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CAMPINAS – SP
2023
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UNIVERSIDADE FEDERAL DOS VALES DO JEQUITINHONHA E MUCURI
Instituto de Ciência, Engenharia e Tecnologia
CAMPINAS – SP
2023
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Sumário
Introdução .............................................................................................. 4
Apresentação da Empresa ................................................................... 5
Identificação da empresa ..................................................................... 5
Area do estágio .................................................................................... 5
Apresentação da linha de luz SAPE .................................................... 6
Objetivo ................................................................................................ 15
Metodologia ......................................................................................... 16
Estudo da geometria .......................................................................... 16
Simulação térmica ............................................................................. 21
Resultados ........................................................................................... 29
Discussão ........................................................................................... 33
Conclusão ........................................................................................... 36
Referências ......................................................................................... 37
Anexos ................................................................................................ 38
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Introdução
O estágio supervisionado é uma etapa importante na vida acadêmica, é a
oportunidade de vivenciar na prática conteúdos até então teóricos, proporcionando a
aquisição de conhecimentos e atitudes relacionadas à prática da profissão
escolhida. Além disso, é a oportunidade de elucidar questões levantadas em sala de
aula e que somente é possível conhecer na prática. Outro ganho com o estágio seria
o pessoal, a convivência em um ambiente real de trabalho com seus problemas e
soluções, faz com o aluno possa crescer de maneira pessoal, social, cultural e
científica.
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Apresentação da empresa
A solução para os desafios nas áreas de engenharia, energia, saúde, meio ambiente
e agricultura exige a compreensão da estrutura da matéria e de mecanismos em
escala molecular e atômica. Isso torna possível o desenvolvimento de materiais e a
otimização de processos, para as mais diversas aplicações. Em ciência básica,
expande o nosso conhecimento sobre a vida e a natureza. [1]
Identificação da empresa
Nome: CNPEM - Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais
Endereço: Polo II de Alta Tecnologia - R. Giuseppe Máximo Scolfaro, 10000 -
Bosque das Palmeiras, Campinas - SP, 13083-100
Telefone: (19) 3512-1000
Area do estágio
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Apresentação da linha de luz SAPE
Dentre as linhas de luz (estações experimentais que recebem radiação em
determinada faixa de energia e onde são analisados os materiais) do Sirius, a linha
SAPÊ, com luz entre 8 e 60 eV, na faixa do ultravioleta de vácuo (VUV), será
dedicada à técnica de espectroscopia de fotoemissão com resolução angular,
ARPES (Angle Resolved PhotoEmission Spectroscopy). [2]
Até o presente momento a linha de Luz SAPE conta com duas câmaras de vácuo, a
câmara principal e a câmara de preparação, figura 1 e 2 respectivamente, mas a
intenção é ter outras 3 câmaras de vácuo. Meu trabalho foi concentrado na câmara
de preparação, entretanto tive constante contato com a câmara principal, onde é
executado a técnica de ARPES, principal técnica da linha. Já a câmara de
preparação tem como objetivo preparar as amostras que iram entrar na câmara
principal. O controle fino dos processos de preparação de amostra como annealing e
Sputtering são suma importância para garantir que à medida que será feita na
Câmara principal seja a melhor possível.
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Figura 1 - Câmara Principal (ARPES) da Linha SAPE
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Figura 2- Câmara de preparação da Linha SAPE
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A Câmara tem dois processos de limpeza da amostra, eles são, annealing e
sputtering, esses processos são extremante delicados e é necessário um controle
muito fino de todos os parâmetros para não estragar a amostra. Existem também
outros elementos na câmara, como o LEED, que garante que a amostra está bem-
preparada.
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Figura 3 - Sputtering gun da câmara de preparação
FONTE: Autor
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Figura 4 - Mecanismo dos ciclos de Sputtering e Anneling
Após os ciclos de sputerring e annealing, amostra passar por uma difração de raio X
de baixa energia que consegue remover elétrons da superfície do material. Na
câmara de preparação a eletrônica LEED é que faz esse trabalho, figura 5.
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Figura 5 - LEED da câmara de preparação
FONTE: Autor
Usar o LEED nos permite verificar se a amostra está realmente limpa, ou seja, se a
superfície da rede cristalina foi inteiramente reconstruída, nas imagens geradas pelo
LEED podemos identificar padrões, como por exemplo na figura 6, onde foi feito
esse processo numa amostra de platina após ser ter sido passada pelos cílios de
sputtering e annealing. [3]
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Figura 6 - Padrão LEED de uma amostra de Platina
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Existe também na câmara de preparação, equipamentos chamados de
evaporadoras, figura 7. Elas são usadas para crescer monocamadas finas
determinados materiais.
FONTE: Autor
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Objetivo
Este trabalho tem como objetivo propor uma melhoria no processo de annealing da
câmara de preparação da linha de luz SAPE.
Desta forma, o principal objetivo é construir uma peça que sirva de suporte para um
termopar de forma que ele ficasse o mais perto suficiente da amostra.
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Metodologia
Estudo da geometria
Antes de executar a fabricação da peça foi necessário fazer uma longa discussão
sobre a geometria do problema, pois existiam alguns parâmetros que não poderiam
ser ignorados. Como pode ser visto pela seta vermelha na figura 8, a estação onde
acontece o annealing possui um filamento e o mesmo é muito delicado, então a
peça que serviria de suporte não poderia encostar nele, a peça também deveria ter
contato térmico com o porta mostra de alguma forma, e o fio do termopar não
poderia ser prensado em algum lugar pois isso facilitaria sua falha durante a retirada
do porta amostra. Nesta mesma figura, indicado pela seta azul, é possível ver o
sensor de temperatura instalado pela fabricante que não satisfaz as necessidades
da linha.
Figura 8 – Filamento e sensor de temperatura da estação de annealing
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A primeira parte da análise foi pensar em algum jeito de deixar o termopar mais
próximo possível da amostra, desta forma a opção que foi escolhida foi fazer um
rasgo no porta mostra onde a peça poderia encaixar no mesmo, como pode ser visto
na figura 9 e 10, essa opção proporcionou que a peça fosse uma espécie de
extensão do porta amostra, assim recebendo também os fótons emitidos pelo
filamento. No fim, foi possível colocar o termopar bem próximo da amostra sem
modificar a maneira que o porta amostra aquece, como veremos mais a frente.
FONTE: Autor
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Figura 10 - Vista superior do conjunto Peça - Porta amostra
FONTE: Autor
A segunda parte da análise foi a parte de ancoramento da peça, então olhando para
a estrutura da estação de annealing podemos ver 3 furos roscado, figura 11, e foi o
furo do centro o escolhido para ancorar a peça suporte no manipulador.
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Figura 11 - Vista frontal da ponta do manipulador dentro da Câmara de preparação
FONTE: Autor
Com essas ideias fixadas foi possível detalhar mais a peça suporte, como pode ser
visto na figura 12, a parte da peça que encaixa no porta amostra tem formato de um
trapézio para facilitar o encaixe dos dois, visto que esse encaixe deverá ser feito
dentro de uma câmera de vácuo. Pode-se ver que, a peça possui dois furos, o furo 1
é onde irar o sensor de temperatura que medirá a temperatura da amostra, ele será
introduzido no furo e um parafuso será colocado para segurá-lo, o furo 2 é o furo de
ancoragem como já vimos antes, nele ira um parafuso especial, figura 12,
desenvolvido de forma que quando desparafusado a peça fique presa nele assim
sendo possível retirar os dois juntos
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Figura 12 - Conjunto completo da estação de anneling
FONTE: Autor
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Simulação térmica
Após o estudo da geometria do problema podemos partir para o estudo térmico do
sistema, esse estudo tem como objetivo entender melhor as tendencias do
comportamento térmico do porta amostra e da peça suporte no processo de
annealing e entender como se dá a distribuição de temperatura no tempo do porta
amostra, da peça suporte e do termopar instalado pela fabricante.
É importante salientar que, como não foi possível desenhar o filamento exatamente
igual ao filamento da vida real a simulação não consegue prever em valores
absolutos o que irá acontecer no sistema físico real, já que as fontes do sistema são
diferentes, mas ela ainda se mante consistente em descrever as tendencias do
sistema, como por exemplo mapas de calor do porta amostra e sua distribuição de
temperatura no tempo
2 – Escolher os materiais
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Dentro do ANSYS é possível escolher os materiais e atribuir as suas características
térmicas as peças desenhadas em 3D. Essa parte é bem importante pois é com
essas informações que o software fará as contas de condutividade térmica por
exemplo.
FONTE: Autor
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4 – Abrir o Mechanical
O Mechanical é a ferramenta dentro do ANSYS que irá executar a simulação
propriamente dita, nela nós vamos definir condições de contorno, definir material das
peças etc.
4.1 – Atribuir matérias
Os materiais escolhidos no passo 2 agora aparecem como opção para as
nossas peças 3D, na figura x, podemos ver um exemplo, onde é escolhido o
material tungstênio para o filamento, e assim foi feito com o restante das
peças.
4.1 – Atribuir Contatos
Apesar de termos usados a ferramenta imprint para detectar os contatos
térmicos, alguns contatos podem vir errados, por causa da importação entre
Inventor e ANSYS, então é sempre bom conferi-los, as figuras 14 e 15
mostram um exemplo de contatos térmicos certos, somente a região que
está em azul encosta na região que está em vermelho
FONTE: Autor
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Figura 15 - Contato térmico
FONTE: Autor
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Fonte quente – Filamento
Como mostra a figura 16, foi colocado na face inferior do filamento a
condição de contorno chama Heat flow, onde colocamos os dados de um
rampemento de potência
FONTE: Autor
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Figura 17 - Superfície da condição de contorno da fonte fria
FONTE: Autor
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Figura 18 - Parâmetros da condição de contorno da Radiação
FONTE: Autor
FONTE: Autor
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Figura 20 - Superfície da condição de contorno da Radiação
FONTE: Autor
Após todas essas etapas podemos colocar para rodar a simulação e esperar os
resultados, o tempo da simulação depende além do tamanho dos elementos da
malha, mas também do tempo que queremos simular, no nosso caso foram 300
segundos de simulação o que durava em média 20 horas.
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Resultados
Após a realização das simulações os dados obtidos foram jogados em um software
de tratamento de dados chamado Orign. para a realização dos gráficos. Foram
construídos os gráficos das curvas de distribuição de temperatura por tempo das
três posições pertinentes ao nosso problema, como pode ser visto no gráfico 1.
250
AMOSTRA
225 PEÇA
MANIPULADOR
200
175
TEMPERATURA
150
125
100
75
50
25
0
0 50 100 150 200 250 300 350
TEMPO
FONTE: Autor
Além do gráfico de Temperatura por tempo, também foi feito o gráfico da segunda
derivada das distribuições, gráfico 2, como vai ser discutido mais a frente, esse
gráfico será importante para sabermos a diferença da resposta de temperatura de
cada posição do nosso interesse.
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Gráfico 2 - Distribuição das segundas derivadas das temperaturas
0,10
2ª DERIVADA PEÇA
2ª DERIVADA AMOSTRA
2ª DERIVADA MANIPULADOR
0,05
0,00
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500
TEMPO
−0,05
−0,10
FONTE: Autor
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Gráfico 3 - Distribuição da diferença de temperatura no tempo
65
ΔT da fonte de 40W
60
ΔT da fonte de 20W
55 ΔT da fonte de 6,6W
50
45
40
35
ΔT
30
25
20
15
10
5
0
0 100 200
TEMPO
FONTE: Autor
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Figura 21 - Vista superior do mapa de calor do conjunto Peça Porta amostra
FONTE: Autor
FONTE: Autor
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Discussão
Antes de começarmos a discutir sobre os gráficos é importante relembrar que, como
não foi possível simular exatamente o filamento da estação de annealing, então não
podemos levar os valores absolutos dos gráficos a risca. Entretanto, ainda sim, é
possível olhar para a tendencia dos gráficos, e entender o comportamento geral do
sistema.
No gráfico 1, por exemplo, não podemos afirmar que a temperatura máxima que a
amostra chegará exatamente nos 300 graus marcados, apesar disso, temos uma
informação tão valiosa quanto. Olhando para o gráfico conseguimos ver que a
distribuição de temperatura da amostra e da peça suporte são muito parecidas,
sendo que a curva de temperatura da peça suporte alcança uma temperatura
menor, o que é coerente, já que a maior concentração de fótons chega no centro do
porta amostra.
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Desta forma, o gráfico 2, gráfico da segunda derivada das distribuições, nos
possibilita entender de uma forma mais analítica o comportamento do das
distribuições. Como falado no parágrafo acima se soubermos onde acontece o ponto
de inflexão das curvas podemos saber a tendencia do comportamento térmico do
corpo que ela representa.
O ponto de inflexão de qualquer função é denotado pela sua segunda derivada igual
a zero. Então, como falado antes, a parte positiva do gráfico 2, representa a
concavidade positiva da curva, bem como a parte negativa representa a
concavidade para baixo da curva. É interessante notar que para tempos muito
grandes a segunda derivada permanece constante em torno do 0, isso acontece,
pois, a temperatura já termalizou, sendo assim ela é constante, e a segunda
derivada de qualquer constante é zero.
Ao olharmos para a região do gráfico 2 onde está localizado o ponto de inflexão das
curvas, figura 4, podemos perceber que, o ponto de inflexão da amostra e da peça
suporte estão muito próximos um do outro, enquanto o ponto de inflexão do sensor
do manipulador acontece bem mais a frente. Isso nos diz que o comportamento
térmico da peça suporte e da amostra é parecido, apesar de terem temperaturas
diferentes, a forma como elas recebem e perdem calor é parecida. Já o sensor do
manipulador tem um comportamento térmico muito diferente, se olharmos no
gráfico, quando ele chega no seu ponto de inflexão, ou seja, começa a perder calor
para as fontes frias, a peça suporte e a amostra já estão seguindo para termalizaçao
da temperatura.
Entretanto podemos tirar ao menos uma coisa boa desse gráfico, ao olharmos para
o gráfico depois de um período de tempo a diferença de temperatura se torna
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constante, e se olharmos para o gráfico das rampas de potência abaixo, podemos
ver uma relação entre os dois, depois de um tempo que a potência fica constante a
diferença de temperatura também fica constante, isso é importante pois, como foi
falado na introdução aos processos da linha de luz SAPE, o processo de annealing
só acontece depois que a potência fica constante, desta forma temos indícios para
acreditar que durante o processo de annealing de fato a diferença de temperatura da
amostra e da peça suporte sempre será igual.
Por fim, podemos ter um feedback visual do que acontece no conjunto porta amostra
e peça suporte, olhando para as figuras 21 e 22, vemos que a ideia de fazer uma
peça suporte que fosse a extensão do porta amostra funciona, isso se deve ao fato
da mesma está exposta ao filamento da estação e de ser do mesmo material do
porta amostra.
O próximo passo que deve ser seguido, é a execução dos testes feitos na simulação
agora no manipulador da câmara de preparação da linha SAPE, isso nos ajudará a
entender como o sistema real se comporta e se o nosso projeto realmente é
eficiente como vimos na simulação. e para isso é preciso algumas sub etapas, como
a usinagem da peça suporte, usinagem de um porta amostra com o rasgo para
encaixar a peça suporte, reunir os materiais necessários para montar os sensores
de temperatura, aprender como usar o controlador da estação de annealing, bem
como achar uma solução para a instalação definitiva da peça suporte no
manipulador, já que sistemas de vácuo não podem ser mexidos com frequência,
então todas essas soluções tem que ser simples e robusta, como foi a solução da
peça suporte. Todas essas etapas continuaram a serem desenvolvidas ao longo do
tempo restante do estágio, que pode durar até 2 anos.
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Conclusão
Ao final desse período de desenvolvimento da peça suporte podemos perceber que
temos fortes indícios de que a mesma será um ótimo upgrade para o sistema, dando
a opção de controlar a temperatura no processo de annealing de forma muito mais
fina.
O fato de colocar a peça suporte exposta ao filamento foi de suma importância para
aproximar as curvas de temperatura da amostra e da peça suporte, bem como, fazer
o rasgo no porta amostra para a mesma está o mais próximo possível da amostra,
também ajudou a melhorar a medida de temperatura, como vimos ao longo da
discussão.
Como foi dito anteriormente, apesar dos resultados da simulação serem promissores
ainda é estritamente necessário executar os testes no manipulador da câmara de
preparação, além de validar a peça suporte, esses testes são importantes para a
validação de todo o processo de estudo que fizemos, assim quando tivermos
problemas parecidos podemos usar o mesmo método para chegar em resultados
satisfatórios.
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Referências
[1] CNPEM. Relatório Plurianual 2010-2020. Disponível em
<https://cnpem.br/wp-content/uploads/2020/09/relatorio-
plurianual_27x27cm_v08OUT.pdf/>. Campinas, 2020. Acesso em: 1 jun.
2023.
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Anexos
CIDADE: Campinas – SP
ATESTADO
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Assinatura do supervisor de estágio
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