MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE

VARREDURA

Cesar Aguzzoli
 Revisão

Spot size (diâmetro de feixe) resolução da imagem

sinal SE
corrente de feixe (i) sinal BSE
Raios X

ângulo de
convergência profundidade de foco
do feixe ()
Revisão

𝐶𝑜𝑟𝑟𝑒𝑛𝑡𝑒 𝑓𝑒𝑖𝑥𝑒 𝑖𝑏
𝐽𝐵 = = 2
Á𝑟𝑒𝑎 𝑒𝑚𝑖𝑠𝑠ã𝑜 𝑑
𝜋
2
𝐶𝑜𝑟𝑟𝑒𝑛𝑡𝑒 4𝑖𝑏
𝛽= =
Á𝑟𝑒𝑎 ∙ Â𝑛𝑔𝑢𝑙𝑜 𝑠ó𝑙𝑖𝑑𝑜 𝜋𝑑 2 ∙ 𝛼 2

1
𝛽 → 𝑘𝑉 𝛽 →
𝑇𝑓𝑖𝑙𝑎𝑚
 Revisão
Brilho Tempo de vida Tamanho da fonte Estabilidade da
Fonte
(A/cm2·sr) (h) (no crossover) corrente do feixe
W 105 40 – 100 30 – 100 µm 1%
LaB6 106 200 – 1.000 5 – 50 µm 1%
FEG 108 > 10.000 < 5 nm 5%

Corrente do filamento → controla o tamanho do filamento e

o número de elétrons emitidos.

Potencial de polarização → controla o tamanho da região do

filamento (controla a área e a corrente de feixe – ↑ I na
condensadora → ↓ spot e ↓ feixe de corrente ao atingir a
amostra).
Revisão
 Lentes eletromagnéticas
• O objetivo do sistema de lentes do MEV, situado
logo abaixo do canhão de elétrons, é o de
demagnificar a imagem do “crossover” (d0 10-
50 μm, final 1 nm – 1 μm ao atingir a amostra,
demagnificação de 10.000x, para emissão
eletrostática a demagnificação 10-100x).

• Aberrações
Lentes eletromagnéticas

• No MEV o objetivo das lentes

eletromagnéticas é o de formar o menor
diâmetro de feixe possível.

• Em geral o sistema é composto por três lentes

condensadoras sendo a última chamada de
objetiva.
Lentes eletromagnéticas: Função

Lentes Condensadoras
• As duas primeiras condensadoras atuam no
sentido de colimar o feixe de primário
demagnificando a imagem do “crossover”.

• São refrigeradas a ar.

Lentes objetiva
• A lente objetiva reduz aberrações esféricas.

• Principal papel é focar a imagem variando a

distância focal do feixe eletrônico ao longo do eixo
ótico (eixo Z) da coluna.

• Lente com potência alta, com uma corrente

fluindo através de suas bobinas, necessita ser
refrigerada. Contém bobinas defletoras, as
bobinas de correção do astigmatismo e a abertura
final.
Diagrama esquemático de uma lente
eletromagnética
No interior do cilindro
envolvendo o eixo ótico
existem bobinas que
circula uma corrente.
Quando a lente está em
operação existe um
campo magnético
homogêneo por onde
passa o feixe de elétrons
primários.
Lentes eletromagnéticas
 Lentes eletromagnéticas

𝐹 = −𝑒 𝑣 × 𝐵

Deflexão dos elétrons: prop. intensidade corrente (prop. B)

Deflexão dos elétrons: proporcional (1 / energia elétrons)
O campo magnético dentro da fenda tem
duas componentes:
• Ao longo da direção do eixo ótico (Bz);
• Perpendicular ao mesmo (Br).

O campo perpendicular causa o movimento em

espiral dos elétrons que causa a rotação da
imagem quando a corrente na lente final é
alterada (mudança de altura).
Lente eletromagnética
• Lentes condensadoras: controlam o spot size.
• Lentes objetivas: utilizadas para focar a
imagem.
• Bobinas de varredura: utilizadas para defletir o
feixe em uma linha através da amostra.
• Abertura final: controla o ângulo de
convergência do feixe.
• Amostra: a posição da amostra controla a
distância de trabalho (WD) e dão a
profundidade de foco.
Configurações de lentes no MEV
Representação esquemática da coluna
eletrônica
Distância focal
• A distância da superfície da amostra a parte inferior da
lente objetiva é chamada de distância de trabalho (DT)
ou work distance (WD).
• Quando se altera a altura da amostra em análise a
superfície da amostra perde foco. Neste caso o foco é
obtido ajustando a corrente da lente objetiva.
• A distância focal (ƒ) diminui com o aumento da corrente
nas bobinas, tornando a lente mais intensa.
• Microscópios variam a corrente das lentes em função
do aumento da tensão do feixe compensando assim a
mudança na distância focal.
 Demagnificação do feixe eletrônico
1 1 1 Objeto
= +
𝑓 𝑝 𝑞
Descreve a distância focal
p

𝑞
𝑚=
𝑝
Centro da lente
ƒ
q
Ponto onde um raio paralelo ao eixo Imagem
cruza o eixo pela ação da lente.
Mínimo “spot size”

p: constante
q: varia com i condensadora
i lente proporcional 1/f
i lente prop. 1/spot(d1)

i lente prop. ao ângulo de divergência dos elétrons no ponto

de entrecruzamento abaixo da lente condensadora.
Ótica geométrica da demagnificação do feixe eletrônico para uma
coluna com duas lentes: uma condensadora e uma objetiva.

(a) com pequena distância de trabalho e (b) com grande distância de

trabalho
Efeito do tamanho da abertura final
• A abertura final (objetiva: 50-300 µm).
• Diminui o α1 dos elétrons da condensadora para um
ângulo α2 dos elétrons que entram na objetiva.
• O ângulo final de divergência α2 irá determinar a
profundidade de foco e que está relacionado com o
tamanho da abertura final.

• Pequenos ângulos α2 causam maior profundidade de

foco;
• Aumento abertura prop. spot, α1.
Efeito da distância de trabalho (WD)
A lente objetiva foca o feixe final em diferentes alturas.

Para que o feixe final possa ser focado a uma distância

maior da objetiva, aumentando a WD, a corrente na lente
objetiva diminui e a distância focal ƒ2 da lente aumentara.

O ângulo de convergência α2, neste caso, diminui e como

consequência tem-se um aumento na profundidade de
foco.

i lente prop. 1/ƒ; α2; 1/spot

Convergência x spot size
Abertura x foco
Fenda da objetiva (Wobbler)
Fenda da objetiva (Wobbler)

Diâmetro da
Escala Corrente do feixe Objetivo
fenda (µm)
Alta resolução; baixa corrente; grande
4 30 Pequena
profundidade de foco
3 50 Observação usual
Alta resolução com alta corrente;
2 70
Profundidade de foco reduzida
Observação a alta corrente;
1 110 Grande
Profundidade de foco muito pequena
0 1000 ---------------- Alinhamento do feixe
Aberrações das lentes
• Se a deflexão não é ideal da lente magnética,
erros óticos na formação do feixe são
introduzidos.

• As principais aberrações das lentes

eletromagnéticas são:
• Astigmatismo
• Aberração esférica
• Aberração cromática
 Astigmatismo
Resultado do campo
magnético assimétrico.
Devido a assimetria a
lente apresentara uma
forma elíptica ao invés
de circular.
Astigmatismo
Correção do astigmatismo
 Aberração esférica
1 A aberração esférica ocorre quando a
𝑑𝑆 = 𝐶𝑆 𝛼 3 trajetória dos elétrons que estão mais
2 distantes do centro do eixo ótico é muito
ds – diâmetro do disco mais defletida (curvados) pelo campo
Cs – coeficiente da aberração esférica magnético do que a trajetória dos elétrons
α – ângulo de saída do feixe próximos ao eixo.

QQ' = Cs 3
Para diminuir esta aberração usa-se uma
abertura menor na lente objetiva.
Infelizmente isto causara uma diminuição na
corrente do feixe.

Plano imagem
 Aberração cromática

A aberração cromática ocorre como resultado da

variação de energia dos elétrons do feixe primário. A
deflexão da trajetória dos elétrons depende da sua
posição e energia.
Os elétrons posicionados a uma mesma distância do
centro do eixo eletrônico, serão focados em pontos
diferentes dependendo dos valores de suas energias.

Diminui aberração com aumento da energia do feixe.

Aberração cromática

Δ𝐸
𝑑𝐶 = 𝐶𝐶 𝛼
𝐸0
dc – diâmetro do disco formado antes do plano da imagem
Cc – coeficiente da aberração cromática
α – ângulo de convergência
ΔE/E0 – variação fracional na energia do feixe de elétron