DISPOSITIVOS

Sistema Automatizado de
COMUTAÇÃO DE GASES E
CONTROLE DO FLUXO DE MASSA
Aplicação em Fornos Térmicos
Sebastião G. dos Santos Filho
Professor Associado do Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos – LSI/PSI/EPUSP
Escola Politécnica da USP

semos, podem ser interconectados

entre si de forma a implementar cir-
O controle do fluxo e da comutação de gases bem como de
cuitos completos. Nesta tabela, po-
vapores, encontra aplicação direta em salas limpas para fabrica- demos destacar que o cilindro de
ção de circuitos integrados, em hospitais, para controle do fluxo ação simples possui um êmbolo li-
de anestesia, em fornos de sinterização de materiais, para meta- gado a uma mola. Quando o ar com-
primido é introduzido no comparti-
lurgia, dentre outras possíveis. Neste artigo apresentaremos um mento sem a mola, o êmbolo se mo-
sistema para comutação e controle do fluxo de massa para ga- vimenta e atua empurrando uma
ses de entrada num forno térmico destinado a sinterização, oxi- vareta para fora do cilindro. Mais tar-
de, a mola movimenta o êmbolo em
dação e nitretação de materiais. O sistema automatizado aqui direção contrária quando existir au-
apresentado para o controle de fluxo e seqüenciamento de diver- sência de pressão no compartimen-
sos gases num forno é um exemplo de projeto mecatrônico que to sem mola. Já no cilindro de ação
dupla, o êmbolo pode ser movimen-
utiliza atuadores mecânicos, elétricos e controle via
tado para a esquerda ou para a direi-
microcomputador.

Na construção de um sistema válvulas, cilindros simples ou duplos,

automatizado de comutação e con-
trole do fluxo de gases, são normal-
mente empregados três tipos de dis-
positivos básicos que são os pneu-
máticos, os para gases e os eletrô-
nicos. Uma associação de dispositi-
vos pneumáticos interligados por tu-
bos e alimentados por ar comprimi-
do resulta num circuito puramente
pneumático. Já a associação de dis-
positivos para gases resulta em
painéis de gases assim como a as-
sociação de dispositivos eletrônicos
resulta em circuitos eletrônicos. Um
sistema automatizado de comutação
e controle do fluxo de gases nada
mais é do que um circuito híbrido
contendo os três tipos de disposi-
tivos mencionados. Os circuitos
pneumáticos incluem fonte de ar com-
primido, mangueiras ou tubulações,
filtros, etc. Os circuitos que compõem
os painéis de gases incluem válvulas
“agulha”, rotâmetros, controladores de
fluxo de massa (mass flow controllers),
tubulações rígidas ou flexíveis (poliflo),
reguladores, filtros, válvulas, etc. Fi-
nalmente, os dispositivos eletrônicos
(transistores, resistores, etc.) permi-
tem implementar circuitos de interface
com microcomputadores de modo a
se conseguir fazer a programação dos
fluxos e da seqüência de gases que
serão inseridos, por exemplo, num
dado forno térmico.
CIRCUITOS PNEUMÁTICOS
PARA GASES
A tabela 1 mostra os símbolos
Tabela 1 - Símbolos representativos dos
dos dispositivos pneumáticos mais dispositivos pneumáticos mais comuns.
comuns os quais, conforme já dis-

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ta dependendo do compartimento Para analisar os dispositivos dos

onde é inserido o ar comprimido e o
mesmo também atua sobre uma
vareta. Por outro lado, a válvula é um
dispositivo básico que permite ou não
a passagem de ar comprimido quan-
do acionada. Na tabela 1 é mostrado
o símbolo de uma válvula com cami-
nho entre os pontos 1 e 2 habilitado
tendo o acesso 3 fechado. Os tipos
possíveis de acionamento de uma
válvula para ar comprimido estão
mostrados na tabela 2. Observe que
a posição da seta entre os terminais
1 e 2 corresponde ao caminho ativa-
do pela fonte de acionamento
(solenóide, botão, alavanca, pedal,
batente, rolete ou mola) enquanto que
o acesso 3 representado na figura fica
fechado após o acionamento.
A “caixa” indicada no lado esquer-
do da figura 1 representa uma válvu-
la cujo caminho entre os pontos P e
A foi acionado através de uma ten-
Figura 1 - Válvula pneumática normalmente
fechada acionada eletricamente por tensão
aplicada a uma solenóide. A caixa do lado
esquerdo representa o acionamento por
solenóide e a caixa do lado direito representa a
posição de repouso assegurada por uma mola.
painéis de gases, considere a tabela
3 onde temos representada a
simbologia típica de todos aqueles
que são mais comumente emprega-
dos. Estes dispositivos destinam-se
a não apenas controlar o fluxo mas
também seqüenciar os gases dese-
jados por uma dada linha de saída
conectada, por exemplo, num forno
térmico. A figura 3(a) mostra um cir-
cuito híbrido onde uma válvula
solenóide para ar comprimido é em-
pregada em conjunto com uma vál-
vula para gás (normalmente fecha-
da) de forma a permitir o acionamento
elétrico da passagem do mesmo, isto
é, a válvula solenóide controla a pas-
sagem de ar comprimido o qual, por
sua vez, ativa a válvula de gás. Veja
que quando a energizamos a
solenóide, o caminho entre A e P é
habilitado. Em seguida, o êmbolo do
cilindro de ação simples movimenta

Figura 2 - Válvula solenóide MUFH-3-PK-3

fabricada pela FESTO cujo símbolo foi
apresentado na figura 1.

são aplicada a um solenóide ficando

Tabela 2 - Válvulas pneumáticas onde são
indicados os tipos mais comuns de acionamento.
a via B fechada. Numa etapa seguin-
te representada pela “caixa” dese-
nhada do lado direito, com a ausên-
cia de tensão aplicada na sole-
nóide, o caminho entre os pontos
A e B é acionado por uma mola fi-
cando desta vez a via P fechada.
A figura 2 mostra um exemplo co-
mercial cujo símbolo já foi apresen-
tado na figura 1. Trata-se da válvu-
la solenóide MUFH-3-PK-3 fabri-
cada pela FESTO. Observe que a
energização do solenóide é feita
Tabela 3 - Componentes típicos empregados
com 220 V eficazes da rede atra- em painéis de gases.
vés de uma chave S1 .

MECATRÔNICA ATUAL Nº1/OUTUBRO-NOVEMBRO/2001 19

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Figura 3 - Circuito híbrido para acionamento de uma válvula para gás entre os pontos C e D:
(a) Representação esquemática completa; (b) Representação também completa mas com
símbolo mais simples para a válvula solenóide; (c) Representação simplificada de uma válvula
para gás acionada por válvula solenóide pneumática.
uma vareta que abre a válvula e libe-
ra a passagem de gás entre os pon-
tos C e D. Este tipo de associação é
comum em painéis de gases os quais
podem ser controlados de forma re-
mota através de chaves discretas
que ativam tensões elétricas ou ain-
da através de circuitos de interface
conectados a um microcomputador
no qual exista um software de con-
trole. A figura 3(b) mostra uma repre-
sentação simplificada da válvula
solenóide conectada ao cilindro de
ação simples e, ainda, a figura 3(c) é
equivalente ao circuito da figura 3(b)
Tabela 4 - Formas de acionamento de uma válvula para controlar a passagem de gás.
20
pneumáticos como os cilindros de
ação simples e dupla associados a
válvulas solenóides para ar compri-
mido. O acionamento pode também
ser via manual, motor e eletromag-
nética. Neste último caso, o campo
eletromagnético da solenóide movi-
menta uma vareta que abre uma vál-
vula que estava normalmente fecha-
da. A mola tem a função de deixar a
válvula normalmente fechada na au-
sência de campo.
Por outro lado, o controlador de
fluxo de massa (MFC: Mass Flow
Controller) é um outro dispositivo para
gás que permite um controle extre-
mamente preciso do fluxo de gás em
uma dada linha. A figura 4 mostra um
diagrama completo de um controlador
de fluxo de massa. O fluxo de gás
que passa entre os pontos A e B é
controlado para ficar estável num
valor específico pré-programado. Con-
forme indicado na figura 4, o MFC é
sendo que o cilindro ficou imbutido
composto de um bloco I onde se
na válvula de gás. Na última seção
mede o fluxo de massa e um bloco II
deste artigo, voce terá a oportunida-
que controla o fluxo de massa de
de de ver um circuito eletrônico sim-
forma a se igualar com um valor de
ples de interface para microcom-
referência (set point).
putador para acionamento remoto de
Considerando inicialmente o blo-
um painel de gases.
co I onde se mede o fluxo de massa,
Convém também destacar no
normalmente fabrica-se o tubo por
caso da válvula para gás da tabela 3
onde passa o gás em aço inoxidável
que o acionamento pode ser feito,
internamente eletropolido a fim de ga-
além daquele mostrado na figura 3(b),
rantir alto nível de limpeza e
também das diversas maneiras mos-
minimizar reações químicas entre o
tradas na tabela 4. Veja que, no
gás e o referido tubo. Observe você
acionamento pneumático/elétrico, te-
na figura 4 que existem dois sensores
mos presente diversos componentes
de temperatura nos dois extremos do
tubo de aço eletropolido e um
esquentador ao centro. Quando o gás
flui através do tubo, ele carrega calor
de uma extremidade a outra sendo
que quando maior o fluxo, maior a
quantidade que é transportada. Po-
rém, esta quantidade de calor trans-
portada é proporcional a diferença de
temperatura entre os dois sensores
e, portanto, proporcional ao fluxo de
massa. A diferença de temperatura
é medida com a ajuda de uma ponte
de Wheastone onde os sensores são
resistências com um coeficiente de
variação com a temperatura. As re-
sistências associadas aos sensores
1 e 2 nas temperaturas TE e TS, res-
pectivamente, podem ser escritas, tam-
bém respectivamente, como segue:
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Figura 4 – Diagrama funcional do controlador de fluxo de massa (MFC).

= ( + α( − )) Considerando agora o bloco II,

verifica-se facilmente que o sinal de
Existe uma gama muito grande de
fabricantes de controladores de flu-
e (1) controle que vai para a entrada da vál- xo de massa (MFC) dentre os quais

( + α( ))
vula eletromagnética tipo proporcional
= − é dado por K(m’- mS’), isto é, o fluxo
de massa medido (m’) é constante-
onde Ta é a temperatura ambiente e mente comparado com o “set point”
α é o coeficiente de variação com a (mS’). Quando m’ e mS’ se igualam, o
temperatura. sinal que vai para a válvula solenóide
Supondo: passa a ser nulo e não há nenhum
α( − ) << acionamento. Desta forma, ficando o flu-
xo constante no valor de “set point” mS’.
e,
podemos citar MKS, BROOKS e
TYLAN que invariavelmente obede-
cem o princípio de funcionamento já
descrito e são construídos geralmen-
te para operar: (a) numa ampla faixa
de pressão de entrada do gás de pro-
cesso até 1500 psi, (b) numa larga
faixa de fluxos até 30 slpm (litros por
minuto), (c) com rápida resposta a

α( − ) <<
podemos dizer que a corrente que
passa nos dois ramos da ponte de
Wheastone são aproximadamente
iguais e dadas por:

≅ ≅ (2)

Dessa forma, a diferença de po-

tencial na saída da ponte (entre os
pontos C e D) que é proporcional ao
fluxo de massa m’ será dada por:

= − =α − Figura 5 – Diagrama esquemático de um painel de gases conectado a um forno térmico

convencional para lâminas de silício.
(3)

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Figura 6 – Diagrama completo do painel de gases para controle do fluxo e comutação dos gases nitrogênio (N2), argônio (Ar), mistura comercial
argônio/hidrogênio (Ar/H2), oxigênio (O2), amônia (NH3), óxido nitroso (N2O) e gás clorídrico (HCl).

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Tabela 5 – Tabela de conversão de pressões (fonte: Manual VAT).
mudança de fluxo de processo (se-
gundos), (d) com partes internas re-
sistentes a gases corrosivos e (e)
opcionalmente com saída padrão
para microcomputador.
CONSTRUÇÃO DE UM PAINEL DE
GASES PARA FORNO TÉRMICO
Os fornos térmicos tem sido em-
pregados em etapas avançadas de
processo visando a fabricação de cir-
cuitos integrados. Estas etapas con-
sistem em tratamentos térmicos
numa dada temperatura durante um
tempo pré-fixado em um ambiente
gasoso de tipo e fluxo pré-escolhido.
A figura 5 mostra um diagrama
esquemático de um painel de gases
conectado a um forno térmico no qual
foi inserido lâminas de silício.
Opcionalmente, fornos de processa-
mento térmico rápido poderiam ser
alimentados pelo mesmo painel de
gases da figura 5 onde uma única
lâmina por vez é carregada horizon-
talmente no tubo de quartzo e a re-
sistência enrolada junto ao tubo é
substituída por bancos de lâmpadas
halógenas.
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Figura 7 – Conexão VCR “macho” e “fêmea”
juntamente com o símbolo característico
para circuitos de painéis de gases.
Os gases inertes (N2, Ar) desti-
nam-se a tratamentos de difusão de
dopantes no silício, o oxigênio (O2)
permite fazer oxidações, a mistura
padrão Ar/H2 (90% Ar + 10 % H2) per-
mite fazer tratamentos de sin-
terização entre camadas de metal e
entre metal e silício, os gases a base
de nitrogênio (NH3 ou N2O) permitem
fazer a nitretação da superfície das
lâminas de silício e finalmente o gás Figura 8 – Representação da construção física
clorídrico inserido conjuntamente do controlador de fluxo de massa 2159B e a
correspondente pinagem do conector de 15
com o oxigênio destina-se enrique- pinos para controle remoto do fluxo de massa.
cer a taxa de oxidação do silício. O
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leitor interessado em entender o en-
cadeamento das etapas de proces-
so para fabricação de circuitos inte-
grados deve, por exemplo, se repor-
tar ao Apêndice A do livro
Microeletrônica (tradução) de A.
Sedra (veja nas referências bibliográ-
ficas deste artigo).
Também é importante destacar na
figura 5 que todos os gases de en-
trada no painel de gases estão
pressurizados numa dada pressão de
entrada (tipicamente 50 psi) enquan-
to que a saída do forno térmico en-
contra-se na pressão ambiente de 1
atmosfera (1 atm ou 760 Torr). A ta-
bela 5 é muito útil pois permite fazer
a conversão de pressão para qual-
quer unidade conhecida.
A figura 6 apresenta um esque-
ma completo do painel de gases pro-
jetado que pode ser controlado via
microcomputador através de um
acionamento adequado das válvulas
solenóides (SC1, SC2, SC3, SP1, SP2,
SP3, SA1, SA2, SA3, SA4, SA5, SA6,
SA7, SS1 e SS2). Para cada gás de
entrada numa pressão típica de en-
trada de 50 psi, existe um filtro de
entrada (para eliminar contaminação
por particulado) em série com uma
válvula manual. Antes da operação
do painel, estas válvulas manuais de
entrada devem ser abertas. Observe
que os gases corrosivos (NH3, N2O e
HCl) possuem um circuito de purga
Figura 9 – Circuito para acionamento individual das solenóides das válvulas SC1, SC2, SC3,
SP1, SP2, SP3, SA1, SA2, SA3, SA4, SA5, SA6, SA7, SS1 e SS2 indicadas na figura 6. Veja que
este circuito deve ser replicado 15 vezes e os sinais de acionamento podem ser provenientes,
por exemplo, da porta paralela de um PC.
24
em nitrogênio que é ativado após o
uso para evitar a corrosão das linhas
de gases. Observe que o diagrama
da figura 6 até que é relativamente
simples e mesmo assim apresenta
uma formação tipo árvore com um
número relativamente grande de com-
ponentes. Historicamente os siste-
mas controladores de fluxo de gases
eram chamados de selvas porque
estes sistemas eram construídos em
salas apropriadas e tinham o aspec-
to de selvas de tubos e vávulas.
A lógica de controle do sistema
de gases da figura 6 é tal que qual-
quer tratamento térmico deve ser
sempre iniciado em gás inerte (N2 ou
Ar) e na seqüência podem vir O2, Ar/
H2, NH3 ou N2O. O HCl, em particu-
lar, é empregado com fluxo de até
600 sccm (centímetros cúbicos por
minuto) em conjunto com O2 num flu-
xo substancialmente mais alto (até
6 litros/minuto). Após a etapa no gás
de processo desejado, seja ele cor-
rosivo ou não, o tratamento térmico
deve terminar em ambiente inerte
quando então as lâminas de silício
são retiradas vagarosamente do for-
no ainda aquecido na temperatura
de processo. Todos os fluxos dos
gases são previamente programa-
dos nos controladores de fluxo de
massa através da tensão de “set
point” na faixa de 0 a 6 litros por
minuto (slpm).
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Observe você na figura 6 que para
habilitar o nitrogênio na saída do cir-
cuito, basta acionar as válvulas
solenóide SA1 e SS1 (por hipótese a
válvula manual M1 deve estar acio-
nada e o “set point” do controlador de
fluxo de massa MF1 deve estar pre-
viamente ajustado). Por outro lado,
para acionar a amônia na seqüência,
devemos desativar as solenóides
SA 1 e SS1 e em seguida ativar as
solenóides SC1, SA5 e SS1. Finalmen-
te, para terminar o processo de
nitretação, as chaves SC1, SA5 e SS1
são desativadas e as solenóides SA1
e SS1 são novamente ativadas. Note
neste exemplo que começamos e
terminamos em gás inerte. O proces-
so de “purga” da linha de amônia é
feito após as lâminas de silício te-
rem sido retiradas do forno. Neste
caso, as solenóides SA1 e SS1 são
desabilitadas e as solenóides SP1,
SA5 e SS1 são habilitadas. Com isso,
asseguramos a durabilidade do
controlador de fluxo de massa e dos
tubos de gás. Este processo de “pur-
ga” é particularmente importante para
o caso do gás clorídrico que é o mais
corrosivo dos três gases que tem cir-
cuito de purga na figura 6.
O projeto mostrado na figura 6
pode ser implementado com várias
bitolas de tubo. A bitola aqui escolhi-
da foi a de ¼ de polegada que é a
mais comum para a faixa de fluxos
de gás empregados para fornos tér-
micos. Além disso, a escolha das
conexões entre as tubulações e os
dispositivos tem importância funda-
mental. As conexões do tipo VCR
apresentadas na figura 7 são aque-
las que asseguram o melhor grau de
limpeza do painel de gases. Todos os
gases utilizados em etapas de pro-
cesso para microeletrônica são
ultrapuros e, portanto, não devem
sofrer contaminações ao passar do
painel para a entrada do forno. A
vedação da conexão VCR é assegu-
rada quando uma anilha (gasket) é
esmagada após forçar o rosquea-
mento entre os terminações “ma-
cho” e a “fêmea” apresentadas na
figura 7.
Veja na figura 6 que estão repre-
sentadas todas as conexões VCR. É
importante destacar que diversas co-
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Figura 10 – Diagrama esquemático completo do “hardware” necessário para controle automático do painel de gases. Cada estágio 247C permite
efetuar a leitura e a geração de set point para até 4 controladores de fluxo de massa.

MECATRÔNICA ATUAL Nº1/OUTUBRO-NOVEMBRO/2001 25

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nexões padrões podem ser adquiri-
das no mercado com “tees”, “cruzes”,
“Ls”, etc. Além disso, é possível es-
pecificar soldagens de terminações
“macho” ou “fêmea” nas extremida-
des de tubos internamente eletro-
polidos. As soldagens de terminações
em tubos eletropolidos é feita atra-
vés de sistema de descarga a arco
especialmente projetado para este
fim (Veja, por exemplo, o sistema
CWS-100 DR no portal apresenta-
do na referência 5). Também, para
ver outros tipos de conexões além
daquelas apresentadas na figura 6,
navegue no portal apresentado na
referência 5.
A lista de material necessário
para construir o painel de gases apre-
sentado na figura 6 é a seguinte:
a) Circuito pneumático
- 15 válvulas solenóides MUFH-
3-FK-3 – FESTO;
- 20 metros de mangueira de
interconexão entre válvula solenóide
e válvula para gás.
b) Circuito para gases
- 2 Controladores de fluxo de mas-
sa 2159B-10000RV-S (SPCAL =
5VDC para 6000 sccm de N2O ou O2)
da MKS;
- 1 Controlador de fluxo de mas-
sa 2159B-10000RK-S (SPCAL =
5VDC para 600 sccm de HCl) da
MKS;
- 1 Controlador de fluxo de mas-
sa 2159B-10000RK-S (SPCAL =
5VDC para 2000 sccm de NH3) da
MKS;
- 2 Controladores de fluxo de mas-
sa 2159B-10000RV-S (SPCAL =
5VDC para 6000 sccm de N2, Ar ou
Ar/H2) da MKS;
- 1 Controlador de fluxo de mas-
sa 2159B-00100SV (SPCAL = 5VDC
para 100 sccm de HCl) da MKS;
- 8 válvulas Nupro normalmente fe-
chadas acionadas por ar comprimido;
- 8 válvulas manuais;
- 8 filtros de de entrada para gás;
- 11 Tees (316L-4-ATW-3-4TB7-4A,
tube weld manifold tee);
- 5 “Ls” (316L-4-ATW-9, Tube
weld elbow);
26
- 14 uniões fêmeas duplas (SS-4-
WVCR-6-DF, Double Female union);
- 25 terminações macho (SS-4-
VCR-3-4MTW, VCR Male weld gland);
- 50 metros de tubos eletropolidos
de um quarto de polegada.
Os controladores de fluxo de mas-
sa modelo 2159B da MKS apresen-
tam-se em série com uma válvula de
gás normalmente fechada, acionável
via solenóide, com conector de 15
pinos para entrada de alimentação
±15V, tensão de set-point na faixa de
0 a 5 VDC, terra, sinal de fluxo de
saída, pontos de teste e pontos não
conectados conforme indicado na
figura 8.
INTERFACE COM
MICROCOMPUTADOR PC
Vamos agora apresentar os circui-
tos de interface para controle
automatizado do painel de gases uti-
lizando um microcomputador PC. A
figura 9 mostra um circuito para
acionamento individual de cada
solenóide apresentada na figura 6.
Observe que o circuito utiliza um
TRIAC TIC 206D (Texas) que quan-
do acionado energiza a solenóide da
válvula MUFH-3-FK-3. O aciona-
mento do TRIAC é feito através do
fotoTRIAC MOC3020 (Texas) que
permite isolar a rede de alta tensão
(220 Vef) do circuito TTL (5 volts) do
estágio de entrada formado pelo tran-
sistor BC548 e o diodo emissor de
luz.
O sinal de comando para o circui-
to da figura 9 pode vir, por exemplo,
da saída paralela de um microcom-
putador PC. Através do emprego de
linguagens de programação do tipo
QBASIC, C++, DELPHI, etc.; é pos-
sível controlar os sinais da saída
paralela de forma a promover a se-
qüência de acionamentos das
solenóides válvulas SC1, SC2, SC3,
SP1, SP2, SP3, SA1, SA2, SA3, SA4,
SA5, SA6, SA7, SS1 e SS2. Não va-
mos neste artigo detalhar como se
faz o programa (software) de contro-
le da saída paralela do micro-
computador PC porque isto é algo já
amplamente divulgado (Veja, por
exemplo, o artigo: “Os segredos da
porta paralela”, na página 32).
MECATRÔNICA ATUAL Nº1/OUTUBRO-NOVEMBRO/2001
Por outro lado, o controle auto-
matizado dos controladores de fluxo de
massa MFC 1, MFC 2, MFC3 , MFC4,
MFC5, MFC6 e MFC7 é feito conforme
ilustrado na figura 10. O bloco 247C
comercializado pela MKS é um estágio
de leitura/gerador de “set-point” de qua-
tro canais para fixar o fluxo de massa
em cada controlador MFC. Note que
como temos um total de 7 MFCs, são
necessários 2 estágios 247C inter-
conectados entre si (configuração mes-
tre/escravo). O bloco 232 de interface,
também comercializado pela MKS, per-
mite enviar os sinais de controle para os
estágios 247C através da saída RS232
do PC. A documentação do bloco 232
da MKS já fornece o código fonte de
programação para controle do fluxo dos
MFCs. Este código fonte pode ser
extendido para permitir o controle inte-
grado dos MFCs juntamente com as
solenóides. Veja mais informações na
referência 3.
AGRADECIMENTOS
À FAPESP por ter financiado o pro-
jeto e construção do painel de gases
apresentado neste artigo. Aos técnicos
Renato Franzin, Nelson Ordonez, Alex
Markevicius e Alexandre Camponucci
pelas discussões e construção do pai-
nel de gases. Ao Bacharel em Física
José C. de Souza Filho pelo projeto ini-
cial do software de controle automático.l
REFERÊNCIAS BIBLIOGRÁFICAS
1. Dispositivos pneumáticos:
http://www.festo.com
2. Dispositivos pneumáticos:
http://www.festo.com.br
3. Dispositivos para gases: http:/
/www.mksinst.com
4. Dispositivos para gases: http:/
/frco.com/brooks/products/
products.html
5. Conexões para linhas de gases:
h t t p : / / w w w. s w a g e l o k . c o m / e n /
Ecatalog/ecmainframes.asp
6. Conexões para linhas de gases:
http://www.bayvalve.com/pages/
products.htm
Sedra, A.S. and Smith, K.C.
Microeletrônica. Makron Books, 2000,
ISBN 85-346-1044-4 (tradução da 4a.
edição em inglês).