Análise de um Sensor Plasmônico Baseado em um
Guia de Onda do Tipo Rib
João Marcelo de M. Galvão1
Departamento de Engenharia Elétrica
1
Universidade Federal do Rio Grande do Norte – UFRN
Natal, RN
joao.galvao.110@ufrn.edu.br
Resumo—Neste trabalho, um guia de onda do tipo Rib é
utilizado no projeto de um sensor plasmônico. A região de
guiamento do guia é composta por um material baseado em um
filme fino de nióbio, tântalo e um óxido misto (Nb,Ta)2O5. O filme
é depositado sobre um substrato de pentóxido de nióbio (Nb2O5) e
uma fina lâmina de ouro é colocada sobre o (Nb,Ta)2O5 e abaixo
de um material de análise (analito). A utilização da lâmina de
ouro, tem como base provocar o efeito de Ressonância de
Plasmons de Superfície Localizado (LSPR), que nessa condição
torna-se sensível a variações do índice de refração (IR) do analito
(n a ¿ . Com essa configuração, é projetado um sensor plasmônico
para operar com variação de n a entre 1,7 a 2,2, considerando um
faixa de comprimento de onda variando de 0,50 µm a 0,80 µm.
Palavras-chave—sensor óptico; sensor plasmônico; guia de
onda rib;
I. INTRODUÇÃO
Guias de onda são estruturas capazes de confinar o campo
eletromagnético através de condições de contorno apropriadas,
implicando uma direção preferencial de propagação. O guia de
onda do tipo costela (do inglês Rib Waveguide) é um guia no
qual a região de guiamento é formada por uma ou várias
camadas depositadas sobre um substrato. As camadas nas quais
a região de guiamento está imersa possuem a função de ajustar
o índice de refração efetivo da estrutura. Nesse caso, a estrutura
utilizada neste trabalho foi projetada para operar no modelo de
um guia de onda tipo Rib. Estes tipos de guias normalmente
funcionam mantendo a energia óptica confinada na região de
guiamento, dessa maneira prevenindo o espraiamento do
campo óptico [1]. O modelo analisado pode ser aplicado para
diferentes tipos de dispositivos ópticos, como por exemplo, os
sensores ópticos e fotodetectores [2 – 5].
Além de possuir compatibilidade com diferentes estruturas
ópticas este tipo de guia pode ser adaptado para aplicação
como sensores que utilizam o fenômeno da ressonância de
plasmons de superfície (SPR). O SPR é geralmente utilizado
em estruturas ópticas para a obtenção de sensores plasmônicos,
com grandes precisões e sensibilidade espectral. Além disso, o
processo de construção de sensores plasmônicos é simples com
relação ao desenvolvimento de outros tipos de sensores, o que
torna sua aplicação bastante atrativa nos dias atuais.
Em adição, o funcionamento de sensores com SPR
baseiam-se no princípio que quando um feixe de luz excita uma
N. H. O. Cunha1,2, J.P da Silva1,2
Departamento de Engenharia Elétrica
1
Universidade Federal do Rio Grande do Norte – UFRN
2
Programa de Pós Graduação em Engenharia Elétrica e da
Computação – UFRN
Natal, RN
nilson.ee@gmail.com, jose.patrocinio@ufrn.br
interface dielétrico-metal, provocará oscilações na densidade
de carga ao longo dessa interface. Essas oscilações, também
são conhecidas como oscilações de plasmons de superfície
(SPO) e o quantum dessas oscilações é o que se conhece por
modo plasmônico de superfície (SPM) [6].
De fato, os plasmons de superfície são ondas evanescentes,
ou seja, o campo propagado decai exponencialmente ao longo
da propagação, devido a este fato, a análise destes campos deve
ser realizada de forma local, o que tornou o termo ressonância
de plasmons de superfície localizada (LSPR) mais difundido.
Nesse cenário, este trabalho propõe a análise de um sensor
plasmônico utilizando um guia de onda tipo Rib, onde uma fina
lâmina de ouro é depositada sobre a camada de (Nb,Ta)2O5 que
representa a região de guiamento. Essa modificação permitirá
que a estrutura proposta nesse trabalho possa ser aplicada para
detectar uma determinada faixa de analitos quando excitada em
frequências ópticas [7, 8]. Os resultados apresentados neste
trabalho foram obtidos com base na análise modal da estrutura.
Na Seção II será apresentado o projeto do sensor
plasmônico, na Seção III os resultados obtidos e por fim na
Seção IV as conclusões do trabalho.
II. PROJETO DO SENSOR PLASMÔNICO
A estrutura do sensor é composta por um substrato de
pentóxido de nióbio (Nb2O5) seguida de uma placa de um
composto de (Nb,Ta)2O5. O material utilizado como elemento
plasmônico foi o ouro (Au) devido ao fato deste material não
sofrer oxidação.
A Fig. 1. mostra a estrutura proposta e os materiais
utilizados. O guia possui dimensões a = 3,5 µm, b = 6,0 µm,
c = 0,85 µm, d = 1,4 µm e t = 0,1 µm. A espessura
considerada para a camada de ouro foi de 0,05Analito
µm.
d c Ouro
t
(Nb,Ta)2O5
b
Nb2O5
a y
x
z
Figura 1- Esquema do sensor proposto
 Para reduzir o domínio computacional foi empregado uma
camada perfeitamente casada (PML) do tipo retangular, com
objetivo de absorver as ondas que incidem nos seus limites,
evitando a reflexão delas de volta ao guia. Na parte superior
do guia foi projetado um micro canal onde será depositado o
analito com índice de refração n a.

III. RESULTADOS E DISCUSSÕES

As simulações foram realizadas com um algoritmo próprio
[9] com uma formulação baseada no método dos elementos Figura 3- Seção transversal do sensor plasmônico
finitos (FEM) em conjunto com o método da propagação
vetorial de feixes (VBPM), capaz de realizar, além de outras Percebe-se, pela Fig. 3, que além do modo fundamental
funções, a análise modal da estrutura. O algoritmo foi também está surgindo um modo plasmônico acima da lâmina
desenvolvido para meios apenas dielétricos, portanto, para se de ouro, dessa forma, o efeito do SPR pode ser visualizado. Em
determinar a parte dielétrica do ouro, utilizado neste trabalho, adição, com base nos estudos realizados na Fig. 3, foram
é necessário aplicar o modelo matemático de Drude-Lorentz realizadas variações nos índices de refração do analito, de
[10], conforme mostra a Eq. 1. modo que a faixa de operação deste sensor foi determinada
para n a variando de 1,7 a 2,2.
ω2D ∆ε Ω2L Em seguida, para uma melhor análise dos dados, foi
ε Au=ε ∞ − − (1)
ω(ω + jγD ) (ω¿¿ 2−Ω2L )+ jω Γ L ¿ imposta uma linha ao longo da direção y, centrada na metade
da largura do micro canal do analito, dessa forma o campo
Ao 40
se implementar o modelo de Drude-Lorentz para o ouro elétrico (E) ao longo desta linha pôde ser obtido, conforme
60
com base nos Re{e dados
Au}
de [10], é possível se obter a mostra a Fig. 4. O campo elétrico no analito foi obtido para as
Permissividade Relativa Complexa

permissividade complexa do material, o que pode ser na= 1,7

35
Imag{e } variações de n a, utilizando um comprimento de na=onda
1,8 de
observado na Fig. 2. Au 50
excitação de 0,6329 µm.
30 na= 1,9
na= 2,0
Campo Elétrico (V/m)

25 40 na= 2,1
na= 2,2
20
30

15
20
10

5 10

0 0
1 2 3 4 5 6
2,7 3,0 3,3 3,7 4,0 4,3 4,7 5,0
Comprimento de Onda (mm)
Comprimento do Arco (µm)

Figura 2- Partes real e imaginárias da permissividade relativa do ouro,

utilizando o modelo de Drude-Lorentz. Figura 4- Curvas do campo elétrico presente no analito

O primeiro estudo realizado foi o levantamento modal da
estrutura. A Fig. 3 apresenta a seção transversal do dispositivo,
mostrando a distribuição de campo esperada para o correto
funcionamento do sensor plasmônico.
É perceptível na Fig. 4 que conforme o campo no modo
fundamental diminui, o campo no modo plasmônico aumenta.
Para n a de 2,0 e 2,1 a lâmina de ouro atraiu de forma mais
intensa a energia do modo fundamental para o modo
plasmônico, o que pode ser confirmado no gráfico apresentado.
Além disso, percebe-se que existe uma brusca diminuição entre
o modo fundamental e o modo plasmônico, isso ocorre
exatamente na região onde está localizada a lâmina de ouro, e
isso deve-se exatamente pelo material ser um metal, ou seja, o
campo elétrico em seu interior é praticamente nulo.
O próximo estudo realizado foi o da sensibilidade espectral.
A sensibilidade espectral, é representada pela razão entre a
variação do comprimento de onda (∆ λ ) e a variação do índice
de refração efetivo (∆ n), conforme mostra a Eq. 2.
 ∆λ Para os valores de n a de 1,7 a 1,9 pode-se observar que
WS= (nm/RIU) (2)
∆n existe uma região de alta sensibilidade, com valores em torno
de 9900 nm/RIU, para o índice de refração do analito de 1,9 a
Para a obtenção da sensibilidade, entretanto, é necessário 2,0 percebe-se uma região de transição, em que os valores de
primeiro obter-se os valores do índice de refração efetivo da sensibilidade espectral vão diminuindo, essa variação é devida
estrutura para cada valor de n a utilizado. Nesse contexto, a Fig. ao próprio material de detecção, que provocará a mudança do
5 apresenta
2,68 os índices de refração efetivos obtidosna=para
1,7 cada índice de refração efetivo da estrutura e consequentemente em
índice de refração do analito, considerando uma na=faixa
1,8 de sua sensibilidade espectral. Por fim, para analitos com n a de
comprimento
2,66 de onda de 0,50 µm a 0,80 µm. na= 1,9
na= 2,0
2,0 a 2,2 percebe-se uma região com uma sensibilidade menor,
em torno de 8400 a 8700 nm/RIU.
Índice de Refração

2,64 na= 2,1

na= 2,2
IV. CONCLUSÕES
2,62
 a partir da analise modal pode-se perceber o efeito
2,60 SPR
 conforme o modo plasmônico aumenta o modo
2,58 fundamental diminui
 para analitos com índice de refração de 2,0 e 2,1
2,56 ocorreram os maiores acoplamentos de energia
entre o modo fundamental e plasmônico
2,54  para valores menores de RI do analito, a
0,50 0,55 0,60 0,65 0,70 0,75 0,80
sensibilidade espectral é maior, enquanto que para
Comprimento de Onda (µm) valores maiores do analito a sensibilidade
espectral é um pouco menor
 devido ao formato da estrutura e ao micro canal
inserido para depositar o analito, a estrutura pode
Figura 5- Índice de refração efetivo ser utilizada para se detectar micro fluidos, por
Com base nos dados obtidos na Fig. 5, e sabendo-se que a exemplo
Eq. 2 apresentará valores pontuais para cada um dos valores de AGRADECIMENTOS
n a utilizados, é possível se realizar um ajuste polinomial para
Os autores agradecem a Universidade Federal do Rio
representar os dados obtidos em função de uma curva. Grande do Norte – UFRN pelo apoio na formulação deste
A Fig. 6. demonstra o resultado obtido utilizando a Eq. 2, artigo. Este artigo foi financiado em parte pela Coordenação de
com a aplicação de um ajuste de curva. Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior – Brasil
(CAPES) – Código de Financiamento 001.
10000 Calculado
Ajuste de curva REFERÊNCIAS
9800
Sensibilidade Espectral (nm/RIU)

[1] A. C. Siarkowski, “Implementação de sensores ópticos integrados para

9600 aplicações em análises químicas e ambientais,” Tese de doutorado. São
Paulo, Universidade de São Paulo – USP, 2007.
9400
[2] B. S. Ahluwalia, Ø. I. Helle, e O. G. Hellesø, "Rib waveguides for
9200
trapping and transport of particles," Opt. Express 24, 4477-4487, 2006.
[3] M. C. Gwinner, S. Khodabakhsh, M. H. Song, H. Schweizer, H. Giessen
9000 e H. Sirringhaus, “Integration of a Rib Waveguide Distributed Feedback
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8800 Advanced Functional Materials, vol. 19, no. 9, 2009, pp. 1360–1370.
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8600 “Integrated Opto‐Mechanical Cantilever Sensor with a Rib Waveguide,”
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8400 [5] V. Lavchiev, R. Holly, G. Chen, F. Shäffler, R. Goldhahn e W. Jantsch,
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1,7 1,8 1,9 2,0 2,1 2,2 [6] N. H. O. Cunha e J. P. da Silva, “High Sensitivity Surface Plasmon
Índice de Refração do Analito Resonance Sensor Based on a Ge-Doped Defect and D-Shaped
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A Tabela 1 apresenta o polinômio utilizado. depth on the performance of InP-based hybrid plasmonic waveguides,”
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Finos de Tântalo e Nióbio,” Simpósio Brasileiro de Micro-ondas e
Polinômio Optooeletrônica, 2014.
Y ( x )=−( 0,0339 ×10 ) x + ( 0,3174 × 10 ) x −( 1,1584 ×10 ) x + ( 1,9992×10 ) x −( 1,452×10 ) x +(0,3606× 10 )
8 6 8 5 8 4 8 3 8 2 8
[9] J. P. da Silva, “Simulação por Elementos Finitos da Propagação de [10] A. D. Rakić, A. D. Djurišć, J. M. Elazar e M. L. Majewski, "Optical
Feixes Óptico sem Estruturas Fotônicas,” Tese de Doutorado, São Paulo, properties of metallic films for vertical-cavity optoelectronic devices,"
Universidade Estadual de Campinas – UNICAMP, 2003. Applied optics, 37, 22, 1998, pp. 5271-5283.