Tecnologia de Vácuo 2005 Aula 2 Revisado

GEPSI - Grupo de Estudos de Propriedades de Superfícies e Interfaces
Tecnologia de Vácuo
Tatiana Lisbôa Marcondes

Orientador: Prof. Dr. Roberto Hübler
Fevereiro de 2003
Moltinho-Silva-Cunha
Tecnologia de Vácuo
I. Propriedade dos gases 3
II. Cálculo de sistemas de vácuo 16
III. Bombas de vácuo 36
IV. Medidas de pressão 82
V. Analisadores de gases residuais 115
VI. Detecção de fugas 137
VII. Materiais 150
VIII. Montagem e funcionamento 167
2
I – Propriedade dos gases
1) Estado gasoso
2) Temperatura
3) Pressão
4) Leis dos gases
5) Livre caminho médio
6) Vácuo
7) Termos correntes
8) Aplicações
3
1) Estado gasoso
Toda a matéria é formada por átomos (atração x repulsão).
Os diferentes estados da matéria correspondem ao maior
ou menor grau de liberdade das partículas.
Estado sólido partículas próximas – e.g., estruturas
ordenadas (redes cristalinas).
Forças intensas, pouco se afastam da posição de equilíbrio.
Estado líquido destruição da estrutura sólida, porém
existem forças de coesão.
Estado gasoso Grande energia cinética (colisões = N/dV)
Tensão de vapor
Dependência: densidade – temperatura – pressão
4
2) Temperatura
As moléculas que formam um gás têm velocidades
≠ nas mais variadas direções.
É possível estabelecer uma

relação entre velocidade 1 2 3
média do conjunto e a mVr  kT
temperatura absoluta 2 2
Gases monoatômicos  energia cinética = energia
total das moléculas.
Gases poliatômicos  … + movimentos internos.
5
3) Pressão
 Força  F  p  A
 Imaginemos: êmbolo não recebendo energia das
moléculas (refletor)  variação do momento linear total  2mV 
x
1 2
FX  nVx A  2mVx  nmVx2 A p  nmV
Pressão  x
2
6
3) Pressão
 Como todas as moléculas têm velocidades
≠ em direções ≠ é necessário considerar a
média dos valores de Vx2.
2 1 2
V x  Vr
3
Pressão 1 2 2  mV 2

p  nmVr  n r

3 3  2 
7
4) Leis dos gases

O produto de p.V:
 2  mVr 
2
pV  N   
 3  2 
Juntando T:
pV  NkT
Em misturas: N=N1+N2+...
V=V1+V2+...
p=p1+p2+... (Lei de Dalton)
8
4) Leis dos gases

Para gás ideal
 T = const.  pV = constante
p1V1=p2V2 = constante (Lei de Boyle-Mariote)
 p = const.  O Vgás varia proporcionalmente à T.
V=const. x T (Lei de Gay-Lussac ou Lei de Charles)
Se V, p e T de 2 gases forem = é também = o número de

moléculas presentes ( Lei de Avogadro  6,023x1023).
Número de moléculas por centímetro cúbico (Número de
Loschmidt  2.69x1019cm-3).
Equação virial de estado
9
5) Livre caminho médio

“A distância média percorrida por uma molécula
entre duas colisões sucessivas”.
Considera-se: volume do “cilindro”, o número de
colisões por segundo (densidade do gás),
pressão e temperatura.
Para o ar (20oC), considerando

um diâmetro médio das partículas. 7 10 cm 
3
 À pressão normal = 7x10-6 cm. 
  = 70 cm (10-4 mbar). pmbar 
10
6) Vácuo
Um determinado volume diz-se em vácuo
quando a densidade de partículas nele
existente é inferior à que se encontra na
atmosfera a pressões e temperaturas
normais.
Para medir o grau de vácuo usa-se a

pressão e não a densidade de partículas.
(SIPascal = N/m2)
11
Tabela de conversão de unidades de pressão
Pascal torr atmosfera bar dine cm-2
1 Pa = 1 7,50 x 10-3 9,87 x 10-6 10-5 10

1 Nm-2
1 torr 1,333 x 102 1 1,316 x 10-3 1,333 x 10-3 1,333
1 atm 1,013 x 105 760 1 1,013 1,013 x 106
1 bar 105 750,06 9,87 x 10-1 1 106
1 dine cm-2 10-1 7,50 x 10-4 9,87 x 10-7 10-6 1
12
Comparação de pressão com várias grandezas físicas
Pressões Zonas de Livre caminho N.O de N.O de colisões Altitudes em
(mbar) pressão médio moléculas por por seg. com 1 relação à Terra
(ar à cm3 cm2 de parede com condições
temperatura n equivalentes
1
ambiente) nv (Km)
 (cm) 4
103 Pressão 7x10-6 2x1019 3x1023 Nível do mar

atmosférica
102 Vácuo
1 7x10-3 2x1016 3x1020 45
10-1 Vácuo primário
10-3 7 2x1013 3x1017 90
10-4 Alto vácuo
10-6 7x103 2x1010 3x1014 160
10-7 Vácuo muito
alto
10-9 7x106 2x107 3x1011 450
10-10 Ultra-alto
vácuo
10-12 7x109 2x104 3x108 1000
10-14 20 3x105
10-15 7x1012
(200 anos-luz)
13
7) Termos correntes
 Absorção
 Adsorção
 Bombeamento
 Condutância
 Desgaseificação
 Fuga
 Pressão parcial
 Sistema dinâmico
 Sistema estático
14
8) Aplicações
 Desgaseificação de óleos;
 Filtragem em vácuo;
 Destilação em vácuo;
 Desidratação de alimentos;
 Nas lâmpadas de luz elétrica e de luz
fluorescente;
 No transporte de líquidos (ex. leite);
 E outras...
15
II – Cálculo de sistemas de vácuo
1) Velocidade de bombeamento
2) Condutância
3) Fluxo de gases em tubos
4) Fluxo viscoso
5) Fluxo molecular
6) Fluxo intermediário (ou de Knudsen)
7) Variação no tempo da pressão
16
II – Cálculos de sistemas de vácuo
1) Velocidade de bombeamento
 Volume de gás retirado
por segundo. dV
S
dt
 Quantidade de gás bombeada na unidade de tempo
(fluxo).
QSp
O fluxo Q (T=const.)  Q = Qg + Qd + Qf
Qg  gases existentes inicialmente
Qd  desgaseificação dos materiais
Qf  entrada de gás contínua
17
2) Condutância
Sistema de vácuo
Câmara a bombear Bombas de vácuo
“Componentes que dificultam a passagem do gás

diminuindo a velocidade de bombeamento do sistema”.
Q  C  p1  p2 
Quantidade de gás que
1
C passa pelo tubo por
unidade de tempo e pela
Z diferença de pressão
Tubos em série  Somatório das resistências

Tubos em paralelos  Somatório das condutâncias
18
2) Condutância
 Relaciona a velocidade de bombeamento efetiva S, com

a velocidade da bomba Sb e a condutância C do sistema
de vácuo. 1 1 Pb 1 1 1
    Z
S C Q C Sb Sb
 Se C « Sb  S  C (condutância do tubo)
 Se C » Sb  S  Sb (características da bomba)
19
3) Fluxo de gases em tubos

Condutância de um tubo depende:
depende
Dimensões
Tipo de fluxo estabelecido
Pressão
Velocidade de bombeamento
20
a) Fluxo turbulento
Ocorre quando a pressão e a velocidade dos gases são
muito elevadas.
b) Fluxo viscoso ou laminar
O gás desloca-se em camadas finas sobrepostas umas às
outras. A áreas das camadas
Av l  distância entre elas
Qvisc  v  velocidade
l  fator de proporcionalidade
(coeficiente de viscosidade
c) Fluxo molecular
Ocorre a baixas pressões quando o livre caminho médio
excede o diâmetro do tubo.
d) Fluxo intermédio ou de Knudsen
A velocidade do gás junto à parede do tubo não pode ser
considerada nula.
21
Fluxo turbulento x fluxo viscoso

Número de Reynolds
Dv
D  diâmetro do tubo
v  velocidade média de fluxo do gás
Re  no tubo
   densidade
  coeficiente de viscosidade do gás
Re  8,3 xD 1Q(20o C )
Se Q > 2,5x102D (turbulento)
Se Q < 1,2x102D (viscoso)
D > 0,3 cm  tubos são superiores
22
Fluxo viscoso x fluxo molecular

Número de Knudsen

D  diâmetro do tubo
  livre caminho médio Kn 
D
Se Kn < 10-2 (viscoso)
Se Kn > 1 (molecular)
Assim...
Fluxo viscoso se pm D > 7x10-1 mbar cm
Fluxo molecular se pm D < 7x10-3 mbar cm
“Regras válidas para tubos cilíndricos”
23
L
4) Fluxo viscoso d
 Tubo cilíndrico (fórmula de Poiseuille)

L = comprimento do 4
tubo D
pm = pressão média Q(mbar ls -1 )  2,46  10 1 pm  p1  p2 
D = diâmetro do
L
tubo
 é representado em poises (1 poise = 10-1 Kg m-1 s-1)

D4
C (1 s -1 )  2,46  10  2 pm
L
Para o ar a 20 oC
-1 D4
C (1 s )  134 pm
(=1,829x10-4 poise) L
24
 Tubo retangular
b
a
L
a 2b 2 Y é um fator que
-1 2
C (1 s )  3,57  10 pmY depende da razão
L a/b.
2 2
Para o ar a 20 C a b
C (1 s -1 )  196
o
pmY
L
Orifício pequeno em relação ao volume a bombear (com
p1> p2).
A = área do orifício em
A p cm2
C (1 s -1 )  20 para 2  0,52
1  p2 p1 p1 P2/p1=0,52 é um valor
crítico (máximo de fluxo)
p2/p1  0,1 (C  const. E igual a 20A).
25
5) Fluxo molecular
 Tubo comprido secção uniforme qualquer
A = área da secção
1 P = perímetro
-1 T  2
A2
C (1 s )  19,4 K   L = comprimento do tubo
M  PL K = fator de Clausing (depende da
forma da secção e do peso
molecular do gás - M)
 Tubo cilíndrico comprido

1
K=1 T  2
D3
C (1 s -1 )  3,8 
M  L
-1 D3 Para o ar a 20 oC
C (1 s )  12,1 fazendo M = 28,98g
L
26
 Tubo retangular
Para a«L Para a»b
1 1
T  2
ab2 2
T  2
ab 2
-1
C (1 s )  9,7  K C (1 s -1 )  9,7  K'
M  a  b L M  L
Para o ar a 20 oC Para o ar a 20 oC
2 2 2
-1 a b ab
C (1 s )  30,9 K C (1 s -1 )  30,9 K'
a  b L L
Condutância
Coroa circular Pequeno orifício
27
 Condutância nos casos reais
Tubo curto (L < 20D)

1 1 1
 
C Ctubo Cabertura
Tubo com curvas
Laxial  Lef  Laxial  1,33D
A condutância em regime molecular é, independente da
pressão, dependendo porém do peso molecular do gás e
da temperatura.
A condutância será maior para gases de baixo peso
molecular e a altas temperaturas.
28
6) Fluxo intermédio (ou de Knudsen)

 Considera-se duas parcelas
Cint.  Cvisc.  Cmol.
4 3 Para o um tubo
D D
C (1 s -1 )  134 pm  12,1 cilíndrico para o ar a
L L 20 oC
Pm expresso em mbar e D e L em cm.
Os limites para os fluxos viscoso e molecular ficam

praticamente a 1,3x10-1 e 1,3x10-3 mbar.
29
7) Variação no tempo da pressão

 A pressão num volume V está relacionada
com o fluxo de gás, pela expressão
Qg  Qd  Q f
p
S
Onde S representa a velocidade de
bombeamento efetiva à pressão p.
Admite-se que S se mantém constante no
intervalo de pressões considerado.
30
Caso A:
Sistema bombeado a partir da atmosfera.
 Q » Q + Q (podendo se desprezar).
g d f
 A pressão diminui no tempo à razão dp/dt e a

quantidade de gás bombeada é dada por
dp
Qg  V  pS
dt
 A resolução desta equação diferencial conduz à
expressão da variação da pressão com o tempo
p  pi exp t S V   pi exp t  
 pi é a pressão do sistema no instante t = 0 e  = V/S é
a constante de tempo do sistema.
31
Caso A:
O tempo que uma bomba leva para passar da
pressão inicial pi para p é dado por:
pi V pi
t   ln  2,3 log
p S p
 Uma pressão igual a metade da pressão inicial
será atingida ao fim de um tempo.
V
t1 2  0,69
S
Considerando-se que S não varia entre pi e p.
Se ocorrer o intervalo entre pi e p terá que ser
decomposto em pequenos intervalos dentro dos
quais S é constante.
32
Caso B:
 Qd e Qf são importantes em comparação a Qg, o que
ocorre passado o pré-vácuo.
dp
pS  V  Q0
dt
 Qd + Qf = Q0 = constante
V p
S  2,3 log
t 2  t1 p0
 Exemplo: Se o volume de 100 litros é bombeado desde a

pressão atmosférica até 1 mbar em 4 minutos, a
velocidade de bombeamento é
S=2,88 l s-1
33
Caso C:
 A pressões bastante baixas (p<10-5 mbar) e num

sistema sem fugas  Qd predomina.
Qd   f t  g Onde f e g são constantes
 Então...
f g
p t
S S
isto é, a pressão diminuirá linearmente com o
tempo.
34
Caso D:
 Se o fluxo de gás Q devido a fugas ou introdução
f
contínua de gás prevalecer.
Qf
pf 
Caso E: S
 Isolando o volume V já em vácuo (S=0 e Q =0) – caso B
g
Q0
p  pi  t
V
 Em que pi representa a pressão do sistema em t=0  p
aumentará linearmente com o tempo.
Caso F:
 Se a desgaseificação for muito importante depois de
isolar o volume – caso C (pressão aumentará com o
tempo segundo a lei quadrática) f 2 g
p t  t  pi
2V V
35
III – Bombas de vácuo
1) Introdução
2) Bombas mecânicas
3) Bombas de vapor
4) Bombas de fixação
5) Medidas de velocidades de bombeamento
(S) e de condutância (C)
36
1) Introdução
Bombas de vácuo
Bombas com deslocamento de gás
(retiram gases)
Bombas rotatórias (atm)
Subatmosféricas
Bombas de fixação
37
Zonas de pressão correspondentes à

diferentes bombas
10-12 10-10 10-8 10-6 10-4 10-2 1 102 103
mbar
Bombas rotatórias
Bombas de absorção
Bombas “Roots”
Ejetores de vapor
Bombas “Booster”
Bombas de difusão
Bombas iônicas e de adsorção
Bombas criogênicas
Bombas moleculares
38
Variação do custo da bomba sobre a

velocidade de bombeamento
39
Princípios básicos
 Bombas mecânicas  passagem do gás de
entrada/saída (transferência de momento linear
entre o meio motor e o gás).
Ex.: rotatórias; “Roots” e as bombas moleculares.
 Bombas de vapor  é o vapor de água, de
mercúrio ou de um óleo de baixa pressão de vapor
que arrasta as moléculas de gás de entrada/saída.
Bombas de vapor
Tipo Zona de operação
Ejetoras de vapor 1023 a 4x10-2 mbar
Bombas de difusão <10-3 mbar
Bombas “booster” 10-2 a 10-4 mbar
40
 Bombas mecânicas e de vapor  é possível

definir a razão de compressão pelo quociente
entre a pressão à saída/entrada.
 Bombas de fixação  gás é retirado do volume
a bombear por fixação em paredes que têm a
propriedade de “bombear” gases.
Conseqüências: saturação e “efeitos de memória”.
Dependência do processo de fixação: ligações.
Bombas de fixação
Absorção Adsorção Ionização Condensação
41
2) Bombas mecânicas
Bombas rotatórias com vedação a óleo
 Asseguram o vácuo primário.
 Vedação  com óleo (lubrificante).
 Estágios  1 ou 2 (limite de 10-2, 10-4 mbar).
 Representação das características das bombas
através das curvas de “S” em função da “p”.
 Mecânicas (S)  10 e 90 000 l/min.
 Fases: 1. gases, vapores e tensão de vapor
elevada  a pressão que se pretende atingir.
2. melhorar a eficiência (balastro). ex: vapor de
água.
42
Bombas rotatórias
1. Bombas de pistão
rotatório
2. Bombas de palhetas
(duas ou simples)
43
Características de bombas rotatórias
1. Com um estágio
2. Com dois estágios
sem balastro
com balastro
44
Algumas técnicas  óleo da bomba (purificadores)

ou colocar condensadores (evitar).
 Bombas com vedação a óleo (cuidado!)
 Ventilar a bomba após desligar.
 Algumas bombas tem dispositivos de segurança.
 Senão  aplicar uma válvula eletromagnética

(isola a bomba na falta de luz e introduz ar na
bomba).
 Havendo migração do óleo  não ligar!
 Manutenção  óleo: nível ou fugas pelas juntas.
 Avarias  falha das molas, de vedação, válvula

de escape ou do balastro.
45
Acessórios das bombas rotatórias
Acima das bombas rotatórias

 Filtros de poeira ou condensadores
Condensadores
 Protegem contra: vapor ou gases corrosivos e
evita a migração de óleo p/ bomba (10-5mbar)
 Regenera  aquecendo (“by pass”, não satura).
 Iônicos  moléculas de hidrocarbonetos são

ionizados numa descarga de cátodo frio de
magneto invertido.
46
Bombas de anel de água

 Bombas rotatórias com vedação à água.
 Constituídas  estator e um rotor, excêntrico,
de palhetas múltiplas.
 Pré-vácuo  ejetores de vapor e bombas
“Roots”.
 Função industrial  evaporação de grandes
quantidades de água. ex: desidratação de
alimentos.
 Água  vedar e arrefecer (melhora a pfinal).
 Limitação  tensão de vapor de água à
temperatura de funcionamento da bomba.
47
Bombas de anel de água

Tensão de vapor de água
Temperatura 0 5 10 15 20 40 100
(oC)
Pressão 6,1 8,7 12,3 17,1 23,3 73,7 1013
(mbar)
 Cuidados!  inundação dos sistema (falta de

luz).
 Estágios  1 ou 2 (40 e 20 mbar)
 Velocidade de bombeamento  50 a 270 000
lmin-1
48
Bombas “Roots” (ou “Booster” mecânicas)
 Formadas por 2 rotores em forma de oito que

rodam em eixos paralelos e em sentidos
contrários, (ajustam-se sem se tocarem).
49
 Não existe óleo de vedação  permite

velocidades elevadas (500 a 3000 rotações/min,
conforme o tamanho da bomba)
 Vácuo primário (1 mbar)  fluxo entre os
rotores passa a ser molecular.
 Condutância será constante dependendo apenas
das dimensões das folgas.
Sb = velocidade de bombeamento
da bomba;
Sb  S d  Si Sd = o produto do volume
deslocado V pela freqüência de
rotação f.
Si = perda de velocidade devido à
fuga interna para o lado de baixa
pressão.
50
 S  3 x 103 a 1,5 x 106 l min-1.
 Pressão  15 a 10-3 mbar (10-5 mbar).
 Como não usam óleo, a maior parte da potência
desenvolvida para comprimir o gás vai aquecer
os motores.
Cr = Fator de proporcionalidade
P  Cr S1  p2  p1  S1 = Velocidade de bombeamento
p1 e p2 =pressão entrada/saída
 O aquecimento diminui com a associação de
uma bomba rotatória.
 Maior aquecimento a altas pressões (início do
bombeamento.
 Grande aquecimento dos motores (gripar).
 Precauções  arrefecimento, interruptor
sensível a pressão.
51
Bombas moleculares
 Baseia-se na transferência de momento linear

de um rotor a grande velocidade para as
moléculas de gás situadas entre o rotor e o
estator.
Bombas:
1. De arrastamento molecular
2. Turbomoleculares
52
Bombas de arrastamento molecular
 Para se ter uma razão de compressão p2/p1

grande  é necessária uma bomba de pré-
vácuo.
 Tem que atingir o regime de fluxo molecular (  
à distância rotor-estator).
 Numa bomba real  vácuo limita-se apenas
pelas fugas de entrada/saída.
 Vácuo  10-9 mbar.
 Velocidade de bombeamento  260 ls-1.
Para se atingir maior velocidade de bombeamento

usa-se as bombas turbomoleculares (vários
estágios associados).
53
Bombas turbomoleculares
 Primeiros estágios  altas velocidades de
bombeamento e pouca compressão.
 Últimos  alta compressão embora com menor
velocidade de bombeamento (Q=Sp).
 Construção  vertical ou horizontal.
54
 Velocidade de bombeamento  4 000 ls-1.

 Gases leves  H2 – a razão de compressão é
pequena (100 a 1000), a pressão final depende
da pressão parcial.
 Moléculas pesadas  óleo – a razão de
compressão é tão elevada, que torna impossível
a sua passagem para a zona de ultra-alto vácuo.
 Quanto ao hidrogênio  associa-se uma bomba
de difusão (10-10 mbar).
 Em regime molecular  a razão de compressão
é proporcional à velocidade de rotação, sendo
necessárias velocidades de rotação muito altas.
55
3) Bombas de vapor
Ejetores de vapor
O gás a bombear é arrastado por um jato de vapor, dando-
se uma transferência de momento linear entre a
corrente de vapor e o gás. • razão de
• Vapor.
compressão de um
• Energia térmica  ejetor  7 para 1.
energia cinética de
• Utilizando vários
translação.
andares (4)  10-2
• pressão mbar.
dependente da
• “S”  até 4500l/s
pressão inicial do
vapor e do Utilizado em sistemas
desempenho do muito sujos ou
ejetor, senão o gás grandes quantidades
reentra no sistema. de vapor.
56
Bombas de difusão
• Envólucro cilíndrico;
• Vaporizador para o
líquido da bomba;
• Chaminé com vários
andares;
 Bomba rotatória associada a saída da bomba.

 Vácuo atingido é determinado pela tensão de
vapor do fluído da bomba
57
 Líquidos utilizados  mercúrio ou óleos

especiais de muito baixa tensão de vapor.
 Mercúrio  trapa (N ), porque a temperatura
líq.
ambiente a pressão é de 10-3 mbar.
Refrigerar com neve carbônica (-78 oC) misturada
com acetona e álcool.
Outros vapores mais difíceis  ex. água
Solução: Nlíq. (-196 oC)  água (10-20 mbar)
mercúrio (10-32 mbar)
Bombas muito rápidas (sistemas de admissão
freqüente de gases)
Cuidado!!! Vapor de mercúrio
☠ (escape de gases)
58
 Nas bombas de difusão de óleo (não é necessário
Nlíq.)  10-9 mbar (água), mas... (utilizando 10-11
mbar)
 Bombas de fracionação (diminuir a corrente de
retorno)
 Escolha de óleo  tensão de vapor, ponto de
ignição e condições de trabalho com
bombeamento de ácidos, grandes quantidades de
O2 ou presença de radiações.
 Velocidade  100 000l/s (depende das
dimensões da bomba)
 A velocidade de bombeamento é proporcional à
condutância da entrada da bomba.
 Na prática: polegada (2,5 cm)  100 l/s.
59
 Bombas bojudas  S = 2400 l/s (fator 2x >)

 Importância do vácuo primário  o óleo ou
mercúrio oxidam-se devido ao aquecimento na
presença do ar.
 No cálculo da “S”  não esquecer a trapa ou o
condensador (reduzem a velocidade).
 Limpeza  vapores de tricloroetileno (usar
luvas).
 Ao desligar  isolar a parte em vácuo e deixar a
rotatória (manter as linhas de fluxo e o óleo)
 As bombas de difusão devem ser protegidas
contra falta de água e do fluído de
bombeamento.
60
Acessórios das bombas de difusão

 condensadores e trapas (reduzem a corrente de
retorno dos vapores.
condensadores
pratos
Arrefecidos por água ou
freon (-18 a -25 oC) ou
anéis
por elementos de
Peltier
chevrons
 Bombas de mercúrio  arrefecimento não pode

ser menor que -35 oC (sem refluxo do mercúrio).
61
 Usando condensadores  a pressão na câmara

de vácuo é aproximadamente igual a tensão de
vapor à temperatura do condensador, do fluído da
bomba e produtos da sua decomposição.
pressões baixas (trapas de ar ou Nlíq.)  77K
e desenhadas de modo a evitar as moléculas de
óleo se choquem com as paredes.
 Trapas  permite o refluxo do mercúrio
Nlíq.  óleo gruda – limpeza (temperatura

ambiente)
Tanto os condensadores como as trapas diminuem a
velocidade de bombeamento para gases
permanentes.
62
Bombas “Booster”
 Resulta da associação de estágios de difusão

com um estágio final ejetor e um condensador.
 Usadas a partir  1 mbar até 10-4 mbar.
 Pmáx  10-2 a 10-4 mbar
 Velocidade de bombeamento  23 000 l/s
 Q = fluxo = bastante superior ao das bombas de
difusão na mesma zona de pressões.
63
 Booster  tem aquecedores de maior potência

que as bombas de difusão e trabalham com
óleos voláteis.
 Pressão no vaporizador  40 mbar (difusão
4x10-3 mbar)
 O retorno ao vaporizador do óleo condensado é
assegurado por tubos exteriores ao corpo da
bomba.
 Pressão necessária para bombeamento  3 a 8
mbar (bomba rotatória de deslocamento
pequeno).
 Indicadas para  assegurar o pré-vácuo das
bombas de difusão e para o bombeamento de
grandes quantidades de gás.
64
4) Bombas de fixação
Bombas de absorção
 Estão substituindo as bombas rotatórias (pré)
 São essencialmente constituídas por vasos
cheios de um material absorvente como os
crivos moleculares (zeolites) e o carvão ativado.
65
 Esses vasos são imersos em Nlíq., resfriados

durante 15 min. e ligados ao sistema.
 A “S”  quantidade de absorvente no vaso e
com a eficiência da transferência de calor
(desenho da bomba) e também a história do
absorvente.
 Saturação dos crivos  expulsão dos gases.
 Regeneração do absorvente  a temperatura
ambiente.
 Vapor d’água  aquecimento dos crivos a 300
o
C durante 2h.
66
 Aumento da eficiência  bombas em paralelo.
 Pressão final (limitada)  percentagem de

gases raros presentes na atmosfera (He e Ne).
 Vantagem sobre as rotatórias  vácuo limpo
(sem contaminação por óleo e ausências de
vibrações no sistema.
67
Bombas de adsorção
 sublimação de titânio
 sem evaporação
Sublimação de titânio
 Evaporação  Ti ou Zr (10-2 mbar), depositam-

se nas paredes da câmara (Tamb. ou por Nlíq.)
 Bombeamento  propriedades do Ti (reativo)
 Vaporização  faz-se por aquecimento de
filamentos de ligas com Ti (ou bombeamento de
elétrons).
68
 Só bombeia gases reativos e a pressão residual

é devido aos gases inertes.
 Necessita de outra bomba  rotatória, difusão
ou iônica.
Velocidade de bombeamento
Câmara depositada
Temperatura
Velocidade de vaporização
Pressão do sistema
 Pode-se considerar que cada cm2 de camada

depositada a “S”  é de 0.5 a 1.0 l/s (normal)
1 a 1.5 l/s (água)
2 a 2.5 l/s ( Nlíq.)
69
 Velocidades de bombeamentos superiores a 1000

l/s (com economia)
 2Ti + N2  2TiN
 A baixas pressões o filmes deposita-se mais
rapidamente do que é consumido e por isso a
evaporação pode ser de modo intermitente.
 A pressões mais altas é necessário fazer uma
vaporização contínua (limitante da velocidade de
bombeamento).
 A sublimação contínua é necessária acima de 10 -5
mbar.
 A pressões mais baixas o ciclo de sublimação
depende da pressão.
70
 São usadas em geral entre  10-3 e 10-11 mbar

(necessita de vácuo primário, 10-3 mbar).
 Podem ser usados outros materiais
 Ti e o Zr (1000 oC) tem tensões de vapor de 10-8
e 10-9 mbar.
Bombas de adsorção sem evaporação

 Embalagem de vidro ou metal com uma
superfície reativa formada por uma liga de 16%
de Al e 84% de Zr (400 oC) – H2 (absorve)
 Regenerar (aquecimento 750 oC) – interior
 Saturação (troca-se).
71
Bombas iônicas e de adsorção

 Em geral estão associadas.
 As moléculas são ionizadas e depois aceleradas
para superfícies de titânio onde são adsorvidas.
 Os íons são obtidos  por uma descarga fria
(conhecida por descarga Penning).
• um ânodo (tubos)
tensão +5 kV
• duas placas de material
absorvente (Ti) –
cátodos
• um ímã  intensidade
do campo magnético 0,1
e 0,2 Tesla.
72
 A corrente iônica aumenta com a pressão,

calibrando-se serve para medir pressão.
 Saturação  verifica-se uma reemissão dos
gases bombeados (reemissão térmica).
-Bomba de cátodo com cavas (os íons
Problema? empurram o ar para o fundo das cavas.
Argônio! -Bomba triodo (+ elétrons)  Ti evita

reemissão (recobrindo).
-Bomba diferencial tipo diodo (contém
cátodos de diferentes coeficiente de
pulverização).
73
 As bombas diferenciais tem grande estabilidade

à pressões inferiores a 10-6 mbar.
 Velocidade nominal (ar)  10-5 e 10-7 mbar.
 Velocidade de bombeamento  1 l/s e 7000 l/s
(dimensões).
 Intervalo de pressão  10-2 a 10-11 mbar. *
 Bombeamento iônico c/ campo magnético: tipo
“Penning”, magneto ou magneto invertido.
 As bombas de ionização e adsorção necessitam
de ser associadas a uma bomba ou bombas de
pré-vácuo.
74
Razões das velocidades de bombeamento de vários

gases relativamente ao ar
Bomba diodo Bomba triodo Bomba diferencial
(%) (%) (%)
ar_ 100 100 100

O2_ 5 59 70
N2_ _ _ 95
Gases ativos
CO2_ 100 100 100
H2_ 270 210 160-200
H2O_
100 100 100
Ar_ 1 30 20-28*
Gases inertes
He_ 10 30 25-35*
Hidrocarbonetos leves 90-160 90-100 90-180
* - Depende da pressão: a 10-6 mbar corresponde o valor mais baixo; a 10-8
mbar corresponde o valor mais alto.
75
Bombas criogênicas
 Nova  como método de bombeamento.
 Permite bombear grandes volumes (baixo $),
vantagem de obter pressões muito baixas.
 Funcionamento  introdução de uma superfície
arrefecida a T« no volume a bombear
(condensação dos gases).
 Resfriamento  Nitrogênio líquido ou água.
 Tendência  reevaporar à medida que a
pressão desce, estabelecendo um equilíbrio.
 Hélio líquido (4,2 K)  mais usado 20 K (H2,
néon, hélio) – retirados por: bombas de difusão
ou iônica.
76
 Hélio líquido (4,2 K)  custo!!! $$$

 As velocidades de bombeamento dessas
superfícies dependem diretamente da
área.
 O limite superior de “S” à temperatura
ambiente por uma superfície colocada no
centro de uma câmara é S=11,6 A l/s ( A
= área em cm2).
 Estes sistemas permitem uma velocidade
de bombeamento superior a 1000 l/s
utilizando bombas bastante pequenas.
77
5) Medidas de “S” e de “C”

Método da bureta invertida
• uma bureta invertida,
mergulhada em óleo de
baixa tensão de vapor,
(bomba de difusão –
válvula agulha).
• o óleo sobe num tempo
t uma altura h.
 óleo
p g  p a  h
 Hg
78
 Volume do gás V = V0 - h A(secção da bureta).

 Quantidade total de gás  pgV
paV0  p gV
Q
t
 Uma vez determinado Q para obter S basta abrir
a torneira T, fixar a válvula agulha na posição
correspondente a Q e ler a pressão no
manômetro M colocado na campânula sobre a
bomba de difusão.
 V0  não precisa ser com exatidão!
 Para fluxos entre 1 e 10-3 torr l/s (bombas de
difusão!).
79
Método das condutâncias

 Fluxo inferior a 10-3 torr l/s
 Utiliza-se de um vácuo de ensaio, vácuo auxiliar e
um tubo de ligação cuja C é conhecida.
 Sendo p10 a pressão final do sistema, o débito na
câmara de ensaio é dado por:
Q  S  p1  p10   C  p2  p1 
p2  p1
S C , fluxo molecular
p1  p10
Este método tem vantagem de não necessitar de
medir fluxos mas somente pressões.
80
Método da constante de tempo
 Com o volume V constante e observando a

variação da pressão p com o tempo pode-se
determinar a constante de tempo e a partir
desta podem-se obter velocidades de
bombeamento de condutâncias.
 p » p0
dp
V  pC
dt
81
IV – Medidas de pressão
1) Introdução
2) Tubo em U
3) Medidor de McLeod (ou de compressão)
4) Descarga de alta freqüência
5) Medidores mecânicos
6) Medidores de condutibilidade térmica
7) Medidor de Knudsen
8) Medidor de ionização
9) Escolha de Medidores
10) Calibração de Medidores
82
1) Introdução
 Medidas de pressão inferiores à pressão
atmosférica são, e.g., difíceis e por vezes
sujeitas a grandes erros.
 Depende da resposta do medidor e da
composição química da atmosfera residual.
 Precisão relativa  10-1 e 10-3 mbar.
 10-4 mbar  medidas indiretas (aparelhos de
calibração!).
 Felizmente em muitos aplicações basta uma
aproximação.
83
2) Tubo em U
 Medidor mais simples  para vácuo primário.
 Um lado do tubo em U está aberto para a

atmosféra e o outro está ligado ao sistema cuja
pressão se pretende medir.
84
 O desnível h  dá a pressão p do sistema.
p  patm  h
 Tubo fechado em vácuo  diretamente a
pressão (vapor de mercúrio  10-3 torr).
 Esse medidor consegue ler pressões com
precisão de 10-1 torr.
 Usando um catetômetro  10-2 torr.
 É possível utilizar, em vez de mercúrio, óleo de
tensão de vapor muito baixa.
 Desvantagem principal  aderência do óleo as
paredes do tubo (tempo de espera).
85
3) Medidor de McLeod (compressão)

 Pressões inferiores a 10-1 mbar (pouca variação
da coluna U).
 Comprime-se o gás, que ocupa um volume
relativamente grande, num volume menor de
modo a obter uma pressão susceptível de ser
medida com uma coluna de mercúrio.
 Sabendo-se a razão de compressão é possível
calcular a pressão inicial.
 Pela lei de Boyle-Mariotte  T=constante
piV  p f V f
86
 Encontra-se o valor de pressão através da

medida de h  pf – pi
 Ajusta-se uma escala quadrática ao tubo.
h (nm) (h)2 p (torr)
4 16 10-5
12,6 160 10-4
40 1600 10-3
 Abaixo de 10-4torr usa-se uma escala linear

(devido a h ser pequeno).
 Ajusta-se uma escala linear ao outro tubo.
 Mede  10-2 a 10-6 mbar (pressão).
 Pressões mais altas  usar capilares fechados
com vários diâmetros.
87
 Mc Leod em miniatura  10 a 10-3 mbar.

 Indução de erros nas medidas (evitar):
 Necessário uma trapa de N2 líquido , devido ao
mercúrio.
 Oxidação das superfícies de mercúrio, provoca
deformação dos meniscos (falseia a medida).
 Não serve para gases condensáveis.

 Correções: devida à corrente de mercúrio e
devida a deformação do meniscos (batidinha!)
 Cuidados! Subida ou descida rápida do mercúrio,
pode provocar quebra do capilar (sistema frágil!
Cuidados ao manusear).
88
4) Descarga de alta freqüência

 Produzida por uma bobina de “Tesla”  é usada
para medidas de pressão.
 A cor e o aspecto da descarga permite
estabelecer uma relação.
 Eletrodos podem estar dentro ou fora do sistema
de vácuo.
 A descarga dá-se entre o eletrodo da bobina
“Tesla” e qualquer parte metálica do sistema.
 Cuidados!!! Uma descarga intensa pode furar o
vidro (fugas).
89
Aspecto da descarga de alta freqüência no ar
Pressão Cor da descarga Observações
10 mbar Rosa Descarga luminosa contínua
Descarga descontínua com

2 mbar Rosa
estrias transversais
A distância entre as estrias é
0.7 mbar Rosa
aproximadamente 1 cm
Espaço escuro de “Crooks”
4 x 10-2 mbar Fluorescente verde
~3 cm
7 x 10-3 mbar - A descarga extingue-se
90
5) Medidores mecânicos
Medidor de Bourdon
 Consiste de um tubo em forma de arco flexível,
fechado num extremidade e ligado ao sistema
de vácuo na outra.
A curva do tubo varia
com a pressão e estas
variações são indicadas
num mostrador por meio
de um ponteiro ligado à
extremidade fechada.
 São pouco sensíveis (utilizados para vácuo

primário).
91
Medidor de membrana
 Formado por duas câmaras separadas por um
diafragma muito sensível à variação de pressão 
membrana metálica (podendo ser enrugada).
Deformação
Métodos mecânicos
Métodos elétricos
1o) Membrana é ligada diretamente a um ponteiro

(10-1 mbar – mínima).
2o) Mede-se a variação da capacidade do
condensador formado pelo diafragma e pela placa
colocada em frente, utilizando uma ponte de
capacitores. 92
 Zero  quando as duas câmaras estão à mesma

pressão (alto vácuo).
 Introdução de um gás  provoca um desvio da
posição de equilíbrio, compensada com uma
tensão elétrica V aplicada às placas do
condensador.
2
p  constante  V
 Para pressões baixas as leituras são difíceis 
ruídos e flutuações.
93
 Conservando o condensador com o diafragma a

T=const.  é possível medir até 10-5 mbar.
 Vantagens:
 Permite obter medidas de pressões e gases
corrosivos ou que reajam com o mercúrio.
 Não contaminam o sistema.
 Desvantagens:
 Necessidade de uma calibração prévia.
 A pressão pode ser medida continuamente.
94
6) Medidor de condutividade térmica

Fluxo viscoso
A condutividade térmica é proporcional à viscosidade
Independe da pressão
 A baixas pressões   é da ordem das

dimensões do recipiente.
 A condutividade térmica depende da pressão 
podendo ser usada para medidas de vácuo.
95
Pirani
 Formado por um tubo metálico ou de vidro e

um filamento com uma T  120 oC.
 Remoção do calor do filamento  átomos e
moléculas que colidem (parede do tubo à T
mais baixa).
 A perda de calor pelo filamento é uma função
do número de partículas presentes, e portanto
da pressão.
 O medidor responde  aos gases devido aos
seus graus de liberdade (moléculas mais
complexas).
96
 Aparelho é calibrado para o ar, porém contém

fatores de conversão para vários gases.
 Energia térmica  depende ainda do coeficiente
de acomodação (antes e depois do choque).
 Filamentos  tungstênio ou platina
(envelhecimento por oxidação ou adsorção).
 Conservar o filamento limpo  aquecimento
(corrente mais alta).
 Os circuitos associados  são pontes de
resistências em que o filamento faz parte de um
dos braços e a variação da resistência é dada
pelo desequilíbrio.
97
 Aumento da pressão:
  da temperatura do filamento
  da resistência
 Usados desde a pressão atmosférica até
pressões da ordem de 10-3 a 10-4 mbar.
 Ao invés de um filamento, um termistor.
Termopar
 Os termopares são menos frágeis que os
pirani, mas são menos sensíveis.
 Usam-se na mesma zona de pressões e para
vários gases é necessário tabelas de correções.
98
7) Medidor de Knudsen
 Formado por uma placa muito leve suspensa por
um fio entre dois aquecedores.
99
 As medidas são absolutas e só dependem

da densidade numérica do gás (fluxo
molecular)    que a distância entre a
placa e os aquecedores.
 Pressão de trabalho  10-3 a 10-6 mbar.
 Abaixo de 10-6 mbar perde-se o coeficiente
de acomodação ficando diferente de gás
para gás.
 Não pode ser sujeito à vibrações (não
permite um “controlo remoto”).
100
8) Medidor de ionização
 A baixas pressões o número de íons
devido ao bombardeamento, de elétrons,
do gás residual é proporcional a pressão
desse gás.
 Pressões variam com o tipo de construção.
 Zonas de 1 a 10-5 mbar
 10-2 a 10-7 mbar
 10-3 a 10-11 mbar
101
Medidor de ionização (cátodo quente)

 Triodo  um filamento, uma grelha e um coletor.
 Podem ser introduzidos diretamente no sistema

ou em invólucro de vidro ligados ao sistema.
102
 A energia dos elétrons é fixa (não ultrapassando
150 eV).
 Maior eficiência de ionização  cerca de 100 eV
(+ energia, < sensibilidade).
 A energia dos ē é estabelecida pela  de
potencial entre a grelha e o filamento (potencial
terra ou ligeiramente +).
 O coletor de íons (-) repele os ē, devido à forma
da grelha, oscilam várias vezes entre o filamento
e o coletor antes de chocarem com ela.
 Maior percurso dos ē  boa eficiência de
ionização.
 A pressão p do sistema  a partir da corrente.
I+  corrente iônica. I-  corrente de ē.
s  fator de sensibilidade. I   I Gsp
G  fator de calibração (1 para o ar).
103
 A  de sensibilidade para  gases  aplica-se na
detecção de fugas.
 Estes medidores de ionização tem uma resposta
linear  10-3 mbar e 10-7 mbar.
 > que 10-3 mbar  um ē provoca + de uma
ionização (diminui-se o , configuração +
compacta e o filamento é de iridío toriado).
 Pressões baixas de 10-7 a 10-8 mbar 
configuração do triodo cria problemas.
Produção de raios X  quando os ē chocam-se
com a grelha (ocorre no coletor  efeito
fotoelétrico).
Aumento fictício da pressão!
 Evitando (raios X)  coletor é reduzido a um
simples filamento (10-11 mbar).
104
 Também pode-se suprimir a grelha, colocar um

campo magnético.
 O fator de sensibilidade é de 106 mbar-1,
corresponde a uma melhoria de 105 vezes, em
relação aos medidores de ionização normais.
 Conhecido  magneto de cátodo quente.
 Usado  pressões de 10-8 a 10-13 mbar, sendo
que > de 10-8 mbar deixa de haver linearidade
entre corrente e pressão.
 São muito sensíveis aos gases adsorvidos nas
paredes e no próprio metal dos eletrodos,
possuem circuitos que permitem acelerar a
desgaseificação (aquecimento a p < 10-5 mbar,
para não destruir o filamento).
105
 Filamentos  tungstênio (podem ser destruídos

a exposição brusca a pressão atmosférica ou
contínua a 10-2 mbar).
 Filamentos de irídio toriado são + resistentes.
 Circuito de proteção corta a corrente ao
aumento de pressão.
 A forma como a cabeça de ionização é colocada
no sistema influi na leitura.
 Contaminação por óleos de bombas de difusão
causam erros nas medidas.
 As cabeças nuas (Bayard-Alpert) são mais
corretas porém a posição na câmara pode
coincidir com uma pressão maior ou menor.
 As cabeças de Lafferty (não nuas, magneto)
106
Medidor tipo “Penning”

 Medidor de cátodo frio em que a ionização é
produzida por descarga entre o cátodo e
ânodo.
 A presença de um campo magnético eleva a
eficiência de ionização.
 A descarga ionizante é iniciada por emissão de

campo nos cátodos provocada pela  de
potencial entre os eletrodos.
107
 Pressões < 10-6 mbar  a descarga é difícil.
 Entre 10-2 e 10-3 mbar  subida rápida da
corrente.
 Utilizados  entre 10-2 e 10-7 mbar.
 A variação da corrente iônica com a pressão não
é linear (mas já vem calibrados para o ar).
 A eficiência de ionização depende da secção
eficaz de colisão das moléculas  usa-se fatores
de correção dos medidores de cátodo quente.
 Velocidade de bombeamento  1 l/s
(apreciável).
 As cabeças podem suportar a pressão
atmosférica, porém a exposição excessiva
contamina os eletrodos e os isoladores (erros de
5%).
108
 Um tipo especial deste medidor é o magnéton

invertido  o ânodo ocupa uma posição axial e
o cátodo é constituído por um cilindro que
envolve o ânodo.
 Campo magnético axial  magneto exterior.
 Zona de pressão medida (magnéton ou
magnéton invertido)  10-3 a 10-12 mbar.
 < 10-10 mbar a descarga pode-se tornar instável
(erros de medida).
 Então recorre-se a aparelhos com emissão de
elétrons feita ou por filamento aquecido ou por
fonte radioativa.
109
Alfatron
 As radiações ionizantes podem ser usadas para
medidas de pressão.
 A radiação   não contém riscos de
contaminação e não oferecem riscos a saúde.
 Utilizados  a atmosfera até 10-4 mbar.
 Até 10-3 mbar  as medidas são estáveis e de
grande precisão.
 Sensibilidade  10-5 A mbar-1.
 Utilizado para detecção de fugas, pois trabalha
a altas pressões, sem filamentos que possam
queimar e sem que haja perigo de descargas.
110
9) Escolha de medidores
 Vários fatores devem ser tomados em
consideração ao escolher um determinado
medidor. Os mais importantes são:
 O intervalo de pressões em que se querem

fazer as medidas;
 A precisão das leituras;
 Os gases cuja pressão se quer medir;
 As condições de trabalho.
111
Zonas de trabalho dos vários medidores

mencionados neste trabalho
Pressão (mbar)
10-13 10-10 10-8 10-6 10-4 10-2 1 102 103
Tubo em U com mercúrio aberto

Tubo em U com mercúrio fechado
Medidor de Bourdon
Medidor de membrana
Alfatron
Descarga de alta freqüência
McLeod
Pirani e termopar
Medidor de Knudsen
Pennig
Medidor de ionização
Medidor de ionização com campo magnético
Magnéton
112
Fatores a considerar na escolha de um medidor
Precisão
Leituras contínuas
Leitura num dado momento
Independente do gás
Várias cabeças
Saída para registro
Padrão para calibração

Bom
Suficiente
Mau
X SIM
 SIM com reservas
Tubo em U com mercúrio X X X

Tubo em U com mercúrio e fechado X X X
Medidor de Bourdon X X X
Medidor de membrana  X X
Alfatron X X X
Descarga de alta freqüência X
McLeod X  X X
Pirani e termopar X X X X
Medidor de Knudsen X  X X
Penning X X X X 113
10) Calibração de medidores

 A calibração dos medidores faz-se, em geral, por
comparação com medidor padrão  McLeod
(único medidor que dá a medida absoluta da
pressão, a baixas pressões.
 Próximas da atmosférica  tubos em U.
 Medidor de Knudsen funciona na mesma
pressão do McLeod só que é mais caro.
 A pressões inferiores a 10-6 mbar é praticamente
impossível uma calibração direta com o McLeod.
114
V – Analisadores de gases residuais
1) Introdução
2) Espectrômetros de massa
3) Escolha de um analisador
4) Análise de gases residuais com a ajuda
da desadsorção
115
1) Introdução
 O conhecimento das pressões parciais permite,
saber ao certo quais as moléculas que podem
intervir no processo.
 Em realção ao sistema  pode-se saber o
estado de desgaseificação das paredes, o estado
de limpeza dos sistema e mesmo detectar fugas.
 Os métodos mais usados são  espectroscopia
de massa e o estudo da libertação de gases
adsorvidos e absorvidos no sistema, por
aquecimento do material sorvente.
116
2) Espectrômetros de massa
 Aplicados para análise de gases residuais são
mais simples que os de tipo analítico dado o
trabalho específico a que se destinam.
Figura 5.1
 No caso, a amostra é constituída pelos gases

residuais que entram diretamente na fonte.
117
 Se a pressão de gases residuais for > que a

pressão de trabalho normal na fonte deve-se
introduzir a amostra através de uma fuga ou
constrição.
 A ionização das moléculas é feita por impacto
eletrônico (obtêm-se os íons +).
 Os íons + são dirigidos para o analisador de
massa onde são separados de acordo com as
razões entre as respectivas massas e cargas
elétricas (M/z).
 As espécies iônicas são recebidas num coletor
de Faraday ou num multiplicador de ē (emissão
secundária, amplificando a corrente iônica).
 A corrente iônica é  à pressão parcial dos
gases correspondente à massa selecionada.
118
 O registro destas correntes em função das

massas, o chamado espectro de massa.
 Três características do espectrômetro de massa:

 Sensibilidade [Ampère de corrente iônica por milibar];
 Resolução (M/M);
 Taxa de desgaseificação do próprio espectrômetro.
119
Íons que aparecem com freqüência

M/z Íons principais M/z Íons principais
1 H+ 27 C2H3+, CHN+
2 H2+, D+ 28 N2+, CO+, C2H4+
3 H3+, He+ 29 C2H5+, CHO+
4 He+, D2+ 30 C2H6+, N2H2+, NO+
12 C+ 32 O2+
13 CH+, C+ 35 Cl+
14 N+, CH2+ 36 Ar+
15 CH3+, N+, NH+ 37 Cl+
16 CH4+, O+, NH2+ 38 C3H2+, Ar+
17 OH+, NH3+, CH5+ 39 C3H3+
18 H2O+, NH4+, O+ 40 Ar+, C3H4+
19 F+ 41 C3H5+
20 Ne+, Ar++ 43 C3H7+
22 CO2++, Ne+ 44 CO2+, C3H6+ 120
 Para determinar as pressões parciais das alturas

dos picos de um espectro de massa  o número
de íons produzidos (a uma dada pressão,
depende da natureza do gás).
 A relação entre as alturas dos picos e as
pressões:
I1 p1G1

I 2 p2G2
 I1 e I2 são correntes iônicas a que as alturas dos
picos são , p1 e p2 são pressões parciais e G1 e
G2 são fatores de calibração dependente do gás.
121
Os tipos de espectrômetro de massa mais

utilizados para análise de gases residuais
são:
 Deflexão magnética;
 Cicloidal;
 Omegatron;
 Quadrupolo e monopolo;
 Tempo de vôo;
 Radiofreqüência tipo “Bennett”.
122
Espectrômetro de massa de deflexão

magnética
 A separação dos íons por massas é feita pela
combinação de um campo elétrico com um
campo magnético.
 Os íons são produzidos por impacto eletrônico

na fonte e acelerados por um campo elétrico
estabelecido entre a fonte e o prato de
focagem.
123
 Ao atravessarem o B (circulares) e os únicos
coletados satisfazem a equação
M 108 B 2 r 2

z 2V
em que M/z é a razão entre a massa em u.m.a.
e o número de cargas do íon , r o raio (do
aparelho) descrito pelos íons em [m], V o
potencial elétrico de aceleração em [V] e B a
indução magnética em [T].
 Para focar íons de  razões M/z  variar ou o B
(pode ser fixo) ou o campo elétrico.
 O intervalo de massas  1 a 250 u.m.a.
 Resolução  varia com o modelo de 50 até 200.
 Pressão parcial mínima  10-11 mbar (coletor de
Faraday) e 10-14 mbar (multiplicador de ē).
124
Tipo coloidal
 Os íons são produzidos na fonte por impacto
eletrônico são analisados por um campo
magnético perpendicular ao plano da figura e
por um campo elétrico no plano do feixe
 Os íons descrevem ciclóides.

125
 A distância L entre a fenda da fonte de íons e a

fenda do coletor é dada por
M E B  indução magnética e
L  const. E  intensidade do campo
z B2 elétrico cruzado.
 O espectro de massa pode ser obtido pela
variação de B, como pela variação de E.
 Resolução  independe da dispersão e da
energia angular do feixe iônico (cerca de 50).
 Sensibilidade elevada mesmo sem
multiplicadores.
 Intervalo de massas  ultrapassa 100 u.m.a.
 Pressões parcial da ordem  10-12 mbar e suas
dimensões – 20 cm.
126
Omegatron
 O omegatron é um ciclotron em miniatura.
 Os íons são formados ao longo do eixo central

por bombardeamento de ē, e devido à ação
conjunta de um campo magnético, de indução
B, e de um campo elétrico variável com a
freqüência  (espiral).
127
 Só atingem o coletor aqueles cuja razão M/z

corresponde a um certo valor da razão B/ dado
por 8
M 10 B B  Tesla

z 2f   Hertz.
 O espectro de massa é geralmente obtido por

variação de B.
 O omegatron trabalha  10-4 a 10-10 mbar.
 Resolução  na região de M  50 u.m.a. é cerca
de 50 e diminui quando M aumenta.
 A pressão parcial mínima detectável é da ordem
de 10-12 mbar sendo a sensibilidade 3 x 10-4
A/mbar.
128
Tipo quadrupolo ou monopolo

 Também conhecidos como filtros de massa.
 Quadrupolo  os íons são injetados num
sistema constituído por quatro cilindros
compridos.
 Aos pares de cilindros opostos são aplicadas as

tensões U + V cos t e -(U + V cos t).
129
 A tensão alterna com uma freqüência de 1MHz

(radiofreqüência).
 Para que haja trajetórias estáveis a razão das
amplitudes das tensões deve ser inferior a
U/V=0,168.
 São coletados os íons cuja razão M/z obedeça à
seguinte condição:
V [V]
M 3 V
r [m] 0
 1,3 10 2 2  [MHz]

z r0 f
Se houver íons com valores de M/z, que não
correspondem a essa condição, esses terão
oscilações e se chocarão com os cilindros.
130
 Varredura  variando as tensões RF e DC,

mantendo const. a razão entre elas e a  ou .
 Duração da varredura  30min. e 10-2s
(osciloscópio).
  razão U/V,  resolução do quadrupolo e 
transmissão.
 U=0 todos os íons alcançam o coletor (p total).
 Pressões parciais mínimas  10-16 mbar.
 Resolução é ajustável podendo ir até 100.
 Vantagens  não utiliza campo magnético.
 Monopolos  um cilindro e uma calha em V
(mais barato, mesmas tensões).
 Resolução  50
 pressão mínima  10-10 mbar.
131
Tempo de vôo
 Não tem campo magnético.
 Todos os íons acelerados na fonte tem a mesma
Ec, como as massas são , as veloc. também
são.
 Usando uma fonte pulsada (tensão +)  é
possível ao fim de um percurso conhecido, de
40 a 100 cm, registrar a passagem de grupos de
íons e estabelecer uma correspondência com as
massas.
 A velocidade de cada íon é  a (z/M)1/2, os íons
mais leves são coletados primeiro.
 M/z com o tempo  M/z  2 x 108 (vt2)/L.
 Eletrônica com resposta rápida  impulsos 10-
6
s, duração da freqüência  de 104/s.
132
Radiofreqüência
 Os íons atravessam uma série de eletrodos aos
quais está aplicada uma tensão de
radiofreqüência.
 Para um determinado valor da razão M/z a
velocidade do íon vai ser tal que ao passar em
todos os eletrodos receba um impulso
acelerador.
 Os outros serão acelerados ou retardados, só
os íons com determinado valor de M/z tem o
máximo da energia e vão poder atravessar as
grelhas seletoras colocadas antes do coletor.
133
 Resolução  50 (instrumentos simples e

baratos).
 Na ausência de radiofreqüência  todas
as massas são coletadas (pressão total).
 Pressões mínimas  10-11 mbar.
 Pressões totais  10-3 a 10-7 mbar.
 Sua dimensões da cabeça são pequenas e
podem e ser ligada diretamente ao sistema
de vácuo.
 Vantagens  A ausência de campo
magnético e a rapidez da análise.
134
3) Escolha de um analisador
 Zona de pressões de trabalho e orientação do
fluxo
 Sensibilidade (A mbar-1)
 Poder de resolução M/M
 Intervalo de massas necessário (Mmín., Mmáx.).
 Possibilidade de sintonizar uma determinada
massa.
 Possibilidade de indicação da pressão total.
 Possibilidade de ser desgaseificado por
aquecimento.
135
4) Análise de gases residuais com a

ajuda da desadsorção
 Se a sensibilidade dos aparelhos de medida não
permitir a determinação de uma pressão parcial,
pode-se utilizar uma superfície adsorvente que
durante um certo tempo adsorverá os gases
residuais.
 Em seguida provoca-se a desadsorção desses
gases por elevação da temperatura
determinando as variações em espectros de
massa.
136
VI – Detecção de fugas
1) Introdução
2) Métodos de detecção e localização de
fugas
137
1) Introdução
 Um sistema de vácuo nunca é perfeitamente
isolado  permeabilidade dos próprios materiais
utilizados e das juntas de vedação.
 Uma fuga tem as dimensões de um fluxo.
 As fugas aparecem, com mais facilidade, em
soldas e em todos os pontos onde haja ligações
desmontáveis, mas podem surgir devido a
fraturas ou poros nas paredes do sistema.
 Fugas virtuais  imperfeições no sistema que
aumentam com o tempo.
 Para calcular a fuga num sistema cujo volume V.
138
 Se a pressão subiu de dp no intervalo de tempo

dt a fuga será: dp 1
V mbar l s
dt
 Na prática o valor máximo desta fuga é fixado
em 10% do débito (Sp) do sistema à pressão de
trabalho.
dp 1 Sp

dt 10 V
Baixa pressões a velocidade de desgaseificação
das paredes e juntas de vedação começa a ser
importante em comparação com as fugas e, em
geral, a fuga aparente é maior do que as fugas
reais.
139
2) Métodos de detecção e
localização de fugas
*Para vácuo pouco elevado
Detecção com gases comprimidos
 Construção  ar comprimido e um tanque de
água (borbulhar do ar na água).
 Montado  cobre-se a zona suspeita de fuga
com uma solução de sabão e injeta-se ar
comprimido através de uma entrada (bolhas).
 Método usado em sistemas que não tenham
partes de vidro.
 A fuga mínima detectável  10-4 mbar l/s.
140
Detecção com descarga de alta

freqüência (bobina de Tesla)
 Sistemas em que se pode controlar visualmente
o aspecto da descarga (sistemas de vidro).
 O método baseia-se na cor da descarga.
 Se a fuga for numa parte de um sistema de
vidro, a descarga torna-se luminosa no ponto
onde houver uma fratura ou orifício (cuidado!).
 O gás utilizado deve ter viscosidade e massa
molecular baixas para passar rapidamente
através da fuga.
 Pode-se também utilizar um líquido muito volátil
que seja retirado facilmente pelas bombas (ex:
acetona ou álcool – solventes orgânicos).
 Detecção de fugas  3 mbar e 7x10-2 mbar.
141
Aspecto da descarga de alta freqüência no ar

Gás Cor da descarga
Ar a altas pressões – rosa
a baixas pressões – azul
Oxigênio amarelo com o centro avermelhado
Nitrogênio laranja a amarelo-avermelhado
Hélio vermelho-violeta e rosa-avermelhado
Hidrogênio rosa-avermelhado a laranja
Vapor de água azul-esbranquiçado
Anidrido carbônico verde-azulado
Argônio violeta
Néon vermelho-sangue
Álcool e acetona azul-acinzentado
142
Detecção com medidores (Pirani,

termopar e de ionização)
 Esses medidores tem sensibilidades  conforme

o gás residual que os rodeia.
 Qualquer gás ou vapor pode ser usado (gás de
prova) desde que seja  do ar.
 O gás tem que ser de baixa viscosidade para
que entre e saia rapidamente no sistema.
 Para que se possa recomeçar a operação ao fim
de pouco tempo.
143
Pirani ou termopar
 Medidores de condutibilidade térmica 
hidrogênio ou hélio (condutibilidade térmica
maior que a do ar).
 Usado entre 10 e 10-3 mbar, fuga mínima 10-3
mbar l/s.
 Aumenta-se a sensibilidade para 10-5 mbar l/s
utilizando o Pirani, desde que se possa zerar o
aparelho.
Medidor de ionização
 Para aumentar a sensibilidade utiliza-se dois
gases , um que aumente o valor lido e o outro
que o diminua.
 Utiliza-se  pressões inferiores a 10-4 mbar
(fuga 10-9 mbar l/s)
144
Detecção com bombas iônicas e de

adsorção
 A velocidade de bombeamento deste tipo de
bomba varia conforme o gás a bombear.
 Argônio aumenta a pressão porque não é
facilmente bombeado.
 Nitrogênio diminui a pressão.
 O uso alternado dos dois permite uma melhor
localização de uma fuga.
 O método pode ser usado abaixo de 10-4 mbar e
a fuga mínima detectável é de 10-10 mbar l/s.
145
Detecção com halogênios

 Baseia-se no fenômeno da ionização em
superfícies de platina a cerca de 1100K.
 A corrente de ionização é devida a íons (+) de
metais alcalinos que constituem impurezas da
platina. Esta corrente aumenta quando estão
presentes gases contendo halogênios.
 O detector consta de um filamento de platina
aquecido e de um cilindro externo também de
platina que funciona como coletor de íons.
 O filamento está enrolado num cilindro de
cerâmica e está ligado a uma tensão (+).
146
 Quando as moléculas contendo halogênios

entram em contato com a superfície do
filamento, dá-se uma migração e ionização de
átomos alcalinos que fazem parte das impurezas
da platina.
 Estabelece-se uma corrente de íons (+) para o
coletor (diodo de platina sensível a halogênios).
 Gás de prova  Freon 12 (CF2Cl2) porque não é
tóxico, nem combustível e é de fácil aquisição.
 Detecção pode ser feita por dois métodos:
 Teste de vácuo (10-4 mbar, fuga 10-5 mbar l/s –
exterior)
 Teste de pressão (fuga 10-4 mbar l/s – interior)
147
* Para alto vácuo

Detecção com espectrômetro de massa
 Sintonizado sobre uma dada massa (4 – Hélio),
observa-se a variação de intensidade do pico
correspondente.
 O limite de detecção de fugas pelo espectrômetro
de massa é determinado pela pressão mínima
detectável pmin. (10-10 a 10-12 mbar).
 A sensibilidade em pressão parcial (pparcial/ptotal) é
da ordem de 1 p.p.m.
 A fuga mínima detectável... Qf min. = Smin. pmin.
148
 A velocidade de bombeamento depende das

condições em que é feito o teste.
 Se a fuga for muito pequena a redução da
velocidade é necessária para que pmin. Fique nos
limites de detecção.
 Se a fuga for grande, a pressão à entrada do
espectrômetro pode tornar-se superior a 10-4
mbar, o que impede o funcionamento do
aparelho.
 O espectrômetro também pode ser usado para
testes de pressão.
149
VII - Materiais
1) Introdução
2) Metais
3) Plásticos
4) Borrachas
5) Cerâmicas
6) Vidro
7) Massas lubrificantes
8) Óleos para bombas de vácuo
9) Outros materiais orgânicos
150
VII – Materiais
1) Introdução
Os materiais a escolher para construção de
aparelhagem de vácuo devem satisfazer as
seguintes condições:
 Baixa capacidade de desgaseificação;

 Baixa permeabilidade aos gases e vapores;
 Baixa tensão de vapor;
 Elevada resistência à corrosão;
 Elevada resistência mecânica.
151
VII – Materiais
Taxas de desgaseificação em função do

tempo para vários materiais
152
VII – Materiais
2) Metais
 Mais usados  aço inoxidável, cobre e latão.
 Aço inoxidável – inox de estrutura austenítica e
de baixo teor em carbono. As propriedades
antimagnéticas da estrutura não interferem nos
instrumentos elétricos (baixa tensão de vapor).
 Soldas – por arco em atmosfera de argônio ou
por feixe de elétrons em vácuo (com polimento
eletrolítico).
 Desgaseificação – aquecimento (250 e 350 oC).
 Cobre – Usa-se para tubagens em pré-vácuo com
soldas feitas a prata, e em anéis de vedação
(cobre eletrolítico).
 Alumínio – anéis de vedação.
153
VII – Materiais
 Latão – sistemas onde não se pretende ir abaixo

de 10-6 mbar.
 Ouro – anéis de vedação em ultra-alto vácuo.
 Índio – muito dúctil (anéis de vedação), baixa
temperatura de fusão (157 oC).
 Altas temperaturas  molibdênio, tântalo, nióbio
e tungstênio.
Soldas de metais
 Evitar resíduos de óxidos.
 A solda a prata emprega-se para soldar pequenas
superfícies.
 São preferíveis as técnicas de solda por arco
elétrico em atmosfera inerte de argônio, por alta
freqüência em vácuo a prata ou ouro, e por feixe
de elétrons em vácuo.
154
VII – Materiais
 Minimizar a superfície interna total de modo a
que a desgaseificação seja tão baixa possível.
 Detalhes de soldas
155
VII – Materiais
3) Plásticos
 Polietileno – barato e de boa resistência
mecânica. Uma vez desgaseificado não volta
facilmente a adsorver a mesma quantidade.
 Nylon – forte, resistente a altas temperaturas,
mas libera muito vapor de água.
 Perspex – transparente e facilmente trabalhável
(janelas), libera vapor de água. Acetona e álcool
o deixam quebradiço.
 Teflon (PTFE) – caro, porém o melhor!
Facilmente trabalhável, autolubrificante e inerte.
Acima de 400 oC libera vapores altamente
tóxicos (norma não fumar!). ☠
 Araldite – colar.
156
VII – Materiais
4) Borrachas
 São usadas para vedações, em anéis de juntas
desmontáveis e para diafragma de válvulas (alta
taxa de desgaseificação).
 Limpeza – pano seco ou uma passagem rápida
com álcool, acetona ou preferencialmente xileno,
benzeno, tolueno ou clorofórmio.
 Borracha natural – vácuo primário, utilizada para
anéis de vedação (sofre ataque – óleo das
bombas – 70 e 105oC ).
 Neopreno – Tem permeabilidade e taxa de
desgaseificação baixas mas menos que a
borracha natural (não é atacada pelos óleos –
150 oC [80 oC]).
157
VII – Materiais
 Borracha acrílica – não é resistente aos óleos

mas é melhor que a borracha natural quanto a
permeabilidade e desgaseificação (T =
neopreno).
 Borracha nitrílica – equivalente ao neopreno,
porém mais resistente aos óleos.
 Viton – suporta altas temperaturas e a
permeabilidade e a taxa de desgaseificação são
baixas. É atacada pelos solventes orgânicos
tendo que ser limpa apenas com pano seco.
Sem dúvida a melhor borracha para anéis de
vedação, permitindo atingir pressões da ordem
de 10-9 mbar.
158
VII – Materiais
5) Cerâmicas
 Possuem tensões de vapor desprezáveis e são
facilmente limpos e desgaseificado.
 Tem todos os tamanhos, com possibilidades de
soldar a metais e com grande resistência
mecânica, elétrica e térmica.
 Porcelanas (cerâmicas refratárias convencionais)
– autovitrificadas, bons isoladores elétricos mas
possuem pouca resistência mecânica ao choque
e taxa de desgaseificação elevada [1300 oC].
 Porcelanas refratárias nobres (tipo óxidos puros)
Alumina (Al2O3) – não é facilmente atacada por

produtos químicos – 1700 oC – condutibilidade
térmica = aço.
159
VII – Materiais
Glucina (BeO) – material muito estável [1700 oC],

não resiste a halogênios ou enxofre. Tem grande
condutibilidade térmica. (cuidado! Vapores
tóxicos!).
Esteatite (MgO. SiO2) – isolador para altas
freqüências.
 Cerâmicas super-refratárias
Nitreto de boro (BN) – isolador elétrico e térmico

mesmo a altas temperaturas. Fácil de trabalhar
mecânicamente, apresenta resistibilidade elétrica
[3000 oC em atmosféra de nitrogênio e
amoníaco].
160
VII – Materiais
6) Vidros
 Usam-se vidros de borosilicato (Pyrex),
porque além de ter boa resistência
mecânica podem ser desgaseificados em
vácuo até 450 oC.
 Podem fazer-se ligações vidro-metal
utilizando o “Kovar”, que é um liga de
ferro, níquel e cobalto.
161
VII – Materiais
Metais que podem ser soldados ao vidro

Metal Formas Temp. de Coeficiente Resistividade Preparação Vidros de Cor
comerciais fusão de dilatação a 20 oC x106 antes da ligação
o
C linear ( cm) solda
x107 (oC)-1
Platina Todas as 1769 90,7 10,8 Limpeza com Vidros Cinzento

formas álcool normais metálico
Molibdênio Fios e fitas 2610 55,7 5,0 Aquecimento “Phillips” Castanho a

prévio ao G28 ou violeta
rubro-branco “Schott”8243
Kovar Todas as 1450 50 45,6 Desgaseifica “Schott”8243 Cinzento

formas ção em H2 a ou “Philips”
1000 oC G28
Volfrâmio Fios e fitas 3410 45 5,5 Decapagem “Pyrex” B 40 Ocre

em NaNO3,
desgaseifica
ção ao
rubro-branco
Cobre Tubo afilado 1083 165 1,7 Aquecimento Todos os Vermelho-
na ponta com borax a vidros sobre cereja
800 oC e as partes
arrefeciment afiladas
o em
solução de
borax 162
VII – Materiais
7) Massas lubrificantes
Gorduras
 São utilizadas para lubrificação e vedação. Devem ser
usadas em quantidades mínimas para evitar uma
desgaseificação muito elevada.
a. Hidrocarbonetos de alto peso molecular
b. Silicones
Ceras
 São sólidos moldáveis à temperatura ambiente que se
tornam plásticos e fundem quando se eleva a
temperatura.
Lubrificantes
 Óleos das bombas e sólidos usados em vácuo com
baixa tensão de vapor e baixo coeficiente de fricção.
163
VII – Materiais
8) Óleos para bombas de vácuo

 Baixa tensão de vapor à temperatura ambiente e
elevada resistência à decomposição térmica.
Óleos lubrificantes
 São óleos de hidrocarbonetos, obtidos nos últimos
estágios de destilação do petróleo bruto (menor
percentagem de componentes voláteis).
 Tensão de vapor a 50-60oC fica em 10-4 mbar.
 A adsorção de água é baixa.
 Servem de vedantes e lubrificantes dos componentes
móveis.
 O óleo deve ser escolhido pela sua viscosidade (-
viscoso, + ruidosa; + viscoso, - ruído, - vácuo).
 Não protegem contra corrosão (aditivos
anticorrosivos).
164
VII – Materiais
Óleos para bombas de difusão
Propriedades mais importantes:

 Tensão de vapor muito baixa a temperatura ambiente
(10-7 a 10-10 mbar);
 Resistência a decomposição a altas temperaturas;
 Resistência ao ataque químico e troca iônica;
 Resistência à oxidação a altas temperaturas;
 Vapor não tóxico e não inflamável;
 Alto peso molecular;
 Calor latente de vaporização baixo.
 Componentes químicos mais importantes: misturas de

hidrocarbonetos, silicones e éteres polifenílicos.
165
VII – Materiais
9) Outros materiais lubrificantes

 Especialmente para reparação de fugas, existem
no mercado materiais orgânicos que podem ser
apresentados sob várias formas, das quais
destacaremos:
 Lacas  a base de substância betuminosa serve
para tapar fugas na zona de vácuo primário.
 Vernizes  polímeros de silicones em solventes
muito voláteis, enverniza-se a zona de fuga.
 Aerossóis  mais prático e mais rápido que os
vernizes.
166
VIII – Montagem e funcionamento
1) Introdução
2) Acessórios
3) Escolha e funcionamento de sistemas de
bombeamento
4) Limpeza de sistemas de vácuo
167
VIII – Montagem e funcionamento de sistemas de vácuo
1) Introdução
 Os sistemas de vácuo são, essencialmente de
dois tipos:
Sistemas estáticos – sistemas que são bombeados
e em seguida fechados de modo a manter o
vácuo, ex: válvulas eletrônicas;
Sistemas dinâmicos – sistemas que são
bombeados continuamente de modo a manter
uma determinada pressão, ex: espectrômetros
de massa, microscópios eletrônicos, aparelhos
de feixes moleculares, aceleradores, etc.
Esses últimos sistemas podem dividir-se
ainda em abertos e fechados.
168
Os sistemas de vácuo dinâmicos incluem:
1) Volume a evacuar;
2) Sistema de bombeamento;
3) Sistema de medida;
4) Sistemas de circulação de águas,
alimentação elétrica, segurança contra
faltas de água, de energia elétrica, ...
169
2) Acessórios
Os sistemas de vácuo necessitam de ser flexíveis,
i.é., de poder ser facilmente modificados ou
parcialmente substituídos em caso de avaria.
 Ligações desmontáveis
Na zona de pré-vácuo, entre a bomba de difusão e
a bomba rotatória, e.g., se faz a ligação por
meio de um tubo de borracha de neopreno de
paredes grossas.
Servem ainda como amortecedores de modo a que
a vibração da bomba rotatória não seja
transmitida ao resto do sistema (forma mais
duradoura – tubo flexível “bellow” de metal.
170
No projeto de ligação é necessário prever a cava,

i.é., o volume em que o anel vai ser apertado,
tendo em consideração que os elastômetros são
praticamente incopressíveis (superior em 10%
ao volume do anel).
 Sistemas p/ introdução de movimento em

vácuo
É possível fazer mover um eixo dentro do sistema
em vácuo, por ação de um magneto colocado no
exterior. Noutros casos, recorre-se a dois ou
mais anéis de vedação colocados entre o eixo e
o cilindro dentro do qual ele se desloca.
Melhor solução  utilização de tubos flexíveis.
171
 Válvulas
Sistemas de vidro  válvulas de vácuo torneira de vidro.
Sistemas metálicos  válvulas metálicas – pré-vácuo
(diafragma); em alto vácuo (além das de diafragma
usam-se válvulas de gaveta, de borboleta e de prato).
Outro tipo  válvula de esfera, para pré e alto vácuo.
Controle de fluxo  válvulas agulha.
172
 Válvulas
173
 Dispositivos de proteção
Contra corte de corrente elétrica, falta de água e

fugas súbitas, devido a qualquer situação
prevista.
- Corrente elétrica  válvulas eletromagnéticas
colocadas sobre a bomba rotatória.
- Falta de água  pressostato comercial, desliga a
resistência das bombas se a pressão de água
não for suficiente.
- Pressão  o próprio sistema de medida da
pressão atua desligando determinados circuitos
quando o valor da pressão passa limites pré-
estabelecidos.
174
3) Escolha e funcionamento de
sistemas de bombeamento
Três tipos:
 Bomba rotatória e bomba de difusão
pretende-se atingir o alto vácuo mas não
se tem a preocupação de eliminar a
contaminação por óleos.
 Sistema constituído por bomba iônica e de
adsorção e bombas de absorção.
 Grande volume de gás até atingir o vácuo
primário com bombas roots ou rotatória.
175
4) Limpeza de sistemas de vácuo

Todas as peças tem de ser limpas.
Os solventes mais usados são o álcool, a acetona, o
tricloroetileno, o benzonac e o freon, este último em
especial para borrachas, plásticos e isolantes.
Usam-se banhos de ultra-som para uma limpeza em
profundidade (cavitação – 10 min.).
Ultra-alto vácuo  necessário ter superfícies
microscopicamente limpas e desgaseificadas.
Peças de aço inox  fornos de vácuo, o que permite redução
das taxas de desgaseificação.
A montagem de sistemas de ultra-alto vácuo tem de ser feita

numa sala limpa, sem poeiras, correntes de ar ou gases
nocivos. O uso de luvas no manuseamento das peças é
absolutamente essencial.
176
Fim!!!
177

Tecnologia de Vácuo 2005 Aula 2 Revisado

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GEPSI - Grupo de Estudos de Propriedades de Superfícies e Interfaces

Tatiana Lisbôa Marcondes

Dependência: densidade – temperatura – pressão

É possível estabelecer uma

4) Leis dos gases

4) Leis dos gases

Se V, p e T de 2 gases forem = é também = o número de

5) Livre caminho médio

Para o ar (20oC), considerando

Para medir o grau de vácuo usa-se a

Pascal torr atmosfera bar dine cm-2

1 Pa = 1 7,50 x 10-3 9,87 x 10-6 10-5 10

1 torr 1,333 x 102 1 1,316 x 10-3 1,333 x 10-3 1,333

1 atm 1,013 x 105 760 1 1,013 1,013 x 106

1 bar 105 750,06 9,87 x 10-1 1 106

1 dine cm-2 10-1 7,50 x 10-4 9,87 x 10-7 10-6 1

103 Pressão 7x10-6 2x1019 3x1023 Nível do mar

Câmara a bombear Bombas de vácuo

“Componentes que dificultam a passagem do gás

Tubos em série  Somatório das resistências

 Relaciona a velocidade de bombeamento efetiva S, com

3) Fluxo de gases em tubos

Tipo de fluxo estabelecido

Fluxo turbulento x fluxo viscoso

Fluxo viscoso x fluxo molecular

 Tubo cilíndrico (fórmula de Poiseuille)

 é representado em poises (1 poise = 10-1 Kg m-1 s-1)

 Tubo cilíndrico comprido

Coroa circular Pequeno orifício

 Condutância nos casos reais

Tubo curto (L < 20D)

6) Fluxo intermédio (ou de Knudsen)

Pm expresso em mbar e D e L em cm.

Os limites para os fluxos viscoso e molecular ficam

7) Variação no tempo da pressão

 A pressão diminui no tempo à razão dp/dt e a

 Exemplo: Se o volume de 100 litros é bombeado desde a

 A pressões bastante baixas (p<10-5 mbar) e num

Qd   f t  g Onde f e g são constantes

Bombas com deslocamento de gás

Bombas rotatórias (atm)

Zonas de pressão correspondentes à

Variação do custo da bomba sobre a

 Bombas mecânicas e de vapor  é possível

Absorção Adsorção Ionização Condensação

Características de bombas rotatórias

Algumas técnicas  óleo da bomba (purificadores)

 Ventilar a bomba após desligar.

 Algumas bombas tem dispositivos de segurança.

 Senão  aplicar uma válvula eletromagnética

 Manutenção  óleo: nível ou fugas pelas juntas.

 Avarias  falha das molas, de vedação, válvula

Acessórios das bombas rotatórias

Acima das bombas rotatórias

 Iônicos  moléculas de hidrocarbonetos são

Bombas de anel de água

Bombas de anel de água

 Cuidados!  inundação dos sistema (falta de

Bombas “Roots” (ou “Booster” mecânicas)

 Formadas por 2 rotores em forma de oito que

 Não existe óleo de vedação  permite

 Baseia-se na transferência de momento linear

Bombas de arrastamento molecular