A elipsometria é uma técnica que tem como base a análise de determinada

superfície através da medição dos estados de polarização da luz refletida.

Fundamentado a este princípio é possível determinar propriedades ópticas e
morfológicas de diversos materiais. Esta técnica é amplamente utilizada para análise de
filmes revestidos em wafers com o objetivo de estimar a espessura e propriedades
ópticas, como o índice de refração da luz e o coeficiente de absorção. [1]
O índice de refração da luz (n) refere-se ao desvio da luz. Este fenômeno ocorre
quando a luz avança em meios opticamente diferentes. Já o coeficiente de extinção (k) é
um parâmetro adimensional que representa a fração absorvida (magnitude) dos fótons
incidentes em determinado material [3].
A técnica elipsométrica mede dois valores: ψ e Δ. Os dados destes dois parâmetros
e a análise dos índices de refração e coeficiente extinção são viáveis por meio da
utilização de um equipamento denominado elipsômetro. Este instrumento é
extremamente sensível, com capacidade de medir camadas tão finas quanto camadas
atômicas [2].
Este trabalho tem como objetivo abordar de uma forma sucinta os conceitos
relacionados à técnica de elipsometria, com o objetivo de se compreender o
funcionamento do elipsômetro bem como a interpretação de seus resultados. Os dados e
discussões presentes neste trabalho são referentes a desenvolvimento de atividades
realizadas em aula.

1. REVISÃO BIBLIOGRÁFICA
1. Elipsometria
A elipsometria é um método óptico não destrutivo que permite medir:
• o índice de refração (n) e o coeficiente de extinção (k) de um substrato;
• a espessura (d) e o índice de refração (n) de filmes finos transparentes sobre um
substrato altamente absorvente, cujos valores de n e k sejam conhecidos;
• se houver duas camadas de filmes transparentes sobre um substrato com n e k
conhecidos, pode-se determinar dois dentre os valores ns, ds, ni e di, onde os índices s
denota o filme superior e o índice i, o inferior, desde que os outros dois valores sejam
conhecidos. [7]
Na tabela 1são listadas as principais características envolvendo a técnica
elipsométrica.
Tabela 1. Características da técnica de elipsometria [4]
ψ e Δ (razão de amplitude (ψ) e diferença de fase (Δ) entre
Valores Medidos
ondas de luz conhecidas como ondas de luz polarizadas p e s).
Regiões Analisadas Principalmente na região infravermelha-visível / ultravioleta
Aplicação em Substratos, filmes finos, filmes poliméricos, monocamadas
Materiais auto-organizadas, proteínas, DNA, óxidos condutores
transparentes, dielétricos altos e baixos para revestimento anti-
 reflexo entre outros.
Deposição de vapor químico (CVD), epitaxia por feixe
Monitoramento em molecular (MBE),
tempo real oxidação, recozimento térmico, processamento de fase líquida,
etc.
i) A rugosidade superficial das amostras tem que ser pequena;
Restrições Gerais
ii) A medição deve ser realizada com incidência oblíqua.
Para o estudo da elipsometria como técnica óptica não poderia ser totalmente
fundamentado sem abordar a teoria de Maxwell. Ela prevê que a luz é uma onda
representada por dois vetores mutuamente perpendiculares: E, a amplitude da força do
campo elétrico, e B, a amplitude da força do campo magnético, sendo que ambos são
perpendiculares à direção de propagação z. A variação com o tempo da orientação de E
ao longo da direção de propagação em um local fixo é chamada de polarização. Qualquer
fonte comum de luz é conhecida como não polarizada porque E oscila aleatoriamente no
plano perpendicular à direção de propagação (o estado de polarização da luz é
representado apenas por E porque é um efeito maior em comparação com B).
Existem várias maneiras de produzir luz polarizada. Uma das formas mais comuns
de produzir luz polarizada linearmente a partir de luz não polarizada é usando um
polarizador. Enquanto o polarizador transmite o componente E oscilando na direção
perpendicular na qual o filme foi esticado (eixo de transmissão, TA), a onda de luz, cujo
E é perpendicular ao TA, é absorvida ou atenuada. Para verificar o estado de polarização
da luz depois de passar o polarizador, um segundo polarizador é necessário (analisador)
e nenhuma luz é transmitida através dos dois polarizadores como mostrado na Figura 1.