MST Automotivo

Mário R. Gongora Rubio

2003
Disponível em http://www.lsi.usp.br/~gongora
 “Microsystem Technology”

• É uma estratégia
que utiliza os mesmos
princípios e técnicas
da microeletrônica
para a miniaturização
e integração de
sistemas e
componentes
elétricos, mecânicos,
acústicos, magnéticos,
óticos, térmicos,
químicos ou bio-
tecnológicos

M S T Automotivo 2
 APLICAÇÕES DOS MICROSSISTEMAS

• Automotiva /Transporte
• Tecnologia da
Informação, Periféricos
• Telecomunicações
• Medicina / Biomedicina
• Meio ambiente /
Processos industriais
• Artigos de consumo/
Entretenimento
• Outras Aplicações
(Defesa, Aeroespacial)

M S T Automotivo 3
Mercado de MEMS/MST

M S T Automotivo 4
CUSTO PARA “SMART SYSTEMS”

M S T Automotivo 5
Histórico de desenvolvimentos na área automotiva

M S T Automotivo 6
Desenvolvimentos com MST

M S T Automotivo 7
 Fatores de MST na área Automotiva
• Cost Reduction
– Due to the high competition in the automotive industry this factor has high
priority. The miniaturization and the batch manufacturing reduces the
manufacturing cost for each unit even in spite of the high investment. The
integration of the sensor function and the electronics results in a cost
advantage.Due to the high development cost medium to high production
volume is required.
• Reliability
– The integration and the miniaturization reduces the amount of interfaces and
connections. The interconnections are the weak point in the harsh
environmental requirements in automobiles. Therefore the microsystems
make higher reliability level possible.
• Weight and Size
– Due to the miniaturization we can achieve a reduction of weight which is
gaining increasingly on importance. Since the complexity of electronic control
units in car is increasing steadily a reduction of size and therefore space on the
printed circuit board is of advantage.
• Function
– The progress in microelectronics and integration results in an increased functionality of
new systems like self test, accuracy, detection of shorts and interconnect problems, etc.
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Sistemas Inteligentes de Transporte

M S T Automotivo 9
Microtecnologia em Automóveis Modernos

M S T Automotivo 10
Oportunidades em MST Automotivo

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Oportunidades em MST Automotivo

M S T Automotivo 12
Sistema de Monitoração de Pneus

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Sistema da Motorola

M S T Automotivo 14
 Sistema da Motorola (2)
Sensor internal state machine manages four
different modes:
1.The pressure measurement mode: A mode
in which the pressure cell, and the C to V
converter are activated
2. The temperature measurement mode: In
this mode the temperature cell (a PTC
resistor) and its conditioning block are
activated.
3.The standby mode: All analog and digital
blocks are switched off, except an internal
low frequency oscillator that sends a
wake up pulse over an output pin to the
controller periodically (every 6 seconds
for example)
4.The read mode: After passing through
one of the two above measurement modes,
the measurement is stored in a sampling
capacitor. The read mode activates the A
to D converter and enables the controller
to read serially the measurement.
M S T Automotivo 15
Carro sem Chave

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Carro sem Chave

M S T Automotivo 17
Sistemas de assistência ao motorista

M S T Automotivo 18
Direcionamento do Veículo

M S T Automotivo 19
Sistema de navegação

M S T Automotivo 20
Sistemas anti-colisão

M S T Automotivo 21
Sensores e Atuadores

M S T Automotivo 22
Sensores Automotivos

M S T Automotivo 23
Sensores e MST

M S T Automotivo 24
Sensores de Pressão

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Evolução dos Sensores de Pressão Automotivos

M S T Automotivo 26
Diversas aplicações Automotivas

M S T Automotivo 27
SENSORES DE PRESSÃO PIEZORESISTIVOS (Motorola)

• Os sensores de pressão são o

primeiro produto MEMS/MST
a ser produzido em larga
escala.
• A Piezo resistividade é um
propriedade dos materiais
onde a resistência de corpo é
influenciada pela tensão
mecânica aplicada ao
dispositivo
• Piezo resistores comuns:Si, Si
poly, SiO2 e ZnO
• Projeto típico: 4 piezo
resistores em uma ponte de
Wheatstone num diafragma de
Si
• Sensibilidade de pressão:
(mV/V-bar): S =(∆R/∆P)(1/R)
M S T Automotivo 28
Alguns Sensores de Pressão

M S T Automotivo 29
Sensor de Pressão Programável

M S T Automotivo 30
 Método de Fabricação

M S T Automotivo 31
Acelerômetros

M S T Automotivo 32
Acelerômetros em Silício

M S T Automotivo 33
ACELEROMETRO MEMS (ANALOG DEVICES)

M S T Automotivo 34
ACELEROMETRO MEMS (ANALOG DEVICES) (2)

M S T Automotivo 35
Sensores de Rotação angular

M S T Automotivo 36
Sistemas Inerciais

M S T Automotivo 37
Medidores de Fluxo de massa de ar

M S T Automotivo 38
 Piezoresistores e strain gages
• Os piezoresistores, strain gages • A sua variação unitária está dada
ou extensômetros elétricos são pelas variações de resistividade
dispositivos que produzem a comprimento e seção:
mudança da resistência de um
material condutívo em resposta a ∆R ∆ρ ∆l ∆A
uma deformação mecânica. Este = + −
material pode ser um líquido, um R ρ l A
plástico, um metal ou um
semicondutor. • Define-se Gage Factor como a
variação unitária multiplicado
• Sabe-se que um resistor de
acordo com a lei de OHM, pode pela deformação mecânica no
ser expresso assim: elemento e = (∆l/l) em (µstrain):
ρ ⋅l ∆R ∆ρ
R=
ρ
A G= R = + 1 + 2ν
• Com: ρ = resistividade do elemento, l = ∆l ∆l
comprimento do resistor e A = seção do
resistor. l l
M S T Automotivo 39
 Ponte de Wheatstone
– É de longe a estrutura mais popular
em instrumentação usando elementos
resistivos, esta estrutura constitui-se
por quatro resistências (R1, R2, R3,
R4)interligadas como mostrado na
figura a seguir.A tensão de saída
deste circuito para excitação de
tensão constante fica:
 R1R3 − R2 R4 
Vo = V p ⋅  
(
 1R + R2 ) ⋅ (R3 + R )
4 
– A ponte é dita balanceada quando
R1R3 = R2 R4
– Em instrumentação uma ou várias
resistências da ponte podem ser
substituídas por elementos sensores
resistívos, sendo assim o elemento
pode ser descrito como
∆Ri
Ri = Roi + ∆Ri = Roi ⋅ (1 + )
Roi
M S T Automotivo 40
 Ponte de Wheatstone
– Sendo ∆Ri é a variação de resistência – Esta estrutura permite então combinando
devido ao parâmetro físico eRoi é o as diversas deformações montar diversos
valor inicial para uma excitação de esquemas de medida:
referência. Para "Strain Gages": – Se ε 1 = ε 2 = ε 3 = ε 4 = ε então a saída da
∆Ri = k ⋅ ε i ponte será nula
– Se ε 2 = ε 3 = ε 4 = 0 e ε1 = ε então a saída
– com k = "Gage Factor" e ε =
= ⋅ (ε )
da ponte será: Vo k
deformação mecânica na direção Vp 4
principal do gage.
– Se ε1 = −ε 2 = ε e ε 3 = ε 4 = 0 então a
– Estas variações em geral para o caso saída da ponte será: Vo k
de "Strain Gages" são muito pequenas = ⋅ (ε )
Vp 2
(da ordem de 10-3 W) então a saída
– Se ε1 = −ε 2 = ε 3 = −ε 4 = ε ou seja estou
pode ser aproximada assim, supondo medindo uma deformação produzida por
que todas as resistências variam: uma tensão e uma produzida por uma
Vo 1  ∆R1 ∆R2 ∆R3 ∆R4  compressão a saída da ponte será
= ⋅  − + − 
= (kε )
V p 4  R1 R2 R3 R4  Vo
– ou seja: V p
– Neste caso é possível aumentar a
Vo k
(
= ⋅ ε1 − ε 2 + ε 3 − ε 4 ) sensibilidade da ponte usando quatro
Vp 4 gages medindo tensão e compressão.
M S T Automotivo 41
 Medidas de pressão
– Pressão é uma força (F) atuando numa superfície (S), e mede-se como força por
unidade de área, Pascal (Pa) no sistema SI, apesar de serem usadas outras unidades
como bar, PSI, Kg/cm2, etc.
– Existem diversas formas de referenciar a pressão:
– Pressão Absoluta
» A pressão é medida em relação ao vácuo (pressão zero)
– Pressão "Gage"
» A pressão é medida em relação à pressão ambiente ou barométrica
– Pressão Diferencial
» É a diferença de pressão entre dois pontos de medida
Pressão Absoluta Pressão "Gage"

Pressão Pressão Pressão de Pressão

Zero de Referência de
Entrada Entrada

Pressão de Pressão Pressão Pressão

Referência de Local de
Entrada Entrada

Pressão Diferencial Pressão Diferencial

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Medida de pressão com diafragma plano.

εr
Stress
radial
εt
Stress
tangencial

M S T Automotivo 43
 Medida de Pressão usando Diafragmas
– Tomando o caso de um diafragma plano, engastado no seu perímetro, com raio (Ro )
e espessura (h) ao aplicar uma pressão (q) na sua superfície aparecem duas
deformações mecânicas importantes, uma no sentido radial e outra no sentido
tangencial, expressadas da seguinte forma:
ε r (αRo ) = ⋅ ⋅ o2 ⋅ (1 − ν 2 )⋅ (1 − 3α 2 ) e ε t (βRo ) = ⋅ ⋅ 2 ⋅ (1 − ν )⋅ (1 − β )
2
3 q R 2 3 q R 2 2
– o

8 E h 8 E h
» com:(αRo) = Rr distancia onde se encontra o strain gage (1 e 3), (βRo) = Rt
distancia onde se encontra o strain gage (2 e 4), E = Módulo de elasticidade do
material do diafragma, ν = Coeficiente de Poisson do material
– Estas deformações podem ser medidas com 4 strain gages configurados em ponte de
Wheatstone e ligados como mostrado na seguinte figura.A sensibilidade para um
posicionamento adequado dos strain gages no diafragma fica:
ε
Sε = = 0.3741 ⋅ ⋅ 2 ⋅ (1 − ν 2 )
1 Ro2
q E h
– A sensibilidade elétrica de uma ponte completa de Wheatstone é:
Vo
Se = = V p ⋅ GF
ε
– A sensibilidade deste esquema de transdução fica:
= 0.3741 ⋅ ⋅ 2 ⋅ (1 − ν 2 )⋅ V p ⋅ GF
Vo 1 Ro2
S pressão =
q E h 44
M ST Automotivo
 Medidas de aceleração
–A posição de um ponto (p) ao longo de uma linha reta pode ser descrita em qualquer
instante (t) através do seu deslocamento tendo em conta uma certa origem.

-y 0 p p' +y

y ∆y
–A velocidade (v) do ponto (p) num intervalo de tempo é a taxa instantânea de variação
do deslocamento, e pode ser expressa assim:
dy
v=
dt
–Da mesma forma a aceleração (a) do ponto (p) num intervalo de tempo é a taxa
instantânea de variação da velocidade e se expressa assim:

dv d 2 y
a= = 2
dt dt
»A unidade de aceleração é m/s2, sendo usual sua expressão em "g".

M S T Automotivo 45
 Acelerômetro usando Strain Gages

Engastamento

Strain gages

b
Massa a
Inercial
h d

M S T Automotivo 46
Medida de aceleração medindo deformações de um corpo
– No mecanismo de deformação associado a piezoresistividade uma massa inercial
está solidária a uma viga ou estrutura elástica, onde se encontram alojados os strain
gages. A aceleração agente no dispositivo associada a massa inercial (M) gera uma
força (F = M.a) que flexionará a viga convertendo a aceleração em uma
deformação mecânica. A sensibilidade desta conversão primaria fica:
ε 6⋅ M ⋅d
Sε = =
a b ⋅ h2 ⋅ E
» com: E = Módulo de elasticidade do material da viga, b = Largura da viga, h =
espessura da viga e d = distância até o strain gage
– A sensibilidade elétrica de uma ponte completa de Wheatstone é:
Vo
Se = = V p ⋅ GF
ε
» com :Vp = Tensão de alimentação da ponte de Wheatstone, GF = "Gage Factor" do
extensômetro elétrico, então a sensibilidade do acelerômetro fica:
6⋅ M ⋅d
Sacc = ⋅ V p ⋅ GF
b⋅h ⋅E
2

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