de estruturais da amostra.
O MEV é ideal para analisar linhas de soldas, trincas, porosidades e morfologia dos matérias

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COMPONENTES DO MEV

Responsável pela emissão dos elétrons

A lente condensadora controla o

tamanho do Feixe "crossover" e o ângulo
de divergência do feixe de elétrons que
passa para a lente objetiva. (não
arrefecido)

Defletir o feixe de elétrons sobre a

amostra

Focar a imagem variando a distância

focal do feixe eletrônico ao longo do eixo
ótico (deve ser arrefecido)

Coletar as interações e converter o sinal

para ser transmitido na tela do
computador.

Todo o sistema e submetido ao um vácuo, para evitar

interação dos eletros com a os átomos da atmosfera

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 COMPONENTES DO MEV

TIPOS DE FONTES EMISSORAS DE ELÉTRONS

Emissora Termoiônicas Emissora Por Efeito de

Campo

Aquecimento do Filamento Campo Eletromagnético

Focalização dos elétrons dentro
do canhão (crossover).
Emissão Emissão

A diferença de potencial entre o filamento e o ânodo determina a velocidade, a energia e o

comprimento de onda do feixe de elétrons

Para que uma fonte de elétrons seja considerada uma boa fonte, alguns parâmetros de desempenho
devem ser considerados:
• Densidade de corrente (Brilho)
• Tempo de vida
• Estabilidade da fonte
• Crossover (diâmetro do feixe da fonte eletrônica)

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 INTERAÇÕES ELÉTRONS-AMOSTRA

O elétron do feixe ao atingir a superfície da amostra irá interagir com os átomos da amostra

• Interação Elástica: ocorre a mudança na trajetória do elétron, sem que ocorra variação na sua
energia cinética;

• Interação Inelástica: em que há transferência de energia do elétron primário (feixe) para os

átomos da amostra;

A profundidade de penetração dos elétrons depende da composição do material a qual influencia

tanto o espalhamento elástico quanto o inelástico

Após essa interação entre elétrons e amostra

irão desencadear alguns fenômenos com:

• Elétrons segundarios
• Elétrons retroespalhado
• Energia dispersiva

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 DETECTORES

Informação quantitativo de elementos

Através da energia dos átomos
(Analisador de Raios X)

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 PREPARO DA AMOSTRA

PROPRIEDADES DA AMOSTRA
• Amostras resistentes ao vácuo e ao bombardeamento de elétrons e ser solido;
• Pré-tratamento e preparo adequado para cada categoria de material;
• Recobrimento de amostras não condutoras;

SUPORTE E APARATOS
• Escolha do tipo de suporte a fixar a amostra;
• Fixação correta da amostra no suporte (Stub);

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1) Explique a emissão de elétrons em um filamento de tungstênio e como os mesmos são
acelerados pelo canhão de elétrons.

2) Qual seria o tipo de sinal/elétron mais recomendado para a obtenção de imagens

topográficas? E para imagens composicionais?

3) Cite pelo menos duas vantagens e desvantagens da utilização do MEV?

4) Explique qual a função da grade (cilindro de wenhnet) em uma fonte termoiônica e qual
a finalidade dos dois Anodos contido na fonte de Campo?