1.

INTRODUO
Este trabalho trata do assunto sobre microscopia ptica como uma tcnica para caracterizao e inspeo de padres em microeletrnica. Apesar desta ser uma das mais antigas tcnicas, o microscpio representa uma grande ajuda na verificao de microcircuitos, j que a viso humana tem suas limitaes. O Microscpio vem de duas palavras gregas e quer dizer "pequeno" e "observar". No se sabe exatamente quem o inventou. Dizem que o microscpio foi inventado por Zacarias Janssen, ptico holands; certo porm que ele deu um ao arquiduque da ustria de presente, em 1590. Depois deste, muitos outros modelos foram aperfeioados para as mais variadas aplicaes, que vo desde a biologia at, mais recentemente, a microeletrnica e a astronomia (em observao minuciosa de fotos tiradas com telescpios potentes). O avano da eletrnica e engenharia em si, tem permitido hoje em dia que se produzam instrumentos pticos de grande preciso e comodidade para quem os utiliza. Vale citar como exemplo, um microscpio que faz uso de uma tela de cristal lquido colorido de alta resoluo para visualizao das amostras, e cujo sistema ptico fica restrito a uma espcie de caneta ptica ligada por um cabo ptico (fibra ptica) ao sistema de processamento digital da imagem. As dimenses geomtricas de estruturas implementadas por processos de microeletrnica esto diretamente ligadas ao desempenho do circuito integrado. Assim, no controle da fabricao de circuitos integrados e dispositivos microeletrnicos, necessrio verificar e medir a geometria das estruturas construdas na superfcie dos wafers. Devido alta integrao, esse controle torna-se impossvel de ser feito a olho nu ou mesmo com uma lupa simples. Assim na verificao de produtos, o microscpio ajuda viso humana a inspecionar os padres das lminas de semicondutores, na fabricao dos circuitos integrados e dispositivos de microeletrnica de todos os tipos, o microscpio necessrio para verificar e medir as estruturas que so produzidas na superfcie das lminas e que constituem os dispositivos. Com o aumento da integrao desses circuitos necessita-se de uma maior ateno para controlar o processo. O que pode no ser bvio o contexto em que se inserem os microscpios pticos nesse controle. Contudo, esta classe de instrumentos de medidas diretas tem continuamente experimentado sua prpria forma de evoluo, de modo a permanecer em muitas reas do processamento de lminas. Pode-se citar tambm os testes eltricos que so de difcil realizao, alm da possibilidade de destruio do dispositivo. Mesmo a alocao das pontas de prova exige preciso ou em padres de resistes em circuitos integrados; s soldas das juntas o mais importante, tambm em alguns casos o nico meio para observao, envolvendo o olho humano, atravs de um microscpio ptico. nesse contexto que se inserem as tcnicas de microscopia ptica. Muitos fabricantes de produtos eletrnicos tm produzido sistemas pticos, parcial ou totalmente automatizados que superam a capacidade humana com auxlio de um microscpio em algumas tarefas. Entretanto, o microscpio ptico permanece. Com os recursos das ferramentas de CAD os fabricantes de microscpios so capazes de projetar sistemas de lentes que tm ampliaes ou resolues que atingem o limite do comprimento de onda da luz. Alm do mais, maiores esforos tm sido feitos com relao ao aprimoramento das caractersticas de estabilidade e ergonomia(conjunto de estudo, que visam a organizao metdica do trabalho em funo do fim do proposto e das relaes entre homem e mquina). Diante da importncia da microscopia ptica na caracterizao de microeletrnica, esse trabalho vem apresentar as tcnicas e construo dos mais variados tipos de microscpios, cujo emprego em microeletrnica vai desde o controle de fabricao at mesmo caracterizao, anlise de falhas e engenharia reversa.

2. Microscpio ptico- Aspectos Gerais

O microscpio um dos instrumentos mais versteis e utilizados no laboratrio de semicondutores. Para tamanhos caractersticos menores que submicrons seu uso se torna invivel. A utilizao do microscpio tico no se restringe apenas a anlise de caractersticas dos circuitos integrados, tambm usado para analisar partculas encontradas nos circuitos, e ainda freqentemente usado para olhar e medir o tamanho, o tipo e a densidade de defeitos em circuitos semicondutores. A identificao e anlise de partculas requer uma certa prtica e habilidade por parte do microscopista. A tcnica mais usada para partculas maiores de 1 micrmetro e as anlises dependem da combinao entre o desconhecimentos dos dados e o que se sabe sobre as partculas. O microscpio apresenta dois sistemas de lentes convergentes; a objetiva e a ocular. A objetiva um conjunto de lentes que apresenta pequena distncia focal e que fornece uma imagem real e aumentada do objeto que observado. A ocular, tambm formada por lentes convergentes, funciona como uma lupa, que nos d uma imagem virtual e aumentada da imagem real que se formou em pela objetiva. A objetiva e a ocular so dispostas nas extremidades de um cilindro oco, constituindo a coluna do microscpio e que possui a capacidade de se aproximar ou afastar da amostra para que se tenha a focalizao perfeita. Isto realizado por intermdio de uma cremalheira que se acha associada a uma roda dentada. A potncia do microscpio resultado do produto da ampliao linear da objetiva pela potncia da ocular; seu valor ser elevado quando as distncias focais da objetiva e ocular forem pequenas. O poder separador, ou distncia mnima distinguvel entre dois pontos limitado pela difrao da luz. Assim, se o feixe de luz incidente tive uma abertura angular grande e utilizarmos lentes de inverso, o poder separador ser melhorado, pois elimina-se difrao das bordas da lente. A figura-1 , se mostra uma representao simplificada dos componentes essenciais do microscpio tico, para comear a se ter uma idia sobre ele.

Figura. 1- Esquema de funcionamento de um microscpio simples.

3-Componentes de um microscpio

Um microscpio em sua constituio simples formado por trs elementos: Um sistema ptico de ampliao; uma fonte de luz; e um estgio de visualizao. A figura 2 ilustra esses elementos separadamente, referentes a um microscpio estreo "zoom" (o qual permite um efeito de aproximao da imagem focalizada sem que se necessite trocar a objetiva). A complexidade total do sistema aumentada dramaticamente quando se tenta aumentar a capacidade de ampliao e a qualidade de imagem.

3.1-Sistemas de lentes
A ocular representada na figura 1 geralmente a mais usada e referenciada como do tipo de Huygens [Ref. 1]. Suas principais caractersticas so a simplicidade de construo, baixo custo e de desempenho adequado para muitas aplicaes. Contudo ela possui uma cobertura de campo limitada e uma pequena tenso de relaxamento, que a propriedade que a lente possui de evitar o cansao da viso em observaes muito longas. Temos ainda outros quatro tipos de oculares usadas nos microscpios e que esto ilustradas na figura 2. So elas a Hi-Point, Widefield, Hyperplane Compensating e Ultraplane. A Hi-Point oferece a vantagem de uma tenso de relaxamento maior (isto bom para pessoas que usam culos) e possui a desvantagem de ter uma cobertura de campo limitada. A Widefield oferece a maior cobertura de campo do que qualquer outra ocular e oferece uma tenso de relaxamento igual ao da Hi-Point. A ocular Hyperplane Compensating idntica ao modelo de Huygens exceto que, por uma diferena na construo, ela evita a aberrao cromtica lateral, isto , distores das cores na parte perifrica do campo de observao, que comum nas outras oculares. A ocular Ultraplane projetada especificamente para aplicaes fotogrficas. Possui uma correo ptica excelente exceto pela distoro que est presente em alguns graus.

3.2- Resoluo
A luz pode ser obtida tanto na forma de ondas bem como na forma de partculas. Para fins de explicao dos resultados experimentais usa-se o conceito de ondas para outros o conceito de partculas. Segundo Raleigh dois objetos podem ser distinguidos quando o mximo central de um coincide com o primeiro mnimo do outro, a intensidade entre dois picos descreve de 80% do pico inicial, a figura-2 mostra este critrio para o microscpio.

Figura.2- A resoluo limite de um microscpio tico.

A resoluo a mnima distncia entre pontos ou partes de um objeto. A equao-1 define o limite de resoluo de um microscpio ptico segundo o critrio de Raleigh.

Equao-1
0.61. n . sin( )

0.61. NA

ou

A abertura numrica que aparece na equao acima expressa o poder de resoluo das lentes e o brilho da imagem formada, quando maior a abertura numrica melhor a qualidade da resoluo, em compensao h um comprimento da profundidade de foco definida na equao-2. Equao-2
Dfocus
2 4. ( NA )

As lentes objetivas, so responsveis pela ampliao da amostra. Para uma alta ampliao e uma alta resoluo necessita-se de lentes objetivas com uma grande abertura numrica (NA). Esse parmetro determina o poder separador do microscpio e dado na equao-3 Equao-3
NA n . sin( )

onde:

n o ndice de refrao do meio em que est imersa a lente frontal da objetiva. a o ngulo do cone de luz que penetra na objetiva.

J o poder separador do microscpio a medida da capacidade de um instrumento ptico discriminar objetos pontuais muito prximos. Esta capacidade depende das figuras de difrao, desde que as aberraes do instrumento tenham sido corrigidas na equao-4. Equao-4
P NA 061. I

onde:

l o comprimento de onda da radiao que ilumina o objeto. Temos dois tipos de lentes objetivas: aquelas que possuem uma distncia de trabalho convencional e aquelas caracterizadas por uma distncia de trabalho longa (LWD). Na fabricao de semicondutores, as objetivas LWD usadas nos microscpios compostos, tm se tornado usuais para inspeo ptica de mscaras e retculos. A caracterstica til das objetivas LWD que elas permitem um grande espao entre as lentes objetivas e a amostra (distncia de trabalho). Como exemplo, temos as objetivas convencionais com distncias de trabalho entre 3mm e 0,50mm de acordo com a abertura numrica, enquanto as objetivas LWD com distncias variando entre 8mm e 11mm. As objetivas LWD de abertura numrica relativamente baixa requerem mais iluminao da amostra do que com a objetiva padro correspondente.

3.3-Sistema de Ampliao
Consiste de um certo nmero de componentes individuais, os quais comentaremos a seguir:

a) LENTES OBJETIVAS - Cuja funo dar uma imagem aumentada da amostra. Essas lentes so consideradas a parte mais importante do sistema de ampliao. So classificadas como: Acromticas: Ajustadas para duas cores, geralmente o vermelho e o verde (ou seja, permite que apenas algumas cores sejam observadas, selecionando a freqncia de luz visvel de interesse por meio de seu ndice de refrao durante a fase de fabricao da lente). Apocromticas: Ajustadas para trs cores, normalmente o vermelho, o verde e o violeta. No-acromtica: No ajustada para cor alguma. Possui a caracterstica de formar halos coloridos ao redor da imagem. Outras importantes propriedades das lentes objetivas so: Poder de Ampliao: Esse nmero mostra o quanto a imagem fornecida pela lente ampliada em relao ao tamanho do objeto observado, e geralmente escrito na lateral da lente e a medida da fineness. um nmero de alto valor, maior que o poder de resoluo da lente. Profundidade Focal: a distncia entre a objetiva e a amostra quando a imagem est em foco. uma propriedade de especial importncia quando circuitos integrados so inspecionados com grandes ampliaes, e cuja pastilha ("die") ainda se encontra montada no encapsulamento. Pois, se a profundidade focal for muito pequena, a objetiva se posicionar muito prximo amostra quando da focalizao, o que pode ser impedido pela espessura do encapsulamento. b) LENTES DE CAMPO - Instaladas entre a objetiva e a ocular. Estas so freqentemente ajustadas com valores tpicos da ordem de 1.0, 1.25, 1.5, 2.0 de ampliao. c) LENTES OCULARES - Podem ser classificadas em trs categorias: Negativa (Huggenian), Positiva (Ramsden) e Negativa Verdadeira ("Amplifying"). O valor de sua ampliao marcado na lateral da ocular. Seu principal objetivo ampliar a imagem fornecida pela objetiva e fazer com que ela se forme na retina do olho do observador. Por isso ela fornece uma imagem bem prxima de sua superfcie. O arranjo denominado por "HI-POINT" oferece a vantagem de uma tenso de relaxamento maior, recomendvel para pessoas que usam culos, e desvantagem de possuir uma cobertura de campo limitada. Js o tipo "WIDE-FIELD" oferece maior cobertura de campo com igual tenso de relaxamento que o anterior. A ocular "HYPERPLANE COMPENSATING" idntica ao modelo "HUYGENS" (mostrado na figura 1), exceto que por uma diferena de construo. Ela evita aberraes cromticas nas bordas, o que comum fs outras oculares. Finalmente, o arranjo ocular "ULTRAPLANE" projetado especialmente para aplicaes fotogrficas. Possui uma excelente correo ptica exceto pela distoro que est presente em alguns graus devido curvatura da lente. Uma aproximao da potncia de ampliao de um microscpio obtida pela multiplicao da ampliao de cada componente individual (objetiva, lentes de campo e oculares). A ampliao esta relacionada com o poder de resoluo da objetiva do microscpio e o olho. Contudo a imagem deve ser suficientemente resolvida em detalhes a ser visvel para o olho. A equao-5 uma aproximada forma de calcular o poder de resoluo. Equao-5
M mximoNA ( microscpio ) mnimoNA( olho ) M 1.4 0.002
M 700. X

Como um exemplo ilustrativo considere que a NA de um microscpio seja 1.4 e a NA do olho igual a 0.002 teremos ento uma ampliao de 700 vezes.

3.4-Profundidade do foco
H duas profundidades de foco, uma do lado da imagem outra do plano do objeto. Do lado da imagem, o comprimento ao longo do eixo ptico para uma posio constante de focalizao da objetiva, o nvel da imagem variada sem causar distrbios na nitidez da imagem no centro do campo. Do lado do objeto, oo comprimento ao longo do eixo ptico do microscpio para um nvel constante da imagem, a posio de focalizao da objetiva variada sem causar distrbios na nitidez da imagem em um ponto no centro do campo definida pela equao-6 Equao-6
DF 1000 . . 7 ( N A . obj ) . m I
2 2. ( NAobj )

onde: DF I M Naobj - Profundidade de foco; - Comprimento de onda; - fator de magnificao total; - Abertura numrica da objetiva.

O fator de magnificao total, o produto do fator de magnificao de todas as lentes: objetiva, lente de tubo, lente ocular de campo, lente ocular do olho e todas as lentes auxiliares. Nos microscpios modernos, o fator de magnificao das suas lentes esta marcado na sua carcaa. Em muitos a magnificao total medida por intermedio de um micrmetro colocado no plano da imagem. A faixa de magnificao usada, a faixa da magnificao linear total da imagem (visto atravs do microscpio ou da tela de projeo) na qual esta vista de uma forma ntida e confortvel. Est representada por mu.
500. NAobj < mu< 1000. NAobj

Quando observado por recursos de fotometria, possvel obter fatores de magnificao trs vezes acima do limite.

3.5-Dimetro do campo ocular

Para uma melhor observao, o diafragma ocular tem que Ter uma abertura grande para o olho observar uma maior rea do objeto. Geralmente esta rea da ordem de 20 mm. Com objetivas planas, oculares altamente corrigidas do tipo grande ngular, o dimetro conseguido melhor que 30 mm. Para uma ocular com nmero de magnificao maior que 10, o dimetro mximo do diafragma, limitado pleo mximo ngulo de campo que o observador v convenientemente, que por volta de 50, definida pela equao-7 Equao-7
D( mm) w . 250 2. tan 2 MNocl

onde: w/2 Metade do ngulo de campo; Mnocl Nmero de magnificao da ocular; D Dimetro; Para w=50 isto a 235/Mnocl.

3.6- Sistema Mecnico

Um microscpio para ser realmente til deve ter uma boa estabilidade mecnica. Em particular, qualquer vibrao entre a lmina e o corpo do microscpio deve ser reduzida ao mnimo absoluto, uma vez que tal vibrao pode ser aumentada pelo prprio fator de ampliao do microscpio. Em outros instrumentos uma vibrao de milsimos de milmetro entre as partes pode ser completamente desprezvel, mas em um microscpio isto poderia se tornar uma caracterstica muito indesejvel. Assim, a base e o brao de um microscpio devem fornecer uma rgida estrutura de suporte para a plataforma de amostra (ou platina) e o corpo como um todo e que seja suficiente para resistir s vibraes normais presentes num laboratrio. As plataformas de observao se dividem em dois tipos principais, que so o regular e o inversor. Estgios inversores so freqentemente usados em trabalhos metalogrficos, onde a rea da amostra de interesse pode estar localizada na face inferior de uma superfcie. Estgios regulares so mais comuns em trabalhos de anlise de falhas em geral, onde pode no se possvel ou impraticvel colocar a amostra na posio invertida, pois partculas apoiadas na superfcie certamente cairiam e no seriam detectadas se fosse utilizado o modo invertido. Quando ao movimento, existem estgios imveis, outros com movimentos nas direes x e y e ainda aquele que possuem movimentos rotacionais alm do movimento nas direes x e y. As consideraes mecnicas so especialmente importantes para aplicaes em fotomicrografia. Os principais requisitos do sistema mecnico da platina so: Carga e descarga fcil (com o mnimo de manipulao ou dano). Movimentos ortogonais precisos nos eixos x e y. Folga mnima entre engrenagens. Necessidade de acoplamento entre os movimentos nas direes x e y. Alm da estabilidade mecnica, o microscpio deve levar em conta os padres de ergonomia preestabelecidos para que o usurio desse equipamento se sinta confortvel ao fazer suas observaes, principalmente aquelas que exigem um tempo maior.

3.7- Sistema de Focalizao

Em um microscpio, h dois sistemas de focalizao da amostra: a focalizao comum e a focalizao fina. O primeiro sistema consiste de um mecanismo de direo que move o brao ou o plano de amostra. Na maioria dos modelos modernos o movimento feito pelo plano de amostra. No primeiro passo para a obteno da imagem da amostra utiliza-se este tipo de focalizao. A partir da, utiliza-se a focalizao fina onde os movimentos so precisamente controlados para se obter uma profundidade de foco em torno de 0.2um ao se usar objetivas de alta potncia de ampliao.

3.8- Sistema de Iluminao

O sistema completo consiste de uma fonte de luz, um condensador de iluminao, um diafragma de campo, um espelho ajustvel, um condensador de foco e um diafragma de abertura. O diafragma que equipa o condensador responsvel pelo controle da abertura angular do cone de luz para a iluminao da amostra. Em um microscpio podemos ter o sistema de iluminao situado abaixo ou acima do plano de amostra. Para amostras opacas, como o caso em microeletrnica, os microscpios utilizados caracterizam-se pela iluminao proveniente da parte superior do plano de amostra.

A maioria dos microscpios disponveis para a indstria de semicondutores utilizam os sistemas de iluminao de campo claro (brigthfield), campo escuro (darkfield) e de interferncia diferencial. Alguns microscpios tambm possuem sistemas de iluminao de fluorescncia. No modo de iluminao de campo claro a luz viaja ao longo do eixo ptico, atravs da objetiva em direo amostra que est sendo observada. A amostra ento vista pela luz que ela reflete. Filtros especiais so utilizados para abrandar a luz e aumentar o contraste. A microscopia de campo claro a tcnica mais utilizada nas aplicaes de semicondutores, fornecendo a melhor imagem e informao de toda a amostra. considerado um excelente modo para se examinar uma superfcie polida. No modo de iluminao de campo escuro a luz direcionada para o exterior do cone que a objetiva compreende para iluminar a lmina obliquamente. Somente a luz que refletida ou difratada pelas caractersticas da amostra entra na objetiva. Assim, a amostra aparece como um fundo preto com as caractersticas refletidas ou difratadas aparecendo com brilho. A iluminao de campo escuro aumenta a visibilidade de detalhes que so freqentemente ignorados pela iluminao de campo claro. Mesmo detalhes estruturais pequenos, que se encontram abaixo do limite de resoluo da objetiva, so visveis com campo escuro (esta maior visibilidade, que mais parecida com a observao das estrelas mais distantes noite, no um aumento na resoluo). A microscopia de campo escuro uma tcnica excelente para uma varredura rpida, com um amplo campo de viso, para partculas, ranhuras ou resduos qumicos. No sistema de iluminao um fator importante o contraste, que est diretamente ligado com a qualidade da imagem e depende de vrios fatores importantes. Oculares: Eyepiece ou objetivas sujas degradam a qualidade da imagem; O contraste pode ser reduzido por um claro, especialmente se a amostra e altamente refletora; O mais srio dos problemas acontece se a amostra vista com um pequeno contraste. A microscopia que utiliza o contraste por interferncia diferencial revela diferenas nos feixes refletidos de luz polarizada separada por um prisma. Pode ser visto um efeito tridimensional sobre a reflexo da amostra. Em adio, devido diferena nos caminhos pticos, uma amostra vista com microscopia de interferncia freqentemente aparece colorida pelo sistema ptico. Em outras palavras, a diferena de fase dos feixes de luz esto usualmente associados com a topologia da lmina. Assim, a microscopia de interferncia revela, em uma viso parecida com a tridimensional, detalhes na superfcie da lmina tais como buracos, fissuras e falhas, que so comumente invisveis na iluminao comum de luz refletida. Na microscopia de fluorescncia, luz ultravioleta causa aos materiais orgnicos e inorgnicos a emisso de radiaes caractersticas de luz visvel. Substncias orgnicas, as maiores contaminadoras de microcircuitos, fluorescem de modo mais brilhante do que os materiais inorgnicos que compem o semicondutor. A rea de aplicao da microscopia de fluorescncia de luz incidente inclui adeteco do fotoresiste ou outros resduos orgnicos e de diferenas da espessura (ou estrias) nas camadas de fotoresiste. As opes de campo escuro e claro, geralmente combinadas com os modos de interferncia diferencial ou fluorescncia, so usualmente disponveis no mesmo microscpio e um operador pode facilmente trocar um pelo outro. Alm disso, tem-se a possibilidade de escolha entre luz incidente ou transmitida.

4. Traado de raios no microscpio

A descrio dos traados de raios importante para entender como diversas partes de um microscpio moderno se interagem. Este item utiliza vrios conceitos de ptica geomtrica, e ilustra a relao entre lentes e diafragmas. Os sistemas pticos bsicos descritos aqui, so utilizados em

muitos microscpios. Porm muitos so equipados com partes extras, pticas e mecnicas para medidas de propriedades pticas e geomtricas em vrios estgios do objeto. O plano do objeto geralmente iluminado atravs de diferentes arranjos pticos, porm aqui somente iremos utilizar o arranjo chamado Khler ilumination , para exemplificar. As consideraes feitas a seguir so as seguintes: 1. A de superfcie luminosa da lmpada, projetada no plano do diafragma de abertura do condensador, e seu controle ajuste do ngulo de abertura reduzido at um pouco antes do mximo; 2. O diafragma de campo luminoso colocado no plano onde a imagem do plano objeto formada e seus limites de ajuste a rea iluminada no plano; 3. 4. As consideraes destas duas condies, que no possvel o plano do objeto fora da rea de iluminao seja afetado por aquecimento. Portanto a rea de campo uniformemente iluminada e a luz espalhada dentro da montagem opto-mecnica reduzida ao mnimo.

Figura.3-Luz transmitida, iluminao normal (khler).

Figura.4-Luz com iluminao oblquoa.

Figura.5.-Luz refletida com iluminao normal e refletor.

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Figura.6-Luz refletida com iluminao oblqua e refletor

Figura.7-Sistema de imagem com iluminao normal.

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Figura.8-Sistema de imagem com iluminao oblqua.

Figura.9-Sistema de imagem a)contendo setor com raios marginais formados pelas lentes de tubo negativas; b)com objetiva corrigida para distncia da imagem no infinito.

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Figura.10-Sistema de imagem mostrando o efeito da lente de Bertrend.

Figura.11-Luz transmitida, iluminao de campo escuro com stopdiagrama no condensador.

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Figura.12-Sistema de imagem mostrando o efeito da lente de Bertrand.

Figura.13-Luz refletida, iluminao unilateral de campo escuro.

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Figura.14-Luz refletida com iluminador a 45.

Lentes: AUX BI Col Com Obj Ocl PI TI(+/-) - Lente auxiliar; - Lente de Bertrand; - Coletor; - Condensador; - Objetiva; - Ocular; - Lente do fotossensor incluindo a lente do olho; - Lente do tubo, +(positivo)/-(negativo).

Elementos pticos: EPM - Pupila de sada do microscpio; L - Superfcie luminosa da Lmpada; P - Camada fotossensvel (retina do olho, fotocatodo e filme fotogrfico); St - Plano objeto (stage object). Diafragmas: BD CAD OAD LFD OFD PFD

- Diafragma de Bertrand; - Diafragma de abertura do condensador; - Diafragma de abertura da objetiva; - Diafragma do campo luminoso; - Diafragma de ocular (campo); - Diafragma de campo do fotmetro.

5. Microscopia e Microeletrnica
A seguir, apresentamos alguns requisitos importantes exigidos quando da escolha de um microscpio para a inspeo de lminas bem como a caracterizao desses instrumentos e as tcnicas de medio.

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5.1 Requisitos de um Microscpio

Caso se queira inspecionar soldas feitas por um soldador automtico, o campo de viso deve ser pequeno. A planaridade da amostra tambm importante: se a superfcie possui um alto relevo, ento um sistema ptico com uma grande profundidade de campo ser necessrio. Diferentes exemplos de materiais apresentam problemas especiais e o que conta para o contraste da imagem so as variaes das propriedades pticas, tais como reflexibilidade, cor, polimento e ndice de refrao. Outro importante fator a natureza dos defeitos que se deseja encontrar. Diferentes tipos de defeitos ditam diferentes requisitos para medidas e objetivos. Por exemplo, o principal requisito quando da medida da largura das linhas de polisilcio em uma pastilha a sua alta preciso. Para alcan-la, necessita-se de uma iluminao prpria para fazer com que os lados das linhas apaream claramente. Se faz necessrio tambm um conjunto padro de calibrao de largura de linha. A profundidade de campo ter que ser pequena para limitar os erros causados pelas variaes de distncia entre as superfcies da amostra e as lentes objetivas. Outros parmetros que so afetados compreendem a abertura numrica das objetivas e o tipo de contraste usado na iluminao. Na produo, a faixa de ampliao largamente aplicvel para a inspeo de lminas e mscaras est entre 20X a 1000X. A maioria dos fabricantes de microscpios fornecem combinaes de oculares de 10X a 20X com objetivas na faixa de 2X a 50X. Para a maioria das aplicaes com microscpios na fabricao de semicondutores, a qualidade do sistema ptico de ampliao relativamente baixa mais importante. Uma lente bem corrigida (evitando aberraes), de potncia relativamente baixa e da mesma resoluo de uma lente de grande ampliao, pode ser mais til no processamento de lminas porque seu campo de viso torna-se at 10 vezes maior.

5.2 Tipos de Microscpios Utilizados

Entre os tipos disponveis temos o microscpio ptico convencional e o microscpio confocal. Apesar destes serem somente os tipos bsicos de microscpios, as numerosas variaes, opes e acessrios disponveis produzem uma variedade quase ilimitada de combinaes possveis para satisfazer aos requisitos de uma aplicao particular. Empregando essencialmente a radiao na regio visvel do espectro eletromagntico, os microscpios pticos so de trs tipos bsicos: microscpios compostos clssicos, estreo microscpios e microscpios compostos de distncia de trabalho longa. A seguir descrevemos as principais caractersticas dos trs tipos de microscpios pticos padro.

Microscpios compostos Constituem o tipo mais comum de microscpios e so utilizados para as mais diversas finalidades. Distinguem-se pelas seguintes caractersticas: Ampliaes na faixa de 25X at 1800X. Imagem reversa e invertida. Campo visual pequeno (entre 8.0 a 0.15mm). Distncia de trabalho na faixa de 10 a 0.3mm. Iluminao incidente ou transmitida.

Estereomicroscpios

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Quando uma amostra examinada sob um microscpio binocular comum, variaes na altura ou espessura da amostra podem ser aparentes ao observador se essas variaes excederem a profundidade de foco da objetiva que est sendo usada. Entretanto, a sensao de caractersticas tridimensionais da amostra no sero transmitidas ao observador. Para alcanar a viso estereoscpica verdadeira, necessrio que cada um dos olhos do observador veja a amostra de um pequeno ngulo diferente. As duas imagens dissimilares so ento unidas pelo crebro em uma nica reconstruo tridimensional do objeto original. A figura 7 mostra o esquema ptico de um estereomicroscpio. Este estereomicroscpio feito de dois microscpios completos que esto inclinados um em relao ao outro de um ngulo de 8 a 12 graus dependendo do fabricante. Cada microscpio inclui uma objetiva, uma ocular e um sistema de construo, sendo este ltimo tanto do tipo reflexivo ou refrativo. Nota-se na figura 7, que os lados interiores das duas lentes objetivas quase se tocam. Esta justaposio impe um limite no dimetro destas lentes e isso limita sua abertura numrica, que por sua vez restringe a faixa de grandes ampliaes que est substancialmente abaixo daquela dos microscpios no estreo. A seguir relacionamos as caractersticas principais dos estreo microscpios: Distncias de trabalho longas, variando entre 75 e 100mm. Imagem no reversa e direita (tambm tridimensional). Escala de ampliao macro (2.5X) a micro (250X-300X). Campo visual amplo, tipicamente 0.8mm. Iluminao refletida ou incidente.

Figura.15-Exemplo de Estereomicroscpios

As especificaes do estereomicroscpio acima:

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75-12923 Estereomicroscpio Microview MV-2 Binocular Estreo Totalmente metlico Estativa de modelo clssico Aumentos: 20x, 30x, 40x e 60x 2 Oculares: 10x e 15x 2 Objetivas: 2x e 4x Preo: R$ 832,00

6.Exemplos de microscpios
Aqui apenas alguns exemplos de microscpios, utilizados em vrias reas fora da microeletrnica.

Figura.16-microscpio Monocular.
Especificaes: 71-12922 BioMicro MK-2 Monocular Totalmente metlico Estativa de modelo clssico, inclinvel Aumentos: 40x a 600x

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2 Oculares: 10x e 15x 3 Objetivas: 4x, 10x e 40x Condensador Abbe Diafragma Iris Iluminador com espelho Preo: R$ 288,00

Figura.17-microscpio multifuncional.
Especificaes: Distncia de Trabalho: 200mm 1 = 200 mm. 5-25x - 42,5-8,5mm 1 = 250mm. 4-20x - 53-10,6mm 1 = 300mm. 3,3-16,7x - 64-12,6mm. 1 = 350mm. 3-14,3x - 74-15mm. 1 = 400mm. 2,5-12,5x - 85-17 mm. Faixa de subida vertical: 500mm. Velocidade motorizada do zoom: 2x p/ Min. Faixa de preciso focal: 50mm. Velocidade de focalizao: 2mm/s Faixa livre do microscpio tanto para cima, para frente, para baixo e de lado a lado: 180 . Fonte de iluminao de luz fria: 24V - 150W. Comprimento mximo: 1030mm. ngulo: 240 . O aparelho pode ser equipado com o X-Y com a faixa de movimento de: 40mm. Voltagem: 110V - 60 Hz

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Figura.18-microscpio de operao para oftalmologia.

Especificaes: O produto um novo desenvolvimento das nossas pesquisas projetado especialmente para cirurgias oftalmolgicas. Uma troca contnua do fator de aumento, possibilitando mudanas suaves. O Tubo co-observador equipado com trs faixas de aumento e pode girar em torno do microscpio principal em 180 graus e ser fixado em qualquer ngulo. A cmera auxiliar e outros equipamentos podem colaborar para documentao e fins didticos. Um sistema de vdeo tambm pode ser acoplado. O instrumento necessrio para vrias operaes oftalmolgicas provando ser o mais avanado de sua categoria. Distncia de Trabalho: 200mm 1 = 200mm 5-25x - 42,5-8,5mm 1 = 250mm 4-20x - 53-10,6x 1 = 300mm 3,3-16,7x - 64-12,6mm. 1 = 350mm. 3-14,3x - 74-15mm. 1 = 400mm. 2,5-12,5x - 85-17 mm. Faixa do vertical (acima e abaixo): 500 mm. Faixa de preciso focal: 50 mm. Velocidade do ajuste focal: 2mm./s. Interpupilar: 55-72 mm. (com indicao) Extenso mxima: 1030 mm. ngulo de giro: 240 graus Distncia de operao: 175 mm. Voltagem:110 V - 60 Hz

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Figura.19-microscpio Binocular biolgico

Especificaes:

MARCA: MICRONAL MODELO: CBA 213 Com estativa de mxima estabilidade com controles coaxiais de focalizao macro e micro ambos com percurso vertical de 30 mm composto de : boto micromtrico graduado em intervalos de 2,5 mm trava mecnica para pr focalizao e proteo da lmina base larga com transformador universal com lmpada de halognio de no mnimo 12V/20W, seletor para 110 ou 220 V Tubo de observao binocular, inclinado em 45, movimento giratrio de 360 Charriot mecnico, com comandos coaxiais baixos no lado direito Condensador de campo claro, tipo ABBE, abertura numrica 1,25, com diafragma ris com filtro azul de aproximadamente 32,5 mm de dimetro Anel de campo escuro para objetivas de 10x e 40x para ser acoplado na base do condensador Revlver porta objetivas para quatro objetivas Par de oculares de campo amplo de ponto focal alto, nmero do campo F.N.18 Quatro objetivas acromticas, LONG BARREL, de alta resoluo, 4x/0,10, 10x/0,25, 40x/0,65 com mola e 100x/RO 1,25 com mola e imerso leo

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Figura.20-Exemplo do possvel formato de um dos primeiros microscpios.

7.Aplicao
Na aplicao abaixo mostro a foto de um microscpio da marca Nikon, no qual fiz algumas fotos das vrias objetivas, de um transistor fabricado no laboratrio do CCS(cento de componentes semicondutores) da Unicamp.

Figura.20-Microscpio da marca nikon utilizado para fazer as fotos.

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Figura.22-Varias objetivas do microscpio nikon do CCS da unicamp.

No CCS(cento de componentes semicondutores) da Unicamp, existem vrios microscpios, no qual so utilizados para vrios etapas de fabricao do CIs. Abaixo mostro alguns dos vrios microscpios utilizados no CCS e comentarei superficialmente as suas utilizaes.

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Figura.23-Microscpio utilizado para fotografar dispositivos.

Figura.24-microscpio utilizado na foto-alinhadora.

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Figura.25-microscpio utilizado para efetuar medidas nos dispositivos prontos.

Figura.26-Micrscpio utilizado para medir o Xj do transistor.

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Figura.27-Esquemas de lentes de um monocular.

8. EXEMPLOS DE MICROSCPIOS EXISTENTES NO MERCADO

A relao abaixo apresenta alguns tipos de microscpios disponveis no mercado dedicado aos produtos de microeletrnica

Fabricante: Nikon Inc. Modelo: Optiphot-88 Caractersticas: Dispe de uma platina de 6 X 6 polegadas que possui a capacidade de manipulao de lminas de 4-6 polegadas. Para inspeo de mscaras, fornece um iluminador de luz refletida a 12V/50W. Todos os modos de iluminao incluindo campo claro, campo escuro, polarizao, DIC e epifluorescncia so possveis. compatvel com a ptica 210mm CF da Nikon e suporta o sistema de cmera FX com filme Polaroid. Fabricante: Nissho Optical Modelo: DZ-240 Caractersticas: Ampliao bsica em torno de 10X a 60X. Objetivas auxiliares tornam possvel a obteno de uma ampliao mnima de 5X mxima de 240X. As distncias de trabalho variam de 38 a 170 mm. O sistema de iluminao inclui luz incidente, luz transmitida ou campo escuro.

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Fabricante: Unitron Modelo: Hisomet Caractersticas: Projetado especificamente para medidas de espessura ou profundidade usando um Indicador de Foco Preciso (PFI). A resoluo confivel a 1 mcron (para mais ou para menos). Possui objetivas de 10X, 20X e 40X e uma platina de 2 X 2 polegadas com ajuste micromtrico por tambores. Aceita uma larga faixa de acessrios como mostrador digital X-Y e cmera de TV. Fabricante: Wild Leitz USA Modelo: Ergolux AMC Caractersticas: Composto de um microscpio, um sistema de autofoco AMC e uma platina de varredura S-2000. Possui uma objetiva de longa distncia com uma ampliao de 125X, tubo de observao inclinado e oculares widefield Leitz GW. Autofoco acoplado com uma platina totalmente automtica, proporciona alto rendimento e confiabilidade. Fabricante: Lasertec Corp. Modelo: 1LM11 Caractersticas: Utiliza um sistema de ptica confocal com uma fonte de laser de HeNe que armazena em memria somente as imagens em foco. O sistema de memria fornece um foco crtico at uma faixa de 1mm. O tamanho mnimo de medida de 0.25um e a unidade de medida mnima de 0.001um. Fabricante: Carl Zeiss, Inc. Modelo: Confocal Laser Scan Caractersticas: Sofisticada combinao de laser com microscpio de alta potncia. Diferentes lasers podem ser usados e possvel ter dois deles acoplados ao mesmo tempo e selecion-los facilmente. Normalmente so usados laser HeNe (633nm), HeCe (442nm) ou Argon ion (488nm, 514nm). Possui um conversor A/D para formao da imagem (512 X 512 pontos). Tambm possvel a observao com fonte de luz convencional e h a disponibilidade do uso de uma cmera Polaroid.

9. CONCLUSO
De acordo com o que foi descrito, podemos concluir que a microscopia ptica continua sendo e ser ainda por um longo tempo uma tcnica bastante utilizada na indstria de microeletrnica. Apesar do microscpio tornar a inspeo humana de lminas tediosa e subjetiva devido s geometrias cada vez maisreduzidas, a automao crescente vem, por outro lado, resolver esse problema. Os microscpios tradicionais possuem como vantagens a sua disponibilidade, custo relativamente baixo se comparados aos equipamentos de outras tcnicas, proporciona uma medida no destrutiva da amostra e possvel se analisar toda a lmina. A desvantagem est na sua resoluo e preciso limitadas pelos sistemas pticos tradicionais. Contudo, ainda o meio mais prtico para medidas qualitativas.

10. REFERNCIAS
[1] Rudolf Kingslake (ed.), "Applied Optics and Optical Engineering", Volume IV, Parte I, Pg. 31-93, 1967.

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[2] Pieter Burggraaf, "Guidelines for Optical Microscopy", Semiconductor International, Volume 8, No. 2, Pg. 54-62, 1985. [3] Jim Dey, "In-Process Wafer Test and Measurement", Semiconductor International, Volume 11, No. 1, Pg. 52-55, 1988. [4] David A.Toy, "Confocal Microscopy: The Ups and Downs of 3-D Profiling", Semiconductor International, Volume 13, No. 5, Pg. 120-123, 1990. [5] Rob Piercy, "Small Spot Surface Analysis Techniques", Microeletronic Manufacturing and Testing, Volume 12, No. 11, 1989. [6] C. G. Masi, "Selecting an Optical Microscope", Test & Measurement World, Volume 8, No. 2, Pg. 47-67, 1988. [7]Peter H. Singer, "Life on the Edge: Measuring Critical Dimensions", Semiconductor International, Volume 11, No. 12, Pg. 84-87, 1988. [8] Dennis F. Paul and John S. Hammond, "Interface Characterization of Thin Film Structures", Microeletronic Manufacturing and Testing, Volume 13, No. 5, 1990. [9] Hansjoachim Hinkelmann, "Scanning Laser Microscopy", Semiconductor International, Volume 8, No. 2, Pg. 92-96, 1985. [10] Pieter Burggraaf, "Wafer Inspection for Defects", Semiconductor International, Volume 8, No. 7, Pg. 54-65, 1985.

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Microscpio ptico

Regis Eugenio dos Santos RA: 001148

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