Utilização da Técnica de Difração de Elétrons Retroespalhados na Caracterização

Microestrutural dos Materiais

Resumo

O presente trabalho tem como tema principal a técnica de difração de elétrons

retroespalhados (“Electron Back Scatter Diffraction”, EBSD) e é composto de seis itens
principais. No primeiro, após uma breve introdução sobre a microestrutura dos materiais,
procura-se situar a técnica EBSD no contexto das técnicas de analise da microestrutura. Logo
em seguida, no segundo item já é feito um breve histórico, o qual vai desde o descobrimento
das linhas de Kikuchi em 1928 até o aperfeiçoamento e uso do EBSD em conjunto com o
microscópio eletrônico de varredura (MEV), na década de 1980. Já no terceiro item serão
discutidos os princípios de funcionamento da técnica de EBSD/MEV. Os seguintes aspectos
serão abordados nesse item como: interação do feixe de elétrons com a amostra, as linhas de
KiKuchi e a formação da figura de difração, o sistema de detecção e analise e a preparação das
amostras. No quarto item serão discutidos as potencialidades e limitações. No quinto item
serão apresentadas as principais aplicações e no sexto e ultimo item serão feitas algumas
considerações finais.

Abstract

Use of Diffraction Electron backscatter technique in Microstructural Characterization of

Materials

The present work has as its main theme the RF Backscattered electron diffraction technique
("Electron Back Scatter Diffraction", EBSD) and is composed of six main items. In the first, after
a brief introduction on the microstructure of materials, seeks to situate the EBSD technique in
the context of the microstructure analysis techniques. Soon after, the second item is already
done a brief history, which goes from the discovery of the Kikuchi lines in 1928 until the
improvement and use of EBSD in conjunction with the scanning electron microscope (SEM) in
the 1980. Already on the third item will be discussed the principles of functioning of EBSD
technique\/MEV. The following aspects will be covered in this item as: electron beam
interaction with the sample, the KiKuchi lines and the formation of diffraction, the detection
system and analysis and sample preparation. The fourth item will be discussed the
potentialities and limitations. The fifth item are presented the main applications and in the
sixth and last item are made some concluding remarks.