Volume 5 (2022) Revista Metodologias e Aprendizado

Utilização de MEMS((Micro-Electro-
Mechanical Systems – sistemas
microeletromecânico) para aplicações de
circuitos de baixo custo de movimentação e
sensoriamento

Resumo: Com o avanço da tecnologia os processos de fabricação de microcomponentes dentro de

um circuito integrado (CIs) permitiram a construção de micro estruturas mecânicos como sensores e
atuadores comumente chamadas de MEMS (electro-mechanical systems – sistemas eletromecânicos) com
tamanho na ordem de 0,001 mm e podendo ser compostos de diversos materiais como silicone, cerâmica,
polímeros e metais estes sensores estão revolucionando o mercado com diversas aplicações na área de
entretenimento, indústria, medicina, automobilístico e aeroespacial dentre outros, que anteriormente
era muito limitado devido ao custo e tamanho dos dispositivos. Dentre esses dispositivos serão abordado os
sensores de Unidade de Medição Inercial (IMU) com foco no sensoriamento para unidades de automação
e robótica.

Jackson Stuhler 1A

1 - Instituto Federal Catarinense - IFC

A - contato principal : jackson.stuhler@ifc.edu.br

INTRODUÇÃO
Mems sigla para Micro-Electro-Mechanical Systems ou sistemas microeletromecânico
na nomenclatura Americana ou micro sistemas de tecnologia (MST) na Europa, são na
realidade circuitos integrados consistindo juntamente de partes mecânicas moveis. Sua
quantidade de componente tanto eletrônica e mecânico é alta, tudo isso formado sobre
um substrato de silício. Esses dispositivos podem ser de dois tipos, os microssensores e os
microatuadores.
Os microssensores têm por função coletar informações do ambiente ao redor através
de seus elementos mecânicos, magnéticos, térmicos, químicos e ópticos. Os microatuadores
têm por função atuar conforme o necessário através de mecanismos como filtros, atuadores,
válvulas e motores. Todas essas funções sendo realizados por esses dispositivos com
dimensões microscópicas, altamente eficientes, confiáveis, econômicos e de baixo custo.

Figura 1 – Foto de um circuito MEMS (fonte: Gta.ufrj Grupo de tele informática e Automação – aula 04)

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A tecnologia MEMS está inserida no cotidiano das pessoas como exemplos celulares,
Tablets, veículos, aparelho de jogos, relógios Smart Watch, celulares e etc. Outra área é a
medicina devido à qualidade que alcançaram.

IMU

IMU (Inertial Measurement Unit) sigla para unidade de medição inercial, uma
plataforma inercial é um sistema composto de sensores que informa a posição de um
objeto a ser medida em relação aos eixos de rotação, que são os de rolamento (X), arfagem
(Y) e guinada (Z). Os sensores que compõe o sistema inercial geralmente são o giroscópio,
acelerômetro e o magnetômetro que servem para medir a orientação, a aceleração e a
direção magnética. Cada sensor pode atuar em três eixos diferentes, em alguns dispositivos
que só possuem dois sensores, o acelerômetro e o giroscópio possuem 6 eixos DOF (Degrees
of Freedom – graus de liberdade) os que possui os três sensores tem 9 DOF.
As informações do giroscópio e do acelerômetro são transmitidas separadamente
podendo ser medidos individualmente, portanto, podem ser calibrados ou fundidos através
do processador externo ou embarcado no dispositivo. O magnetômetro que serve para
medir o ângulo de guinada, pode ser calibrado para auxiliar os dados do giroscópio para
melhorar a questão da deriva, mas em alguns casos, quando o magnetômetro é embutido
no IMU, dependendo do projeto, podem apresentar uma desvantagem se no ambiente que
está sendo utilizado é cercado por metal ferromagnético, ou por interferência magnética de
motores elétricos, pois podem afetar a leitura do campo magnético.

ACELERÔMETRO

O acelerômetro é um dispositivo eletromecânico com a finalidade de mensurar a

aceleração, diferentemente da aceleração que é medida entre a velocidade e o tempo, a
função do acelerômetro é medir a aceleração própria que é a relação a outro sistema em
queda livre, de modo que está ligada a sua sensação de peso, sua função em sensores IMU e
medir velocidades e distâncias percorridas.
Há diversos tipos de acelerômetros que podem funcionar a partir de diversos efeitos
físicos como os resistivos, magnetoresistivo, capacitivos, piezelétricos e apresenta uma
extensa faixa de valores de aceleração.
Os acelerômetros baseados em circuitos MEMS geralmente se utilizam da capacitância
para medirem a aceleração. Sua microestrutura se parece como um pente, possuindo um
conjunto fixo externo e uma massa presa a uma mola que está limitada a se mover ao longo
de uma direção. Quando ocorre uma aceleração a massa se move e a capacitância e alterada
entre as duas placas que será medida e processada pelo circuito do sistema.

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Figura 2a - acelerômetro Mems Figura 2b - Sistema de massa e usado para medir aceleração
(Fonte https://www.baudaeletronica.com.br ) (Fonte: elétrica.UFPR. /Sensores - funcionamento)

GIROSCÓPIO

O giroscópio é um dispositivo mecânico com a finalidade de mensurar a velocidade

angular de um sistema, ele consiste normalmente de um disco rotativo fixo por eixos que
podem se deslocar livremente em qualquer direção. Os giroscópios mecânicos são de
estruturas complexas e de consumo energético e tempo de resposta alto, possui falhas
inerentes à estrutura dessa tecnologia, surgindo assim, outras tecnologias de giroscópios alem
dos mecânicos, como os de fibra ótica e de anel de laser, e os MEMS (microeletromecânico).

Figura 3 - Giroscópio mecânico (Fonte: edisciplinas.usp - Aula4C - Sensores Inerciais.pdf)

Um giroscópio microeletromecânico (MEMS) em vez de disco giratório para medir a

velocidade angular, ele se utiliza de uma estrutura semelhante ao do acelerômetro através
da variação de capacitância, mas ao invés de medir o deslocamento, ele mede a velocidade
angular através da força de Coriolis.

Figura 4 – Funcionamento esquemático do giroscópio (Fonte: edisciplinas.usp - Aula4C - Sensores Inerciais.pdf)

Uma massa movendo em uma determinada direção com uma determinada velocidade
e quando uma taxa angular externa (processo de rotação) for aplicado, surgira uma força

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resultante provocando o deslocamento perpendicular dessa massa, este deslocamento

muda a capacitância do circuito que será medida, processada e corresponderá a uma
determinada taxa angular.

Figura 5 – Funcionamento esquemático de um giroscópio MEMS (Fonte: edisciplinas.usp - Aula4C - Sensores Inerciais.
pdf)

Giroscópios MEMS não possui uma precisão elevada, mas apresenta à vantagem de
ter um custo menor de produção, tamanho reduzido, baixo peso e consumo de energia,
rápida inicialização, Alta confiabilidade, baixa manutenção. Para sistemas onde exigem
alta precisão e confiabilidade são utilizados os giroscópios óticos.

Figura 6 - Foto de um giroscópio MEMS (Fonte: https://www.artilhariadigital.com/)

MAGNETÔMETRO

O magnetômetro é um dispositivo com a finalidade de mensurar o sentido e

a intensidade de campos magnéticos. São utilizados em estudos de geofísica, para a
navegação, prospecção mineral, avaliação de interferências nas comunicações etc. A vários
tipos de magnetômetro dentre eles os vetoriais que mede a força e a direção de um campo
magnético da terra.
Os magnetômetro de construção MEMS utilizam do efeito magneto resistivo ou efeito Hall
para captar os campos magnéticos, a maior parte se utiliza do efeito Hall que consiste em
uma placa condutiva como mostrado na figura 7.

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Figura 7- Funcionamento esquemático do magnetômetro (Fonte: https://howtomechatronics.com/ )

Ao definirmos a corrente que passa por ela os elétrons começam a fluir de um lado
para outro da placa, criando um fluxo, ao aproximar um campo magnético para perto da
placa, automaticamente interferirá no fluxo de elétrons, desviando os mesmos para um
lado da placa, criando um lado positivo e outro negativo, ao medirmos entre os dois lados
da placa haverá uma voltagem que depende da intensidade do campo magnético e de sua
direção.

Figura 8- Funcionamento esquemático do magnetômetro (Fonte: https://howtomechatronics.com/ )

Os demais sensores do mercado utilizam o efeito magneto-resistivo. Esses sensores

utilizam materiais sensíveis ao campo magnético, geralmente composto por Ferro (Fe)
e Níquel (Ne).Portanto, quando esses materiais são expostos ao campo magnético, eles
mudam sua resistência.

DIFERENÇAS ENTRE IMU E INS

Sistemas IMU tem o propósito de orientação através da velocidade e posição (rotação,

inclinação e direção), integrado os dados de movimento do IMU com outros sensores como
o GPS o altímetro e o magnetômetro temos o INS ( Inertial Navigation System), a navegação
inercial é comumente usada em robôs, veículos, navios aeronaves e diversos. Há vários
destes sistemas de navegação como o próprio INS o AHRS e o RTK.
AHRS (attitude and heading reference system) significa sistema de referência de
rumo de atitude e inclui todos os sensores do IMU mais um GPS, mas nenhum filtro de
Kalman (algoritmo para a correção de erros). Possui todas as vantagens do IMU, além da
posição GPS.
INS (Inertial Navigation System) Sistema de navegação inercial leva todos os sensores,
giroscópio, magnetômetro, acelerômetro e GPS do AHRS, mas com um filtro de Kalman,
fundido todos os dados dos sensores dando uma saída de navegação com grande precisão.
RTK ( Real-Time Kinematic), Cinemática em tempo real, não chega a ser um
dispositivo, mas sim uma técnica para aumentar a precisão do sistema, consiste, além dos
GPS no veiculo, em mais uma base fixa que transmite correções para um receptor móvel

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Figura 9 - funcionamento do sistema RTK (Fonte:https://inertialsense.com)

CONSIDERAÇÕES NA ESCOLHA DE UM IMU

Para avaliar uma unidade de medição inercial (IMU), devem ser considerados vários
aspectos que depende do uso final e da tolerância da precisão. Um deles é o custo, um sistema
inercial pode tornar proibitivo para um projeto de nível acadêmico ou mesmo hobista Os
sensores inerciais MEMS apresentam baixo custo o que é grandes vantagens para diversas
aplicações, outro detalhe é o seu tamanho e peso que podem alterar significativamente o
projeto – dependendo da aplicação, o tamanho do sensor pode não ser o problema principal,
mas se tratando de projetos onde há a necessidade do sensor ser pequeno e leve para caber
no produto, sensores MEMS são ideais.
Com relação a precisão, os sensores MEMS possui desempenho inferior ao necessário
para algumas aplicações, porém através de procedimentos específicos como a calibração
através de softwares de correção é possível obter resultados com melhor acurácia. Existem
outras vantagens para o uso de sensores baseado na tecnologia MEMS, como baixo consumo
de energia, construção robusta e alta confiabilidade.

DESENVOLVIMENTO DO PROJETO

O sistema proposto para a aplicação do sistema MEMS começou por ser a criação de
um equipamento capaz de realizar movimento nos três eixos (gimbal) utilizando o conjunto
Arduino + servos +MPU6050, um sistema reduzido o suficiente para ser econômico com a
utilização de baterias.
Foi utilizado para o desenvolvimento um sensor inercial MPU6050 da TDK Invensense,
um conjunto de servos motores Micro Servo SG90 9g e a plataforma Arduino, o projeto foi realizado
em laboratório pela limitação dos equipamentos em questão.
O Arduino para a criação do protótipo foi utilizado o uno R3 com microcontrolador
Atmel 328, clock de 16mhz, 14 portas digitais, 6 portas analógicas e tensão de operação de
5v

Figura 10 - Arduino Uno R3 (Fonte: https://www.baudaeletronica.com.br/)

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Os servos possui um giro de 180° com tensão de operação entre 3 a 6 Vdc, com o
controle de giro e de posição através dos comandos enviados pelo Arduino, o deslocamento
do servo se faz através de pulsos PMW (Pulse Width Modulation - Modulação por Largura de
Pulso), após o envio do comando, o mesmo verifica sua posição atual e em seguida executa
o comando girando até a posição indicada.

Figura 11 - Servo SG90 9g (Fonte: https://www.baudaeletronica.com.br/)

O MPU-6050 de acordo com seu datasheet, possui um giroscópio de 3 eixos e um

acelerômetro de 3 eixos somado com um firmware de calibração em tempo real e um
processador de movimento (DMP - Digital Motion Processor) integrado.

Figura 12 – Sensor MPU6050 da TDK Invensense (Fonte: https://www.baudaeletronica.com.br/)

O dispositivo pode acessar magnetômetro externo ou outros sensores por meio

de um barramento I²C mestre auxiliar, no Arduino ele pode se conectar usando não só o
barramento I²C como o SPI. No caso do protótipo usaremos o I²C, vale lembrar também
que o MPU 6050 também possui outros recursos adicionais com um sensor de temperatura
embutido e um oscilador no chip.

Figura 13 – Esquemática do circuito integrado MPU 6050 (Fonte TDK InvenSense)

Não houve a necessidade de adaptação eletrônica entre o sensor e o Arduino,

diferentemente de alguns equipamentos que necessitam de adaptadores (Shields) o sensor
foi conectado diretamente na entrada analógica. Abaixo a figura mostra a comunicação do
Arduino através da porta serial com o computador utilizado para a leitura de movimento.

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Figura 14 – Comunicação serial do Arduino com o Módulo (Fonte: Do Autor)

O software utilizado para a leitura e processamento dos dados obtido pelo MPU6050
foram da biblioteca MPU6050_DMP6 da i2cdevlib de Jeff Rowberg, este software foi criado
através de engenharia reversa, pois as informações relacionadas ao DMP ( )o fabricante não
disponibiliza publicamente sobre seu funcionamento interno. Atualmente o código fonte
apenas fornece configuração básica do dispositivo como leituras brutas de acelerômetro
e giroscópio ficando aquém da proposta da série MPU 6050 que é a capacidade de
processamento de movimento acionado pelo dispositivo.

RESULTADOS OBTIDOS

Os testes foram realizados com o protótipo entre os dias 08 a 14/12/2021, primeiramente

com o conjunto sensor e Arduino e posteriormente introduzido o conjunto de servos
motores.
Os testes realizados com o conjunto sensor e Arduino demonstraram-se satisfatórios,
com os resultados obtidos através da porta COM. Outra forma de teste com o sensor foi a
utilização do programa Processing, com ele é possível movimentar uma figura através do
MPU 6050, confirmando assim seu funcionamento.

Figura15 – Funcionamento do programa Processing (Fonte Do Autor)

Posteriormente foi testado o protótipo com os servos motores conectado no Arduino

e instalado em um mecanismo para ser usado como gimbal.

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Figura 16 – funcionamento completo do Gimbal (Fonte: Do Autor)

A utilização de servos motores para a aplicação de um gimbal mostraram se aquém

das necessidades, devido à falta de resposta e de movimentos não suaves, muito disso se
deve porque os servos não se destinam a esse propósito, o ideal seriam motores brushless
(sem escova) que possuem movimentos mais suaves e são, de fato, utilizados em modelos
profissionais.

CONSIDERAÇÕES FINAIS

A tecnologia de sistemas micro eletromecânicos (MEMS) se desenvolveu

consideravelmente, com seu surgimento no inicio dos anos 80 representando uma
nova forma de fabricação de dispositivos mecânicos altamente complexos e integrados,
combinando vários sensores em um único dispositivo, representando uma drástica
mudança de paradigma no que diz respeito ao projeto e fabricação de circuitos integrados.
Esse avanço vem aos interesses da indústria pela exigência por sistemas com cada vez mais
sensores e miniaturizados. O dispositivo demonstrado mostra as vantagens dos circuitos
MEMS na utilização em projetos de sistemas embarcados.
Como descrito neste artigo o protótipo teve como proposta mostrar a utilização de
uma nova tecnologia de dispositivos de baixo custo para a utilização de sensoriamento
inercial, no qual, a pesquisa e os testes mostra que é possível cumprir esse papel.

REFERÊNCIAS:

McRoberts, Michel. Arduino Básico. São Paulo: Novatec Editora Ltda, 2011.

LIMA, Sandro R. S. de. Sistemas, Referenciais e Processos associados à integração GPS/

INS. Curitiba, 2000. Dissertação (Mestrado em Ciências Geodésicas), CPGCG, UFPR

Sturm, Wilerson. Sensores Industriais: Conceitos Teóricos e Aplicações Práticas. Rio de

Janeiro, 2004.

FREITAS, Sílvio R. C. de. Posicionadores inerciais. Curitiba, 1980. Dissertação (Mestrado

em Ciências Geodésicas), CPGCG, UFPR.

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DOI: 10.21166/metapre.v5i.2696
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FREITAS, Sílvio R. C. de. Posicionadores inerciais. Curitiba, 1980. Dissertação (Mestrado

em Ciências Geodésicas), CPGCG, UFPR.

MORI, Anderson Morais. O uso de sistemas inerciais para apoiar a navegação autônoma.
São Paulo, 2013. Dissertação ( Mestrado em Ciências), EPUSP.

Apostila Eletrogate. Apostila Arduino Big Jack. Versão 1.0 – setembro de 2020.

Apostila Eletrogate. Apostila Arduino Advanced. Versão 1.0 – novembro de 2018.

Processing Foundation, Disponível em: < https://processing.org/ >. Acesso em: 12 de

dezembro de 2021.

Sensores em robótica: Inerciais, Disponível em: < https://edisciplinas.usp.br/pluginfile.

php/5301735/mod_resource/content/3/PMR3502_Aula4C_Sensores_Rob%C3%B3tica_
Inerciais.pdf> Acesso em: 09 de dezembro de 2021.

Sensores inerciais, Disponível em: < http://www2.decom.ufop.br/imobilis/sensores-

inerciais-e-derivacao-de-atitude-parte-1/> Acesso em: 07 de dezembro de 2021.

MEMS, Disponível em: <https://www.gta.ufrj.br/grad/04_2/ComOpticos/mems.html>

Acesso em: 02 de dezembro de 2021.

Sensores funcionamento, Disponível em:<http://www.eletrica.ufpr.br/edu/Sensores/1999/

joao/funcionamento.htm/> Acesso em: 11 de dezembro de 2021.

Acelerometro, Disponível em: < https://seara.ufc.br/pt/tintim-por-tintim/tecnologia/o-

acelerometro/> Acesso em: 10 de dezembro de 2021.

Tipos de Acelerômetros, Disponível em: < https://www.dmc.pt/tipos-de-acelerometros/>

Acesso em 10 de dezembro de 2021.

Baú da eletrônica, Disponível em: <https://www.baudaeletronica.com.br/acelerometro-3-

eixos-mma8452.html> Acesso em 11 de dezembro de 2021.
Howtomechatronics, Disponível em: < https://howtomechatronics.com/how-it-works/
electrical-engineering/mems-accelerometer-gyrocope-magnetometer-arduino/> Acesso
em 11 de dezembro de 2021.

GTA/UFRJ – grupo de teleinformática e automação, Disponível em: < https://www.gta.ufrj.

br/> Acesso em 11 de dezembro de 2021.

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DOI: 10.21166/metapre.v5i.2696