Técnicas de Microscopia Eletrônica de Varredura para Caracterização de Materiais PMT-5858

PMT-5858 - TÉCNICAS DE MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA PARA CARACTERIZAÇÃO
DE MATERIAIS
3ª aula
TÉCNICAS DE MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA PARA

CARACTERIZAÇÃO DE MATERIAIS
PMT-5858
3ª AULA
• Interação entre elétrons e amostra
Prof. Dr. André Paulo Tschiptschin (PMT-EPUSP)

DE MATERIAIS
3ª aula
1. INTERAÇÃO ELÉTRONS AMOSTRA
O QUE ACONTECE QUANDO UM ELÉTRON ATINGE A AMOSTRA?
ESPALHAMENTO ELÁSTICO:
Mudança de direção (0 a 180º) sem

mudança na energia dos elétrons. O
espalhamento elástico é responsável
pelo fenômeno de retroespalhamento de
elétrons (sinal importante no MEV).
E1 = E0
ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO:
A direção não muda (± 0,1º), e sim a

energia dos elétrons. A energia dos
elétrons do feixe incidente é transferida
para os átomos levando à emissão de
E1 < E0
elétrons secundários, raios-X,
catodoluminiscência, elétrons Auger, etc.
O feixe de elétrons incidente tem tipicamente:
Energia 1 a 40 keV
Convergência 1º a 0,05º
Spot size dp: 1 nm a 1 µm
Corrente de feixe 1 pA a 1µA
DE MATERIAIS
3ª aula
ESPALHAMENTO ELÁSTICO (Rutherford)
O espalhamento elástico ocorre com mudança de direção e manutenção de

velocidade e, portanto, de energia cinética Ec = mev2/2. O espalhamento
ocorre por repulsão Coulombica (espalhamento de Rutherford). A
transferência de energia é menor que 1 eV.
Q ( > φ0 ) = 1,62 x 10-20 (Z2/E2) cot2 (φ

φ0/2) (seção de choque)
Q (> φ0 ) seção para o espalhamento elástico excedendo o angulo φ0

Z número atômico
E energia do elétron (keV)
A seção de choque Q ( > φ0 ) corresponde a uma probabilidade de um elétron

sofrer desvio ao se chocar com um átomo. A seção de choque é freqüentemente
associada ao “tamanho” que um átomo apresenta como alvo para uma
partícula incidente.
Um conceito associado a esse é o do livre caminho médio λ de partículas que é

a distância média que os elétrons viajam antes da ocorrência de eventos de
interação.
λ = A/(NAρQ)
A peso atômico
NA número de Avogadro
ρ densidade
Q seção de choque
O ESPALHAMENTO ELÁSTICO VARIA COM Z2 E CONSTITUI A BASE DO

SINAL DE ELÉTRONS RETROESPALHADOS SENSÍVEIS À COMPOSIÇÃO
QUÍMICA DA AMOSTRA (IMAGEM COMPOSICIONAL)
ES.PALHAMENTO ELÁSTICO DESVIA OS ELÉTRONS DA DIREÇÃO DO

FEIXE, TORNANDO SUA TRAJETÓRIA DIFUSA, SENDO RESPONSÁVEIS
PELA PERDA DE RESOLUÇÃO
DE MATERIAIS
3ª aula
Espalhamento elástico em função do Espalhamento elástico em função da

número atômico Z para E0 = 10 kV energia dos elétrons (E0) para o Fe
CAMINHO MÉDIO DO ESPALHAMENTO ELÁSTICO (nm e φ0 > 2)
Elemento Energia (keV)

10 20 30 40 50
C 5,5 22 49 89 140
Al 1,8 7,4 14 29 46
Fe 0,3 1,3 2,9 5,2 8,2
Ag 0,15 0,6 1,3 2,3 3,6
Pb 0,08 0,34 0,76 1,4 2,1
U 0,05 0,29 0,42 0,75 1,2
DE MATERIAIS
3ª aula
ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO
Perda de energia média (> 3 a 5 keV)
dE/ds (eV/nm) = k Z ln E/ A E
k constante
Z número atômico
A massa atômica (g/mol)
Perda de energia por espalhamento não elástico
ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO LIMITA O PERCURSO DOS ELÉTRONS,

QUE FINALMENTE SÃO CAPTURADOS PELO SÓLIDO. EM
CONTRAPARTIDA, FORNECEM ENERGIA PARA O SÓLIDO, SENDO
RESPONSÁVEIS PELA EMISSÃO DE ELÉTRONS SECUNDÁRIOS, RAIOS-X,
ETC.
DE MATERIAIS
3ª aula
CARACTERÍSTICAS DO ESPALHAMENTO DOS ELÉTRONS
SITUAÇÃO DESEJADA SITUAÇÃO REAL
⇒ ESPALHAMENTO ELÁSTICO CAUSA ESPALHAMENTO ALÉM DO DIÂMETRO

DO FEIXE DE ELÉTRONS INCIDENTE
⇒ ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO LIMITA O PERCURSO DOS ELÉTRONS
Mesmo com o feixe incidente tendo um spot size dp abaixo de 1 µm, o

volume de interação em um material de baixa densidade e baixo
número atômico tem dimensões de vários micrometros.
A taxa de transferência de energia varia rapidamente ao longo da

trajetória ou do volume de interação, sendo maior no ponto de
incidência.
O volume de interação para um material de baixa densidade e baixo

número atômico tem a forma de uma pêra.
DE MATERIAIS
3ª aula
2. VOLUME DE INTERAÇÃO
VISUALIZAÇÃO DIRETA EM POLIMETILMETACRILATO (PMMA)
20 keV, Ip e dp constantes. Tempo variável
Contornos de energia em um sólido de número atômico baixo (PMMA)

DE MATERIAIS
3ª aula
Simulação de Monte Carlo
CÁLCULOS DE INTERAÇÃO ELÉTRONS - AMOSTRA

SIMULAÇÃO DE MONTE CARLO PARA A TRAJETÓRIA DOS ELÉTRONS
MÉTODOS DOS AUTÔMATOS CELULARES
⇒ calcula o espalhamento elástico (passo e ângulo) e

não elástico (perda de energia);
⇒ percurso do elétron em cada passo, com

informações de posição (x, y, z), energia e
velocidade;
⇒ registro da distribuição de elétrons retroespalhados e

secundários gerados.
DE MATERIAIS
3ª aula
CÁLCULOS DE MONTE CARLO
Amostra: Fe, 20 keV
5 trajetórias 100 trajetórias
QUAL É O VOLUME DE INTERAÇÃO ELÉTRONS - AMOSTRA?
Amostra: Fe, 20 keV
Trajetória de elétrons Locais de geração de raios-X

característico
VOLUME DE INTERAÇÃO: elétrons secundários e retroespalhados,

raios-X característico e contínuo, etc.
DE MATERIAIS
3ª aula
MONTE CARLO – DEPENDÊNCIA DA ENERGIA DO FEIXE
Amostra: Fe
R = 0,55µm
R = 1,82µm
R = 3,7µm
10 keV 20 keV 30 keV
R ~ E 1,67
MONTE CARLO – DEPENDÊNCIA DO NÚMERO ATÔMICO

Energia do Feixe de Elétrons = 20 keV, Tilt (inclinação) = 0
R = 1.69µm
R = 3.98µm
C, Z = 6 Ag, Z = 47
R = 1,82µm R = 2,03µm
Fe, Z = 26 Pb, Z = 82
R ~ A / (Z 0,89 ρ)
DE MATERIAIS
3ª aula
CÁLCULOS DE MONTE CARLO - ÂNGULO DE INCIDÊNCIA - TILT
Amostra: Fe, 20 keV
0º 30º 60º
Rβ = R K-O cos β onde, β = ângulo de tilt
DETERMINAÇÃO DO VOLUME DE INTERAÇÃO ELÉTRONS-AMOSTRA

(Kanaya - Okayama)
R (K-O) = 0,0276 A E01,67 / Z0,89 ρ
A massa atômica (g/mol)

Z número atômico
ρ densidade
DE MATERIAIS
3ª aula
3. ESPALHAMENTO ELÁSTICO
ELÉTRONS RETROESPALHADOS (BSE)
η - coeficiente de retroespalhamento de elétrons (backscatter
coefficient)
Fe, Z = 26 Pb, Z = 82
η = n BSE / nB ,
onde: nB número de elétrons incidentes
n BSE número de elétrons retroespalhados
η = i BSE / i B
DEPENDÊNCIA DO NÚMERO ATÔMICO
η cresce com Z
η med = η 1 C1 + η2 C2 + ...
DE MATERIAIS
3ª aula
Mecanismo de contraste gerado por diferença de composições

químicas.
A diferença de sinal BSE entre elementos adjacentes na Tabela

Periódica é tanto maior quanto menor for o número atômico dos
elementos considerados.
DE MATERIAIS
3ª aula
DE MATERIAIS
3ª aula
OS ELÉTRONS RETROESPALHADOS RESPONDEM À COMPOSIÇÃO
QUÍMICA DO MATERIAL. PERMITEM FORMAR UMA IMAGEM BSE,
CUJO CONTRASTE É DADO PELA DIFERENÇA DE NÚMEROS
ATÔMICOS.
DE MATERIAIS
3ª aula
DEPENDÊNCIA DA INCLINAÇÃO DA AMOSTRA - TILT
0º 30º
60º
Fe, 20 keV Fe-Si

http://www.gel.usherbrooke.ca/casino/tutorial/tutorial_frames.html
η (ββ) = 1 / (1 + cos β)p , onde:
β = tilt
p=9/Z½
η tende para 1 quando β se aproxima de 90º
Para otimizar o contraste de

número atômico a amostra
deve estar perpendicular ao
feixe de elétrons.
Tilt (β
β) = 0
DE MATERIAIS
3ª aula
ELÉTRONS RETROESPALHADOS - DISTRIBUIÇÃO LATERAL
Distribuição acumulada radial de BSE
A RESOLUÇÃO ESPACIAL É LIMITADA PELO

ESPALHAMENTO LATERAL DOS BSE.
DE MATERIAIS
3ª aula
ELÉTRONS RETROESPALHADOS - PROFUNDIDADE
Distribuição de BSE em
função da profundidade
Distribuição acumulada de BSE

DE MATERIAIS
3ª aula
ELÉTRONS RETROESPALHADOS -
SUMÁRIO
⇒ Origem: elétrons espalhados elasticamente múltiplas

vezes;
⇒ Abundância: grande número - 5% (C) a 50% (Au);
⇒ Informação:
◊ número - composição
◊ número e trajetória - topografia
⇒ Profundidade da informação: 0,15 a 0,30 D/RK-O para

90% BSE;
⇒ Resolução lateral: 0,20 a 0,50 R/RK-O para 90% BSE;
⇒ Energia: variável, 0 até a energia do feixe incidente;

para Z > 20 mais de 50% dos BSE apresentam energia
superior à metade daquela apresentada pelo feixe;
quanto maior o Z maior a energia dos BSE;
⇒ BSE apresentam energia suficiente para excitar

diretamente os detetores do MEV;
⇒ Resolução diminui (R (K-O) aumenta) com aumento da

voltagem de aceleração dos elétrons (E0) e diminuição
do número atômico (Z) e de densidade (ρ
ρ)
R (K-O)= 0,0276 A E01,67 / Z0,89 ρ

DE MATERIAIS
3ª aula
4. ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO
ELÉTRONS SECUNDÁRIOS (SE)
Feixe primário de elétrons gera

espalhamento não elástico ao atingir um
elétron da camada de valência, com
energia de ligação menor.
• Energia transferida < 50 eV
• Energia mais comum < 5 eV
δ - coeficiente de elétrons secundários

δ = n SE / n B ,
onde: n B número de elétrons incidentes
n SE número de elétrons secundários
CARACTERÍSTICAS DOS ELÉTRONS SECUNDÁRIOS
SE (eV) SE (eV) Definição arbritária:

BSE (keV) SE < 50 eV
90% SE < 10 eV
SEs SÃO ELÉTRONS DE ENERGIA MUITO BAIXA

DE MATERIAIS
3ª aula
ELÉTRONS SECUNDÁRIOS -
ONDE SÃO GERADOS?
Praticamente todos os elétrons,

mesmo aqueles que perderam
quase toda a sua energia, são
capazes de gerar elétrons
secundários.
EM QUALQUER LUGAR
DE ONDE VÊM?
Por causa de sua baixa energia

os SE’s têm trajeto muito
pequeno.
Somente os elétrons secundários

gerados até cerca de 10 nm da
superfície apresentam alguma
chance de sair da amostra.
DA SUPERFÍCIE DA AMOSTRA
DE MATERIAIS
3ª aula
ELÉTRONS SECUNDÁRIOS - DEPENDÊNCIA DO NÚMERO ATÔMICO
BSE Comparação entre SE e

BSE em função do
número atômico (Z).
δ ≈ 0,1
SE Au δ = 0,2
C δ = 0,05
isolantes δ > 1 pg.110
ELÉTRONS SECUNDÁRIOS PRATICAMENTE NÃO

APRESENTAM VARIAÇÃO COM O NÚMERO ATÔMICO
DEPENDÊNCIA DA ENERGIA DO FEIXE DE ELÉTRONS, E0
Variação de (δ - coeficiente de emissão de elétrons secundários)
Elemento 5 keV 20 keV 50 keV
Al 0,40 0,10 0,05
Au 0,70 0,20 0,10
O COEFICIENTE DE GERAÇÃO DE ELÉTRONS SECUNDÁRIOS (δ

δ) GERALMENTE
AUMENTA COM A DIMINUIÇÃO DA ACELERAÇÃO DE VOLTAGEM.
• reduzindo E0 os SEs são gerados mais próximos à superfície,

conseqüentemente δ aumenta.
DE MATERIAIS
3ª aula
ELÉTRONS SECUNDÁRIOS - IMAGEM DE SUPERFÍCIE DA AMOSTRA
ELÉTRONS SECUNDÁRIOS - EFEITO DE BORDA
O sinal de elétrons secundários

apresenta um incremento relativo
próximo às bordas, efeito este
que aumenta com a aceleração de
voltagem (E0) Poder das pontas.
DE MATERIAIS
3ª aula
DEPENDÊNCIA DA INCLINAÇÃO DA AMOSTRA - TILT
R = R0 sec β
δ (ββ) = δ0 sec β , onde:

β = tilt
δ0 = δ para incidência normal (β = 0)
DE MATERIAIS
3ª aula
CLASSES DE ELÉTRONS SECUNDÁRIOS
SEI - relacionados ao feixe de

elétrons incidente;
SEII - relacionados aos elétrons
retroespalhados.
λ = percurso médio dos SE’s
CONTRIBUIÇÃO RELATIVA DOS SEI E SEII
Distribuição espacial dos

SEI e SEII
δT = δI + δII η
Elemento δT η SEII / SEI
C 0,05 0,06 0,18

Al 0,1 0,16 0,48
Cu 0,1 0,30 0,9
Au 0,2 0,50 1,5
DE MATERIAIS
3ª aula
SUMÁRIO
⇒ Origem: elétrons espalhados não elasticamente a partir

da camada de valência;
⇒ Abundância: cerca de 10 % do feixe incidente (5% para

C ; 20% para Au). O coeficiente de geração de elétrons
secundários (δ
δ) geralmente aumenta com a diminuição
da aceleração de voltagem (E0).
⇒ Informação: topografia; praticamente insensíveis a

variação de composição (Z);
⇒ Profundidade da informação: cerca de 10 nm;
⇒ Energia: 0 a 50 eV, sendo 90% < 10 eV. Máximo entre 3 e

5 eV.
⇒ SEs não apresentam energia suficiente para excitar

diretamente os detetores do MEV - têm que ser
amplificados;
⇒ Resolução:
◊ ALTA: SEI gerados pelo feixe incidente

(baixo E0)
◊ BAIXA: SEII gerados por elétrons

retroespalhados (alto E0).
DE MATERIAIS
3ª aula
5. ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO - RAIOS - X
O ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO GERA DOIS DIFERENTES TIPOS

DE RAIOS-X
• BREMSSTRAHLUNG OU CONTÍNUO;
• PROCESSO DE IONIZAÇÃO DAS CAMADAS INTERNAS,
PODENDO GERAR RAIOS-X CARACTERÍSTICOS
RAIOS-X CONTÍNUO (BREMSSTRAHLUNG)
Desaceleração dos elétrons incidentes

ao atravessar o campo de Coulomb
dos átomos.
Energia varia de 0 até E0
Icont. = const x Z (E0 - E) / E
Curva em forma de hipérbole, sem

se considerar os efeitos de absorção
dos raios-X gerados.
DE MATERIAIS
3ª aula
Espectro da radiação eletromagnética
Radiação contínua e radiação característica

DE MATERIAIS
3ª aula
Radiação característica do Mo para 35 kV voltagem de aceleração

DE MATERIAIS
3ª aula
IONIZAÇÃO DAS CAMADAS INTERNAS
Esquema do mecanismo de
ionização das camadas
internas gerando tanto
elétrons Auger como raios-X
característico.
Diagrama de níveis de
energia
DE MATERIAIS
3ª aula
CAMPO DE FLUORESCÊNCIA (Fluorescence yield)
Emissão de radiação eletromagnética sob bombardeamento de luz ou

de elétrons.
ω - Coeficiente de emissão de raios-X
ωk = nº fótons K produzidos/nº de ionizações da camada K
ω aumenta com Z para K, L, M
A produção de raios -X é ineficiente

para elementos de baixo número
atômico, bem como na linha L para
os elementos com menor número
atômico.
ω = campo de fluorescência
ENERGIA DOS RAIOS-X CARACTERÍSTICOS
A de-excitação de um átomo em seguida à ionização acontece por um

mecanismo que envolve transição de elétrons de uma camada ou sub-
camada para outra. Esta transição pode ser radiante (com emissão de
fótons) ou não radiante (emissão de elétrons Auger).
DE MATERIAIS
3ª aula
Lei de Moseley (1913-1914)

constitui a base da análise
química qualitativa.
λ = B / (Z - C)2 , onde
λ - comprimento de onda
B, C - constantes diferentes
para K, L, M
Z - número atômico
λ = 1,2396 / E
DIAGRAMA DOS NÍVEIS DE ENERGIA

DE MATERIAIS
3ª aula
RELAÇÃO DE INTENSIDADES ENTRE LINHAS K

DE MATERIAIS
3ª aula
PROFUNDIDADE DE GERAÇÃO DOS RAIOS-X
ρ R = 0,064 (E01,68 - Ec) , onde

ρ - densidade
E0 - voltagem de aceleração
Ec - energia crítica de excitação
R - range
INFLUÊNCIA DA DENSIDADE
ρ = 2,7 g/cm3 ρ = 8,9 g/cm3

DE MATERIAIS
3ª aula
RESOLUÇÃO ESPACIAL DOS RAIOS-X
Ti Kα
α, tilt = 0
6 keV 10 keV
20 keV 40 keV
20 keV, tilt = 0
Mg, Kα
α Ti, Kα
α
Cu, Kα
α Nb, Kα
α
DE MATERIAIS
3ª aula
ABSORÇÃO DE RAIOS-X
OS RAIOS-X CARACTERÍSTICOS INTERAGEM COM AS CAMADAS

ELETRÔNICAS INTERNAS DO ÁTOMO.
PODEM PRODUZIR VAZIOS NAS CAMADAS K, L, M E PRODUZIR NOVOS

RAIOS-X CARACTERÍSTICOS (FLUORESCÊNCIA) OU CONTÍNUO.
OS RAIOS-X ORIGINAIS PERDEM ENERGIA A QUAL É ABSORVIDA PELOS

ÁTOMOS DO MATERIAL.
I / I0 = exp - (µ
µ / ρ) ρ x , onde
µ/ρ - coeficiente de absorção de massa

ρ - densidade
x - percurso
Ni
DE MATERIAIS
3ª aula
O coeficiente de absorção de massa é também chamado de

coeficiente de atenuação de massa.
Lei de Beer-Lambert
I = I0 e-µl
I0 é a intensidade do feixe original
I é a intensidade do feixe a uma distância l no interior da substância
µ é o coeficiente de atenuação
O coeficiente de atenuação de massa pode ser reescrito
I = I0 e-(µ/ρ)ρl
ρ é a densidade
(µ/ρ) é o coeficiente de atenuação de massa
ρl é densidade de área ou espessura de massa
Então o coeficiente de atenuação de massa é o coeficiente de

atenuação dividido pela densidade.
Em soluções sólidas temos
Quando um feixe estreito (colimado) passa por uma substância perde

intensidade devido à absorção ou por espalhamento.
O coeficientede absorção de massa mede a perda de intensidade
devida somente à absorção
DE MATERIAIS
3ª aula
Ti Kα
α, tilt = 0
6 keV 10 keV
20 keV 40 keV
20 keV, tilt = 0
Mg, Kα
α Ti, Kα
α
Cu, Kα
α Nb, Kα
α
ESPECTRO DE RAIOS-X EM EDS
DE MATERIAIS
3ª aula
Ni, 40 keV
DE MATERIAIS
3ª aula
6. ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO -
ELÉTRONS AUGER
Esquema do mecanismo de
ionização das camadas
internas gerando tanto
elétrons Auger como raios-X
característico.
7. ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO -

CATODOLUMINESCÊNCIA
EMISSÃO DE FÓTONS NA FAIXA DO ULTRAVIOLETA, VISÍVEL E

INFRA-VERMELHO

Técnicas de Microscopia Eletrônica de Varredura para Caracterização de Materiais PMT-5858

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PMT-5858 - TÉCNICAS DE MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA PARA CARACTERIZAÇÃO

TÉCNICAS DE MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA PARA

• Interação entre elétrons e amostra

Prof. Dr. André Paulo Tschiptschin (PMT-EPUSP)

O QUE ACONTECE QUANDO UM ELÉTRON ATINGE A AMOSTRA?

Mudança de direção (0 a 180º) sem

ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO:

A direção não muda (± 0,1º), e sim a

O feixe de elétrons incidente tem tipicamente:

ESPALHAMENTO ELÁSTICO (Rutherford)

O espalhamento elástico ocorre com mudança de direção e manutenção de

Q ( > φ0 ) = 1,62 x 10-20 (Z2/E2) cot2 (φ

Q (> φ0 ) seção para o espalhamento elástico excedendo o angulo φ0

A seção de choque Q ( > φ0 ) corresponde a uma probabilidade de um elétron

Um conceito associado a esse é o do livre caminho médio λ de partículas que é

O ESPALHAMENTO ELÁSTICO VARIA COM Z2 E CONSTITUI A BASE DO

ES.PALHAMENTO ELÁSTICO DESVIA OS ELÉTRONS DA DIREÇÃO DO

Espalhamento elástico em função do Espalhamento elástico em função da

CAMINHO MÉDIO DO ESPALHAMENTO ELÁSTICO (nm e φ0 > 2)

Elemento Energia (keV)

Perda de energia média (> 3 a 5 keV)

Perda de energia por espalhamento não elástico

ESPALHAMENTO NÃO ELÁSTICO LIMITA O PERCURSO DOS ELÉTRONS,

SITUAÇÃO DESEJADA SITUAÇÃO REAL

⇒ ESPALHAMENTO ELÁSTICO CAUSA ESPALHAMENTO ALÉM DO DIÂMETRO

Mesmo com o feixe incidente tendo um spot size dp abaixo de 1 µm, o

A taxa de transferência de energia varia rapidamente ao longo da

O volume de interação para um material de baixa densidade e baixo

20 keV, Ip e dp constantes. Tempo variável

Contornos de energia em um sólido de número atômico baixo (PMMA)

CÁLCULOS DE INTERAÇÃO ELÉTRONS - AMOSTRA

MÉTODOS DOS AUTÔMATOS CELULARES

⇒ calcula o espalhamento elástico (passo e ângulo) e

⇒ percurso do elétron em cada passo, com

⇒ registro da distribuição de elétrons retroespalhados e

5 trajetórias 100 trajetórias

QUAL É O VOLUME DE INTERAÇÃO ELÉTRONS - AMOSTRA?

Amostra: Fe, 20 keV

Trajetória de elétrons Locais de geração de raios-X

VOLUME DE INTERAÇÃO: elétrons secundários e retroespalhados,

MONTE CARLO – DEPENDÊNCIA DO NÚMERO ATÔMICO

Rβ = R K-O cos β onde, β = ângulo de tilt

DETERMINAÇÃO DO VOLUME DE INTERAÇÃO ELÉTRONS-AMOSTRA

R (K-O) = 0,0276 A E01,67 / Z0,89 ρ

A massa atômica (g/mol)

DEPENDÊNCIA DO NÚMERO ATÔMICO

Mecanismo de contraste gerado por diferença de composições

A diferença de sinal BSE entre elementos adjacentes na Tabela

Fe, 20 keV Fe-Si

Para otimizar o contraste de

Distribuição acumulada radial de BSE

A RESOLUÇÃO ESPACIAL É LIMITADA PELO

Distribuição acumulada de BSE

⇒ Origem: elétrons espalhados elasticamente múltiplas

⇒ Abundância: grande número - 5% (C) a 50% (Au);

⇒ Profundidade da informação: 0,15 a 0,30 D/RK-O para

⇒ Resolução lateral: 0,20 a 0,50 R/RK-O para 90% BSE;

⇒ Energia: variável, 0 até a energia do feixe incidente;

⇒ BSE apresentam energia suficiente para excitar

⇒ Resolução diminui (R (K-O) aumenta) com aumento da

R (K-O)= 0,0276 A E01,67 / Z0,89 ρ

Feixe primário de elétrons gera

δ - coeficiente de elétrons secundários