Instituto Federal de Alagoas

Coordenação de Química

Fundamentos Básicos da
Microscopia Eletrônica de Varredura
(MEV)

Prof. Ph.D. Celso Silva Caldas

Prof. Dr. Johnnatan Duarte de Freitas
 Então...
O que vamos
• Um breve histórico.
• Introdução à Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV).
• Componentes básicos e funcionamento de um MEV.
• Preparo de amostras.
• Aplicações gerais (diferentes áreas do conhecimento).
 • Você gostaria de enxergar mais do que seus olhos podem
ver?
• Até onde nossos olhos conseguem enxergar?
• Podemos ver além disso?
Descoberta do vidro: Fenícius - Deserto da Síria (~7000 anos a.C.)
Etimologia (grego):
Mikros (pequeno) + Skopeo
(olhar)

No século 17, astrônomos já calculavam a distância até a Lua com Microscópio óptico de Robert Hooke. Fonte: Science and
bastante precisão. Fonte: https://www.bbc.com/portuguese/geral- Society Museum. Em: https://blogdoenem.com.br/tipos-
48684394 de-microscopios-biologia-enem/
 Microscopia
Início: Microscopia ótica (MO) - Século XVII.

Primeiro microscópio: 1590

 Hans Janssen (pai)
Zacharias Janssen (filho).
 Fabricantes de óculos.

Pai da microscopia:
 Antony van Leeuwenhoek (1632 - 1723).

 300 vezes e com razoável

nitidez.
 1674 - primeiro material
biológico observado em
um microscópio.

Antony van Leeuwenhoek: inventor do microscópio. J. Bras. Patol. Med. Lab., Rio de Janeiro , v. 45, n. 2, abr. 2009 . Disponível em <http://www.scielo.br/scielo.php?
script=sci_arttext&pid=S1676-24442009000200001&lng=pt&nrm=iso>. acessos em 23 abr. 2021. https://doi.org/10.1590/S1676-24442009000200001.
 Uma breve linha do tempo...

Microscópio eletrônico de transmissão (MET) inventado por Ernst Ruska e colaboradores em 1931 e réplica de 1933 (A);
microscópio eletrônico de varredura (MEV) inventado por Manfred von Ardenne (B).
Em que escala estamos vendo?
Poder de resulução dos micrscópios
 O microscópio óptico (MO)
 Aumento de até 1.500 vezes.
 Objetivo é criar uma imagem real do objeto examinado.
 Resolução dos microscópios atuais é de 0,2 µm - 1.000 vezes mais que o olho humano.
Lente situada próximo ao olho do
observador. Amplia a imagem da
objetiva.

Lente situada próxima da amostra.

Muda a posição das objetiva Amplia a imagem do objeto de estudo.

Contém a lâmina com o Prende o sistema

mataeraila a ser analisado lâmina/lamínula

Lente que concentra os

feixes de luz sobre a
amostra

Macrométrico que aproxima o

enfoque e micrométrico que
consegue o enfoque correto.
 O Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV)
Componentes básicos

■Fonte de elétrons: emite elétrons e acelera

eles em um forte campo elétrico.

■Lentes condensadoras: convergem o feixe de elétrons

emitida da arma em um feixe fino.

■Aberturas: interrompe elétrons que estão fora do eixo.

■ Estigmator: corrige o astigmatismo.

■ Bobinas de varredura: varre (desvia) o elétron

feixe nas direções X e Y.

■Objetiva: converge o feixe de elétrons em um feixe

fino e focaliza-o no superfície da amostra.
 Principais diferenças
Microscópio óptico x Microscópio eletrônico
Microscópio óptico: utiliza luz (l luz ~ 400 a 700 nm para formar a imagem).
Microscópio eletrônico: utiliza feixe de elétrons (l feixe de elétrons ~ 0,005nm
para formar a imagem).
No microscópio eletrônico não utiliza lentes de vidro, utiliza bobinas
eletromagnéticas.
Este comprimento de onda do feixe de elétrons mais curto permite fazer
maior ampliação - “zoom”. Maior resolução em relação ao MO.

Microscópios eletrônicos têm uma resolução limite,

cerca de 500.000 vezes maior que o olho humano!
Microscópio Ópticos x Microscópio Eletrônico de Varredura

Esquema comparativo entre um microscópio óptico e um microscópio

eletrônico de varredura (adaptado de Raven et al., 1996).
 Fonte de elétrons

Tungstênio (W) Cristal de Hexaboreto de Lantâneo Field Emission Gun (FEG)

(LaB6)/Hexaboreto de cério (CeH6)
 Por que microscópios eletrônicos em
vez de microscópios ópticos?
Resolução

Distância mínima entre dois pontos em que

podemos observar como pontos individuais.

Poder de Resolução: Refere-se à capacidade que as “lentes” têm de discriminar

entre objetos próximos.

Os microscópios permitem detalhes para ver o que o olho humano não podia
ver.
 Poder de Resolução do olho humano: ~ 0,1 mm ou 100 µm.
 Depende do comprimento de onda e do sistema óptico.
 Significa que se você olhar dois pontos separados por uma distância menor
que 100 µm, esses pontos parecerão como um ponto único.

Tamanho do

>100 µm
Comprimento da linha escaneada na tela (L)
Magnificação =
Comprimento da linha escaneada na amostra (l)

<100 µm
 Magnificação
Ampliação - Largura de exibição da imagem.
 Depende da ampliação impressa da imagem final, é um número relativo.
 Parâmetro absoluto: view field (campo de visão).
 L

L
Comprimento da linha escaneada na tela (L)
Magnificação =
Comprimento da linha escaneada na amostra (l)
l
 Profundidade de campo

O feixe atinge a amostra de maneira diferente, com características

heterogêneas na superfície, a diferentes distâncias de trabalho (WD).

A B

Diferentes distâncias de trabalho (WD):

Menores WD - “fundo” fora Maiores WD - todos no

de foco (A) mesmo plano (B)o
(B)
 -Altura de um espécime que aparece em foco em uma imagem.
-MEV tem mais de 300 vezes a profundidade de campo em comparação com o MO.
-Isso significa que grandes detalhes topográficos podem ser obtidos.

Toda antena
está em foco

Comparação de imagens obtidas utilizando um MO e MEV, ilustrando o efeito da maior profundidade de campo do
MEV.
https://sites.google.com/a/unifei.net/emt/mev/mev
Microscópio Ópticos x Microscópio Eletrônico de Varredura

MEV
Vantagens Desvantagens
 Interação do feixe com a amostra
Intensidade do feixe
Tensão de aceleração

Volume de interação

Elétrons Auger: estes são os elétrons cuja energia (em torno de

1500eV) é característica do elemento que a emite e do tipo de ligação
química. Estes elétrons possuem energia máxima de cerca de 2 keV
 Detectores
Detector de Elétrons Secundários (SE)
Detector de Elétrons Retroespalhados (BSE)
Comparação
BSE x SE

Maior número atômico (Z)

Menor número atômico (Z)

Contraste de número atômico (Z)

Pontos claros: alto

relevo

Pontos escuros: baixo relevo

Topografia (mais usado por nós)

Detector de Energia dispersiva (EDS)
 Microanálise (EDS)

 Composição química: Podem ser caracterizados elementos com número

atômico superior a 11.
 Características cristalográficas, magnéticas e elétricas.
 Em resumo...
MEV: Técnica de análise de superfície de materiais.
Instrumento analítico que pode fornecer rapidamente informações
sobre a morfologia e identificação dos elementos químicos de
uma amostra.
Morfologia: estudo da forma, configuração, aparência externa do material.

Microgafia
Como a imagem é gerada?
Necessidade de vácuo: Estabilidade química (corrosão!) e térmica
são necessárias para o bom funcionamento do filamento (pressão
da fonte).

 Cátodo de Tungstênio (Resolução de 3 nm / 30 kV)

 Configuração da coluna eletrônica totalmente automatizada.
 Faixa de Pressão Variável:
Modo alto vácuo: 0,005 Pa.
Modo Médio vácuo: 3 - 150 Pa.
Modo baixo Vácuo: 3 - 500 Pa.
Fatores fundamentais em uma análise

Analista

Equipamento Amostra

Se qualquer um dos pontos for ruim, o resultado será ruim!

 Preparo da amostra

Esquema ilustrativo das principais etapas do processamento de amostras para microscopia eletrônica de varredura (Adaptação do original de Judy Murphy, 1982).
 Carregamento da Superfície
Preparação da amostra para prevenir o carregamento:
Ao fixar a amostra no suporte aplique tinta condutiva (prata, carbono ou similar)
nas partes da amostra que são difíceis de recobrir.

Filme evaporado

Suporte (Stub) Amostra

Adesivo
Stub

Adesivo insuficiente Adesivo suficiente

Fixação de amostra grande

Tinta de C ou Ag

Fixação de fibras
Metalizador
Interpretando uma imagem
 Imagens coloridas por computação gráfica

Neutrófilo (glóbulo branco) e hemácias vistos sob 3 tipos de microscópio diferentes: microscópio óptico, microscópio eletrônico de
transmissão e microscópio eletrônico de varredura. Em: https://blogdoenem.com.br/tipos-de-microscopios-biologia-enem/.
Acesso em 23/04/2021.
 Melhorando uma imagem
Contraste e Brilho

Contraste excessivo

Brilho Insuficiente Ótimo Contraste e Brilho Brilho Excessivo

Amostra de Pólen
5 kV e 360x
Contraste insuficiente
Astigmatismo

Checar se o astigmatismo (a) e (b) - Está precisamente corrigido em (c)

Influência do Carregamento
Medidas para reduzir o carregamento
- Reduzir a corrente do feixe (Beam Intensity)
- Diminuir a tensão de aceleração (kV)
- Alterar a velocidade de varredura
(Auto Acumulação de Imagem)

O carregamento pode ser prevenido ou

reduzido diminuindo a tensão
Acessórios básicos do MEV
 Resumindo!

A resolução do MEV depende:

- Diâmetro do feixe (BI)

- Tensão de aceleração (keV)
- Tempo de varredura
- Condutividade da amostra
 Aplicações

Insdútria de automóveis
Biologia Ciênica dos Alimentos

Nonomateriais Farmácia
Análise forence

Petroquímica Medicina Indústria de limpesa e cosmético

Análise de materiais de mascáras de proteção contra o novo cornavírus

https://www2.ifal.edu.br/campus/maceio/noticias/pesquisadores-do-ifal-analisam-
materiais-utilizados-em-mascaras
 Trabalhos em desenvolvimento
Eletrofiação

Esferas de látex
 Telha Incorporação de Resina e dentina
semioquímicos

Folha de planta Microencapsulado de própolis Superfície de eletrodo ITO

(óxidos de índio e estanho)
Estilete sem tratamento

Tesoura com tratamento

Figura E1– Osso isolado 3083. Microscopia eletrônica de varredura das incisões localizadas na
superfície articular do côndilo do fêmur esquerdo
 Tecido adiposo Estrutura óssea de rato Detalhe de uma célula de fibroblasto

Microfotografia de Borrelia spp Streptococcus mutans na obturação dentária

Detalhe de espécies de cianobactériass Tecido cardíaco com um stent cardiovascular implantado - detector de
http://caqi.iqsc.usp.br/tecnicas-de-microscopia/
microscopio-eletronico-de-varredura/