SERVIÇO PÚBLICO FEDERAL

UNIVERSIDADE FEDERAL DO SUL E SUDESTE DO PARÁ - UNIFESSPA

PROGRAMA DE PÓS-GRADUAÇÃO EM QUÍMICA - PPGQ
LABORATÓRIO DE POLÍMEROS E PROCESSOS DE TRANSFORMAÇÃO - LPTM

MEV/EDS
Profª. Valtiane Gama.

MARABÁ - PA
2018
 MEV e EDS
• Entender a microestrutura e suas propriedades
• (Observar a composição elementar)
• (EDS detecta 1-2% dos elementos presentes na amostra diferente do FRX,
o qual os raios X percolam toda a amostra, tendo assim, uma informação
maior e melhor da composição da amostra.
• *Observar a micro estrutura=Porta amostra próximo ao gabarito.
• *Observar a composição=Porta amostra longe do gabarito.
• Técnica não destrutiva.
 MEV vs Microscópio Óptico

FEIXE DE ELÉTRONS (1~10nm) LUZ (300nm)

MEV vs Microscópio Óptico
Componentes do MEV
Componentes do MEV
Influência da Energia do Feixe

● Simulação de Monte Carlo do espalhamento

dos elétrons no ferro usando diferentes
energias no feixe de elétron primário.
Origem da imagem
● Elétrons Primários; 1 - 30 KeV
● Elétrons Secundários;
● Elétrons Retroespalhados;
● Elétrons Auger;
● Raio X;
● Fótons;
eração)
Elástica e Inelástica

Trajetória ≠
Velocidade ≠

Trajetória ≠
Velocidade (Ec) =
Interação e- núcleo Ee-Pri → Átomos da Amostra
Interação e- em torno do núcleo
Elétrons Secundários (ES) (secondary electron SE)
● Interação do feixe eletrônico com o material da amostra;
● Possuem baixa energia (50 eV) e formam imagens com alta resolução (Topografia);
● Interações inelásticas;
● Têm um livre caminho médio de 2 a 20 nm, por isso, somente aqueles gerados junto à
superfície podem ser reemitidos.
Influência das Arestas
Elétrons Retroespalhados (ERE) (backscattering eléctron
BSE)
● Resultantes de colisão elástica;
● Possuem energia que varia entre 50eV até o valor da energia do elétron primário;
● Imagem topográfica (contraste em função do relevo);
● Imagem de composição (contraste em função do número atômico dos elementos
presentes na amostra).
Elétrons Auger
● São os elétrons cuja energia (em torno de 1500 eV);
● É característico do elemento que a emite e do tipo de ligação química;
● Possuem energia máxima de cerca de 2 keV;
● Utilizados para análise elementar.
Influência do Número Atômico
Mecanismo de Interação (Feixe-Amostra)
Mecanismo de Interação (Elétron-Amostra)
● Raio X (característicos
responsável por analises quali e
quanti);
● Interação do feixe incidente
com as camadas;
● Energias dos elétrons são bem
definidas;
● Identificação e quantificação
dos elementos químicos (EDS);
● Elétrons Auger.
RESUMO
Preparo de Amostra
Micrografias
Inajá Metalizado
Micrografias
Inajá Metalizado
Micrografias
PAE (fase magnética, retido em 250 mesh)
Micrografias
PAE (fase magnética, retido em 250 mesh)
Micrografias
Carbonato de Sódio 99,5%
EDS Carbonato de Sódio 99,5%

Elemento Peso% Atômico %

Oxigênio 50.567 59.735

Sódio 46.358 38.111

Alumínio 3.075 2.154

ALGUMAS REFERÊNCIAS
● BOZZOLA JJ, RUSSEL LD. Electron microscopy: principles and techniques for biologists. 2ª ed.
Sudbury: MA Jones and Bartlett, 1999.
● BOYDE A. Pros and cons of critical point drying and freeze drying for SEM. Scan Electr Microsc.;
v.2, p.303-314, 1978.
● DEDAVID, B. A. Microscopia eletrônica de varredura: aplicações e preparação de amostras:
materiais poliméricos, metálicos e semicondutores. EDIPUCRS [recurso eletrônico]: Porto Alegre,
2007.
● GOLDSTEIN J.I.; NEWBURY D. E.; ECHIL P; Joy DC; Romig Jr AD; Lyman CE; Fiori C; Lifshin
E. Scanning electron microscopy and X-ray microanalysis. New York: Plenum Press; 1992.
● MALISKA, A. M. Microscopia Eletrônica de Varredura e Microanálise. UFSC [Recurso
Eletrônico].